E84握手經(jīng)過流程(中文版)

*-E84 PI/O INTERFACE概要解説書中文版配布先-COPY計-SUM承認-APP調(diào)査-CHK作成-DRAWN神鋼電機株式會社SHINKOELECTRICCO.,LTD.JAPAN感謝閱讀*-変更來歴Rev 日付 內(nèi)容 承認 作成0 00.11.2 初版 藤原SSG 佐野TranslatedbyDonLee/ASTW/TrainingCenter精品文檔放心下載2007/01/20*-目次1背景?目的..............................................................................42E84とE23之不同點........................................................................43限制....................................................................................44機器構(gòu)成................................................................................45用語說明................................................................................56控制信號之種類..........................................................................67InterlockTimeout..........................................................................88通信程序................................................................................98.1裝載移載............................................................................98.2卸載移載...........................................................................119異常檢測...............................................................................129.1移載動作開始前之異常...............................................................129.2移載動作中之異常...................................................................139.3異常移載動作後之異常...............................................................149.4GO信號?OFF變化....................................................................149.5異常之復(fù)舊.........................................................................1510注意事項...............................................................................1511Connector及各信號之分配.................................................................1612電路圖?SensorUnit尺寸..................................................................17*-1 背景?目的半導(dǎo)體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之?dāng)U大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導(dǎo)入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統(tǒng)（AMHS）的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV（臺車）藉由使用PhotoI/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信係藉由SEMI規(guī)格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規(guī)格的通信控制。謝謝閱讀SEMI規(guī)格中、雖定義E23作為上述PhotoI/O通信規(guī)格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、謝謝閱讀E84規(guī)格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規(guī)格之概要。又，本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導(dǎo)體製造裝置間之介面相關(guān)的設(shè)計/管理。謝謝閱讀2 E84とE23之不同點追加/變更於E84之項目如下。? 連續(xù)HandoffSequence? 同時HandoffSequence?追加HO_AVBL信號、ES信號? Timer之規(guī)定? 改訂Connectorpin之分配限制本書僅記述導(dǎo)入於OHT系統(tǒng)之E84規(guī)格。因此、以下項目與該系統(tǒng)不相關(guān)故予以割愛。? 連續(xù)Handoff/同時HandoffSequence感謝閱讀? 使用於連續(xù)Handoff之Timer機器構(gòu)成4.1顯示本規(guī)格之E84I/OInterface的適用例。精品文檔放心下載4.1E84I/O介面例主機※E84中並無規(guī)定Device種類?AMHS控制裝置※I/O裝置安裝位置OHVE84I/O介面 半導(dǎo)體製造裝置（側(cè)面）載體AGV/RGVLoadPort※I/O裝置*-用語説明5.1顯示本書使用之用語。表5.1 用語説明用語Active裝置Passive裝置AMHS裝置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)AutoAccessMode謝謝閱讀ManualAccessMode載體HandoffHandoff干涉區(qū)域Handoff?Interlock異常無法Handoff利用狀態(tài)LoadportLoadUnload

解説具備移載機構(gòu)之裝置。［遵循SEMIE23規(guī)格］感謝閱讀（OHT系統(tǒng)中、OHV屬於Active裝置。）感謝閱讀藉由Active裝置來進行移載之裝置。[遵循SEMIE23規(guī)格]Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。感謝閱讀本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。精品文檔放心下載RGV:RailGuidedVehicles/AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransportsなど。謝謝閱讀AMHS裝置以自動方式進行Handoff之模式。感謝閱讀Operator以手動方式進行Handoff之模式。謝謝閱讀卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。精品文檔放心下載[遵循SEMIE1.9規(guī)格]表示藉由Active裝置對Passive裝置進行裝載及卸載之移載動作。謝謝閱讀本書中、係與『裝載/卸載移載』同義。Handoff中Active裝置之載體有可能與Passive裝置之載體衝突的空間。精品文檔放心下載Handoff中Passive裝置檢測到異常之狀態(tài)。Active裝置之載體與Passive裝置之載體、有可能在Handoff干涉區(qū)域衝突衝突。謝謝閱讀Passive裝置無法進行Handoff之狀態(tài)。精品文檔放心下載加工裝置/Stocker等之InterfacePort。[遵循SEMIE15規(guī)格]謝謝閱讀從Active裝置往Passive裝置之卸載移載。精品文檔放心下載從Passive裝置往Active裝置之裝載移載。精品文檔放心下載*-控制信號之種類使用於E84通信之各信號的種類如表6.1所示。精品文檔放心下載關(guān)於通信方向：A=Active裝置、P=Passive裝置。感謝閱讀信號名稱CS_0(=CarrierStage0)CS_1(=CarrierStage1)VALID(=Indicatesthatthesignaltransitionisactiveandselected.)精品文檔放心下載可以通信L_REQ(=LoadRequest)要求裝載U_REQ(=UnloadRequest)要求卸載TR_REQ(=TransferRequest)要求Handoff謝謝閱讀READY(=ReadyforTransfer)準備Handoff精品文檔放心下載

