干燥爐培訓(xùn)課件

干燥爐2023/7/3P-1一、干燥爐的基本知識二、干燥爐的結(jié)構(gòu)三、量產(chǎn)用干燥爐四、COC干燥工藝P-2主要內(nèi)容干燥爐的基本知識P-3P-4干燥爐的基本知識-干燥的目的

1）印刷之后的樣品，經(jīng)過干燥爐干燥才能固定在玻璃基板上，干燥目的是去掉常溫下不易揮發(fā)，高溫下易揮發(fā)的稀釋劑。

2）溫度并不是越高越好，只要能使稀釋劑按要求揮發(fā)即可。

3）印刷線條的寬度及厚度隨干燥爐的溫度不同而變化，為了得到均勻一致的圖形，干燥爐的溫度及其保溫時間有所變化。

4）特別是熒光粉的干燥工藝，它可以調(diào)整熒光粉在障壁上的分布狀態(tài)，達(dá)到優(yōu)化顯示單元的目的。P-5PDP干燥設(shè)備為IR（紅外）加熱式的漿料干燥設(shè)備。

42寸八面取級別的PDP用玻璃基板非常大，約為2300×1950mm，厚度約為2～5mm。此基板表面在絲網(wǎng)印刷工序印刷數(shù)10μm，在涂敷工序漿料涂敷到數(shù)百μm厚，在干燥工序中，漿料中的BCA/松油醇等的有機(jī)溶劑成分被蒸發(fā)。有機(jī)溶劑對IR的吸收率高，由于基板上整體被涂敷，所以可以說從基板上方進(jìn)行IR加熱的方式是最有效的、最適合的。干燥爐的基本知識-干燥方式P-6干燥爐的基本知識-干燥速度與溫度曲線1）干燥速度要與溶劑揮發(fā)速度相同，必要時要延長保溫時間。

2）如果在不完全干燥狀態(tài)下進(jìn)入高的溫度區(qū)，下層的溶劑部分急劇氣化膨脹，造成裂痕和破裂。

3）為了提高干燥效率，有必要采用階梯狀的干燥曲線(如下圖)，控制厚度方向的干燥順序。

4）如果采用從基板上、下方同時加熱的方法會更有效，由于漿料中的玻璃粉較厚，熱傳導(dǎo)慢，內(nèi)部溫度上升慢，熱平衡容易破壞（加熱過度）。P-7干燥爐的基本知識-循環(huán)送風(fēng)

干燥中將產(chǎn)生大量的蒸發(fā)溶劑成分，要一邊排到爐外，一邊控制溫度。如果漿料涂敷上面的分界層由于蒸發(fā)而飽和的話，干燥速率急劇降低。PDP的干燥需要設(shè)定符合工藝要求的熱風(fēng)條件，并進(jìn)行恒溫控制，循環(huán)送風(fēng)排氣。排氣分為有機(jī)排氣和熱排氣兩種。干燥爐的結(jié)構(gòu)P-8P-9干燥爐的結(jié)構(gòu)-主要組成（1）爐體（2）裝載部（3）加熱器（4）送氣和排氣系統(tǒng)（5）溫度控制系統(tǒng)（6）傳送系統(tǒng)P-10干燥爐的結(jié)構(gòu)（1）－爐體1）加熱爐的形態(tài)以遂道型為主流，在采用最適合干燥曲線設(shè)定的爐室內(nèi)，使基板按照順序通過，得到必要的溫度分布。

2）在升溫、保溫時為了一直保持高精度的溫度分布，干燥曲線的中途要使加熱器設(shè)定產(chǎn)生很大變化，用一個爐室的處理方法不合適。

3）對于保持時間長、比較簡單的加熱曲線，考慮到節(jié)省空間，采用塔形的多層式爐，也有在一個爐室處理的。

4）現(xiàn)在作為提高溫度精度和節(jié)省空間的兩全方法，更多地采用隧道型爐壘成2層、3層的多段連續(xù)爐。P-11干燥爐的結(jié)構(gòu)－爐體示意圖P-12干燥爐的結(jié)構(gòu)（2）－加熱器PDP用的玻璃基板由于其大小、厚度，在升降溫過程中，中央部分與周圍部分產(chǎn)生很大的溫差，中央部分難以升溫、難以降溫。在保溫過程中，相反中央部分易于升溫、周圍部分難以升溫。在需要均勻熱度的工序中，必須控制此溫度差。當(dāng)然也要控制基板的前后左右的溫度均勻，考慮這些因素設(shè)計加熱器溫度是很重要的。P-13干燥爐的結(jié)構(gòu)－遠(yuǎn)紅外線加熱機(jī)理

當(dāng)遠(yuǎn)紅外線輻射到一個物體上時，可發(fā)生吸收、反射和透過。但是，不是所有的分子都能吸收遠(yuǎn)紅外線的，只有對那些顯示出電的極性分子才起作用。水、有機(jī)物質(zhì)和高分子物質(zhì)具有強(qiáng)烈的吸收遠(yuǎn)紅外線的性能。當(dāng)這些物質(zhì)吸收遠(yuǎn)紅外線輻射能量并使其分子、原子固有的振動和轉(zhuǎn)動的頻率與遠(yuǎn)紅外線輻射的頻率相一致時，極易發(fā)生分子、原子的共振或轉(zhuǎn)動，導(dǎo)致運(yùn)動大大加劇，所轉(zhuǎn)換成的熱能使內(nèi)部升高溫度，從而使得物質(zhì)迅速得到軟化或干燥。P-14干燥爐的結(jié)構(gòu)－遠(yuǎn)紅外線加熱特點1）一般的加熱方法是利用熱的傳導(dǎo)和對流，需要通過媒質(zhì)傳播，速度慢，能耗大，而遠(yuǎn)紅外線加熱是用熱的輻射，中間無需媒質(zhì)傳播。