表6.1 信號之名稱及功用通信方向 信號之說明指定使用於載體Handoff之Loadport。謝謝閱讀A?P ON：使用於載體Handoff。OFF：不使用。指定使用於載體Handoff之Loadport。感謝閱讀ON：使用於載體Handoff。A?P OFF：不使用?！鵒HT系統(tǒng)中、由於各Loadport設(shè)置有PhotoI/O（1PhotoI/O／1LoadPort）、因此不使用本信號。精品文檔放心下載表示Active裝置?Passive裝置間之通信為有效。精品文檔放心下載ON：通信為有效。OFF：通信為無效。A?PActive裝置在使本信號ON之前、需以CS_0信號或CS_1信號（或兩者）來指定移載對象之Loadport。謝謝閱讀※OHT系統(tǒng)中、僅使用CS_0表示Loadport被指定為載體之裝載（Active裝置之卸載）。感謝閱讀ON：Loadport被指定為載體之裝載OFF：Loadport未被指定為載體之裝載。P?A由Active裝置以CS_0信號指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時、Passive裝置使本信號ON。當(dāng)Passive裝置確認到載體被放置到正確位置之後、即將本信號OFF。感謝閱讀表示Loadport被指定為載體之卸載（Active裝置之裝載）。精品文檔放心下載ON：Loadport被指定為載體之卸載OFF：Loadport未被指定為載體之卸載。P?A由Active裝置以CS_0信號指定Loadport、當(dāng)VALID=ON時、Passive裝置即將本信號ON。Passive裝置在載體被完全取走後、即將本信號OFF。謝謝閱讀對Passive裝置要求Handoff。ON：已提出Handoff要求。A?POFF：未已提出Handoff要求。當(dāng)BUSY信號OFF時、本信號亦OFF。表示Passive裝置、已從Active裝置收到TR_REQ信號。精品文檔放心下載ON：Passive裝置已做好Handoff之準備。精品文檔放心下載OFF：Passive裝置尚未做好Handoff之準備。謝謝閱讀P?A當(dāng)確認到Active裝置之TR_REQ=ON後、Passive裝置即將本信號ON。當(dāng)確認到Handoff結(jié)束且Active裝置之COMPT=ON後、Passive感謝閱讀裝置即將本信號OFF。*-BUSY(=BusyforTransfer)精品文檔放心下載Handoff進行中COMPT(=CompleteTransfer)精品文檔放心下載Handoff結(jié)束CONT(=ContinuousHandoff)精品文檔放心下載連續(xù)HandoffHO_AVBL(=HandoffAvailable)可HandoffES(=EmergencyStop)緊急停止

A?PA?PA?PP?AP?A

表示Active裝置、正進行Handoff中。精品文檔放心下載ON：正進行Handoff中。OFF：非進行Handoff中。Passive裝置在READY=ON狀態(tài)、可開始進行Handoff時、Active裝置將使本信號ON。Handoff中Passive裝置不可進行任何物理性動作。當(dāng)Passive裝置將L_REQ（或U_REQ）信號OFF、結(jié)束Handoff時、Active裝置即將本信號OFF。謝謝閱讀（此時、把持裝置需退出至干涉區(qū)域之外）表示Active裝置已結(jié)束Handoff操作。感謝閱讀ON：已結(jié)束Handoff。OFF：尚未結(jié)束Handoff。當(dāng)結(jié)束Handoff操作時（Active裝置將BUSY信號OFF）、Active裝置即將本信號ON。Passive裝置在確認到READY=OFF後、Active裝置即將本信號OFF。精品文檔放心下載表示有連續(xù)Handoff。ON：表示連續(xù)Handoff持續(xù)中。OFF：無連續(xù)Handoff。當(dāng)有連續(xù)Handoff時、根據(jù)最初移載時Passive裝置之BUSY=ONActive裝置即將本信號ON、根據(jù)最後移載時Passive裝置之BUSY=ON、Active裝置即將本信號OFF?！鵒HT系統(tǒng)中、現(xiàn)在不使用本信號。精品文檔放心下載表示Passive裝置裝置可進行Handoff。精品文檔放心下載又亦有表示Passive裝置存在某種異常之情形。精品文檔放心下載ON：可配合Handoff。OFF：存在某種異常無法配合Handoff。本信號係在開始進行Handoff操作前、向Active裝置表示Passive裝置之狀態(tài)。當(dāng)Passive裝置正常時、本信號為ON。當(dāng)Passive裝置檢測到CS_0信號所指定之Loadport存在某種異常時、藉由Active裝置將VALID信號ON或TR_REQ信號ON、Passive裝置即將本信號OFF。又當(dāng)檢測到該Passive裝置之其他Loadport有異常時、本信號亦可能OFF。謝謝閱讀所謂異常係指?無正確地進行載體檢測。?Passive裝置一直停留於ManualMode。精品文檔放心下載?Passive裝置無法配合Handoff之狀態(tài)。謝謝閱讀係要求緊急停止Active裝置之動作。ON：正常操作OFF：要求緊急停止當(dāng)Passive裝置判斷為危險狀況時、為立即停止Handoff而將本信號OFF。謝謝閱讀所謂危險狀況係指?恐傷及資源或製造物時。?對作業(yè)工程會造成傷害之情形。?發(fā)生Handoff?Interlock異常之情形。謝謝閱讀?當(dāng)按下Passive裝置側(cè)之ES(或EMO)按鈕時。謝謝閱讀通常、Active裝置在VALIDON～OFF之間監(jiān)測本信號。精品文檔放心下載*-7InterlockTimeoutActive裝置側(cè)之Timer（TA=TimerofActiveequipment）及Passive裝置側(cè)之Timer（TP=TimerofPassiveequipment）如表7.1及表7.2所示。謝謝閱讀各Timer、係以檢測裝載/卸載時Interlock之異常為目的。感謝閱讀表7.1 Active裝置所監(jiān)視之TimerTimer監(jiān)視Timer之期間TA1VALIDON―L_REQONVALIDON―U_REQONTA2TR_REQON―READYONTA3COMPTON―READYOFF

範(fàn)圍（秒）1-9991-9991-999

預(yù)設(shè)值（秒）222表7.2 Passive裝置所監(jiān)視之Timer謝謝閱讀Timer監(jiān)視Timer之期間TP1L_REQON―TR_REQONU_REQON―TR_REQONTP2READYON―BUSYONBUSYON―CARRIERDETECTTP3（卸載移載開始?至檢測到載體為止）BUSYON―CARRIERREMOVE（裝載移載開始?至取走載體為止）TP4L_REQOFF―BUSYOFFU_REQOFF―BUSYOFFTP5READYOFF―VALIDOFF

範(fàn)圍（秒）1-9991-9991-9991-9991-999

預(yù)設(shè)值（秒）2260602*-通信程序8.1裝載移載裝載移載時PhotoI/O之TimingChart如圖8.1所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表8.1所示。精品文檔放心下載圖8.1裝載移載時之TimingChart信號名信號方向TimingCS_0①VALID②?TR_REQActive裝置?④⑨?Passive裝置BUSYCOMPTREADYL_REQ

⑥ ⑧⑩ ?⑤ ?U_REQPassive裝置?Active裝置HO_AVBLESTimerActive裝置TimerPassive裝置Timer動作內(nèi)容Active裝置到達通信開始Step信號名信號方向①CS_0ONA?P②VALIDONA?P③U_REQONP?A④TR_REQONA?P⑤READYONP?A⑥BUSYONA?P⑦U_REQOFFP?A⑧BUSYOFFA?P⑨TR_REQOFFA?P⑩COMPTONA?P?READYOFFP?A?COMPTOFFA?P?VALIDOFFA?P?CS_0OFFA?P

③ ⑦TA1TA2TA3TP1TP2TP3TP4TP5裝載移載開始載體離開Port結(jié)束移載結(jié)束通信8.1裝載移載時之通信內(nèi)容動作說明Active裝置到達要進行裝載移載之Passive裝置時、即使用CS_0信號來指定移載對象之Loadport。感謝閱讀表示可與以CS_0信號所指定之Loadport進行通信。精品文檔放心下載在完成從Passive裝置之Loadport使FOUP卸載（Active裝置進行裝載移載）之準備時、即將U_REQ信號ON。謝謝閱讀Active裝置對Passive裝置側(cè)要求開始移載。謝謝閱讀Passive裝置側(cè)對Active裝置表示已完成移載之準備。感謝閱讀開始移載。當(dāng)從Loadport上FOUP被完全取走時、Passive裝置側(cè)即將U_REQ信號OFF。謝謝閱讀當(dāng)結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)干涉之區(qū)域時、即將BUSY信號OFF。謝謝閱讀當(dāng)BUSY信號OFF時、即將本信號OFF。精品文檔放心下載通知Passive裝置已結(jié)束裝載移載。當(dāng)確認到COMPT信號ON後、即將本信號OFF。感謝閱讀當(dāng)確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。精品文檔放心下載當(dāng)確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。謝謝閱讀此時、即結(jié)束Active裝置?Passive裝置之通信。感謝閱讀當(dāng)確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。謝謝閱讀*-8.2卸載移載卸載移載時PhotoI/O之TimingChart如圖8.2所示、Active裝置與Passive裝置間之通信內(nèi)容如表8.2所示。精品文檔放心下載信號名 信號方向CS_0①VALIDTR_REQActive裝置?Passive裝置BUSYCOMPTREADYL_REQU_REQPassive裝置?Active裝置HO_AVBLESTimerActive裝置TimerPassive裝置Timer動作內(nèi)容Active裝置到達開始通信Step信號名信號方向①CS_0ONA?P②VALIDONA?P③L_REQONP?A④TR_REQONA?P⑤READYONP?A⑥BUSYONA?P⑦L_REQOFFP?A⑧BUSYOFFA?P⑨TR_REQOFFA?P⑩COMPTONA?P?READYOFFP?A?COMPTOFFA?P?VALIDOFFA?P?CS_0OFFA?P

圖8.2 卸載移載時之TimingChartTiming②?④⑨?⑥⑧⑩?⑤?③⑦TA1TA2TA3TP1TP2TP3TP4TP5開始卸載移載載體正確地移至Port結(jié)束移載結(jié)束通信上表8.2 卸載移載時之通信內(nèi)容動作說明當(dāng)Active裝置到達要進行卸載移載之Passive裝置時、即使用CS_0信號來指定移載對象之Loadport。感謝閱讀表示可與以CS_0信號所指定之Loadport進行通信。謝謝閱讀自完成將FOUP從Passive裝置之Loadport裝載（Active裝置進行卸載移載）之準備時、即將L_REQ信號ON。謝謝閱讀Active裝置對Passive裝置側(cè)要求開始移載。精品文檔放心下載Passive裝置對Active裝置表示已完成移載準備。感謝閱讀開始移載。當(dāng)FOUP正確地裝載於Loadport上時、Passive裝置側(cè)即將L_REQ信號OFF。謝謝閱讀在結(jié)束移載操作且脫離與Passive裝置側(cè)之干涉區(qū)域時、即將BUSY信號OFF。謝謝閱讀當(dāng)BUSY信號OFF時、即將本信號OFF。謝謝閱讀通知Passive裝置側(cè)已結(jié)束卸載移載。當(dāng)確認到COMPT信號ON後、即將本信號OFF。謝謝閱讀當(dāng)確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。感謝閱讀當(dāng)確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。感謝閱讀此時、即結(jié)束Active裝置?Passive裝置之通信。感謝閱讀當(dāng)確認到READY信號OFF後、即將本信號OFF。感謝閱讀異常檢測以下舉例說明OHT系統(tǒng)在Handoff中發(fā)生異常之模式。謝謝閱讀9.1移載動作開始前之異常OHV雖已到達對象Port、但不開始進行移載而立即通過。謝謝閱讀因：裝置尚未完成移載準備（ManualMode等）或在異常狀態(tài)。謝謝閱讀*-信號變化：一直處於HO_AVBL=OFF或ES=OFF之狀態(tài)（亦可能兩者皆O(shè)FF）。謝謝閱讀信號名 信號方向 TimingCS_0OHV?裝置VALIDREADYHO_AVBL 裝置?OHVES動作內(nèi)容 OHV到達 由於HO_AVBL為OFF謝謝閱讀開始通信 故結(jié)束通信追記：若該Loadport未經(jīng)Teaching亦會有同樣現(xiàn)象、而未執(zhí)行E84I/F即結(jié)束搬送。謝謝閱讀已到達對象Port、雖短暫待機但未開始進行移載即通過。謝謝閱讀因：裝置尚未完成移載準備等?；蛟赗EADY=ON前HO_AVBL=OFF。謝謝閱讀信號變化：TA1或TA2發(fā)生Timeout後、使OHV側(cè)之信號全部OFF。（以下之TimingChart中、為在TA2Timeout時。）精品文檔放心下載信號名信號方向TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYL_REQU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1動作內(nèi)容OHV到達等待READYON結(jié)束通信開始通信TA2Timeout*-9.2移載動作中之異常在Gripper升降中或開閉中OHV變成異常狀態(tài)、而中止移載動作。謝謝閱讀OHV檢測到異常。因：在OHV發(fā)生了某種異常（偏離Teaching位置/搖晃檢知/在荷ON?OFF變化等）。感謝閱讀信號變化：使OHV側(cè)之信號全部OFF之後、使HO_AVBL=OFF或ES=OFF。感謝閱讀（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號名 信號方向 TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2動作內(nèi)容OHV到達開始裝載移載發(fā)生異常（OHV）緊急停止開始通信裝置檢測到異常。因：裝置因某種異常而要求緊急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。精品文檔放心下載信號變化：HO_AVBL=OFF或ES=OFF。謝謝閱讀（亦有兩者皆O(shè)FF之情形、依裝置規(guī)格而不同。）信號名 信號方向 TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2動作內(nèi)容OHV到達發(fā)生異常（裝置）異常結(jié)束通信開始緊急停止2）結(jié)束卸載後、Gripper打不開。原因：Loadport之在荷狀態(tài)與動作狀態(tài)不一致。感謝閱讀（卸載移載雖已結(jié)束但L_REQ並未OFF。）*-信號變化：TP3發(fā)生Timeout後、OHV亦一直等待L_REQ=ON?OFF。信號名信號方向TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYL_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2TP3動作內(nèi)容OHV到達卸載移載開始FOUP已正確放置等待L_REQOFF通信開始在Port上TP3Timeout9.3移載動作後之異常結(jié)束裝載/卸載移載後、短暫停留後重新開始移動。因：裝置側(cè)未確認到OHV之移載結(jié)束通知?；虼_認過遲。感謝閱讀（COMPT=ON之後、超過指定時間亦未READY=OFF。）感謝閱讀信號名

信號變化：發(fā)生TA3信號方向

Timeout後、OHV重新開始移動。（發(fā)生輕度異常。）感謝閱讀TimingCS_0VALIDTR_REQ

OHV?裝置BUSYCOMPTREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2TA3裝置TimerTP1TP2TP3TP4動作內(nèi)容OHV到達裝載移載開始FOUP已不在Port等待READYOFF異常結(jié)束通信開始上TA3Timeout*-9.4GO信號?OFF變化突然異常結(jié)束。原因：Device破損、Sensor光遮斷、外部光之干涉等。謝謝閱讀信號變化：GO信號產(chǎn)生ON?OFF變化、通信中之所有信號皆被Reset。謝謝閱讀其後即不再進行通信。信號名信號方向TimingCS_0VALIDOHV?裝置TR_REQBUSYREADYU_REQ裝置?OHVHO_AVBLESTimerOHVTimerTA1TA2裝置TimerTP1TP2動作內(nèi)容OHV到達GO信號OFF通信開始信號RestGO信號…係用來確認光信號被正確地被接收的信號。光信號受信時ON光路遮斷時(非受信時)OFF9.5異常之復(fù)舊以下說明OHT系統(tǒng)之復(fù)舊方法。收集OHV之EventLog以探尋異常原因。（最好從發(fā)生現(xiàn)狀及Log來判斷。）感謝閱讀找出異常模式後再進行復(fù)舊作業(yè)。OHV之復(fù)舊如以下所示。謝謝閱讀自ST停止後到等待READY=ON期間裝置若將HO_AVBL=OFF時、OHV即結(jié)束E84程序並自動進行復(fù)舊後精品文檔放心下載再開始移動。TA3Timeout發(fā)生後亦進行同樣之處理。（移載中若OFF時、即進行與bと相同之處理。）感謝閱讀當(dāng)移載動作中裝置將ES=OFF時、OHV即立刻停止並顯示異常Code後、即等待人工復(fù)舊作業(yè)。（將OHVRet並進行再入線。）感謝閱讀若以上述操作仍無法復(fù)舊時、由於有可能是Hard/Soft之問題因此須進行OHV及周邊機器之調(diào)查。感謝閱讀裝置之異常復(fù)舊方法、由於依各裝置系統(tǒng)其Process時間、缺陷模式以及復(fù)舊程序均不同、因此本書不加以規(guī)精品文檔放心下載定。注意事項為維持雙向通信、須注意以下各點。使OHV側(cè)?裝置側(cè)之兩Device的投光部經(jīng)常相對向。精品文檔放心下載②確保光路避免外部光產(chǎn)生干涉。*-Connector及各信號之分配Passive裝置側(cè)Connector之型式、係遵循ISO4902採用DB-25Socket（母）型式。感謝閱讀1）電氣信號之規(guī)格Active/PassiveON狀態(tài)OFF狀態(tài)電流電壓電流電壓輸入Max