2）由于輻射能與發(fā)熱體溫度的4次方成正比，因此，遠(yuǎn)紅外加熱不僅節(jié)約能源而且速度快、效率高。

3）此外，遠(yuǎn)紅外線具有一定的穿透能力，由于被加熱的物質(zhì)在一定深度的內(nèi)部和表層分子同時吸收遠(yuǎn)紅外輻射能，產(chǎn)生自發(fā)熱效應(yīng)，使溶劑或水分子蒸發(fā)。

4）遠(yuǎn)紅外線發(fā)熱均勻，避免了由于熱脹程度不同而產(chǎn)生的形變和質(zhì)變，使物質(zhì)外觀。物理機(jī)械性能、牢度和色澤等保持完好。

P-15干燥爐的結(jié)構(gòu)－遠(yuǎn)紅外線加熱器的特點1）加熱速度快2）清潔3）加熱均勻4）節(jié)能5）遠(yuǎn)紅外線具有光的一切性質(zhì)6）具有穿透能力，內(nèi)部和外部同時加熱7）通過發(fā)射元件的選擇和組合，對形狀復(fù)雜、體積龐大、死角多―立體加熱8）設(shè)備費用低（與高頻加熱和微波加熱相比），對人體傷害小9）向周圍環(huán)境散射的能量少P-16干燥爐的結(jié)構(gòu)－遠(yuǎn)紅外陶瓷加熱器的類型電器式：熱源是電，有兩種形狀，棒狀和片狀，溫度控制精度高。熱媒式：熱源是蒸汽或熱煤油，是唯一防爆的加熱器，最適合用在高易燃材料的加熱，如有機(jī)溶劑。氣體式：熱源是氣體的燃燒熱，它是最廉價的，適合消耗量大的場合。P-17干燥爐的結(jié)構(gòu)（3）－送氣和排氣系統(tǒng)

為了維持爐內(nèi)的清潔、去除蒸發(fā)溶劑，爐內(nèi)需進(jìn)行送氣和排氣。送氣是經(jīng)過預(yù)熱的空氣使其通過HEPA（高效過濾器）后、從基板的上面向漿料涂敷表面附近以較低風(fēng)速供給。為了除去蒸發(fā)溶劑部分，從設(shè)置在爐內(nèi)的下方側(cè)面的排氣管進(jìn)行排氣?？窟@種送氣和排氣，使?fàn)t內(nèi)產(chǎn)生一定方向的穩(wěn)定氣流，提高干燥效率、保持爐內(nèi)空氣環(huán)境穩(wěn)定。送氣和排氣的作用P-18干燥爐的結(jié)構(gòu)（3）－送氣和排氣系統(tǒng)

從涂層上面除去的蒸發(fā)溶劑部分要排放到爐外，根據(jù)涂敷的溶劑量和處理的片數(shù)決定排氣量。蒸發(fā)溶劑成分滯留在爐內(nèi)，不光會降低干燥效率，而且會產(chǎn)生結(jié)霜/滴露的現(xiàn)象，也會再次附著在處理過程中的基板上，所以必須采取積極的排氣控制方法。排氣示意圖濃度高的蒸發(fā)溶劑成分向爐外排氣的話，排氣管道內(nèi)會產(chǎn)生大量的溶劑露水，是難以處理的。為了環(huán)保，盡量在設(shè)備內(nèi)進(jìn)行回收，在排氣管道上安裝冷凝交換器，冷卻去除溶劑后再排氣。P-19干燥爐的結(jié)構(gòu)（3）－送氣和排氣系統(tǒng)P-20干燥爐的結(jié)構(gòu)（4）－溫度控制系統(tǒng)溫度控制器的構(gòu)造溫度控制器主要有三部分組成：1、溫度調(diào)節(jié)器。2、繼電器：一般是固態(tài)繼電器。固態(tài)繼電器(SolidStateRelay，SSR)與機(jī)電繼電器相(ElectromechanicalRelay,EMR)比，是一種沒有機(jī)械運(yùn)動，不含運(yùn)動零件的繼電器，但它具有與機(jī)電繼電器本質(zhì)上相同的功能。3、溫度傳感器：熱電偶。P-21干燥爐的結(jié)構(gòu)（5）－傳送系統(tǒng)

搬運(yùn)方式采用移動梁方式或者滾軸傳送帶方式。根據(jù)干燥曲線條件、加熱爐形態(tài)來選擇，總之要爐內(nèi)不產(chǎn)生粉塵的構(gòu)造，必須滿足1000等級的潔凈度。為減少對基板的熱影響，基板接觸部分使用耐熱樹脂。多層式的IR干燥爐不宜采用移動梁方式，而是采用滾軸傳送帶方式，流水線搬運(yùn)時會受到振動，容易控制基板的溫度均勻。從加熱爐排出的基板難以自然冷卻，冷卻到室溫需要幾十分鐘。下一工序是曝光工序時，必須使基板降到環(huán)境溫度，為此使用水冷式冷卻板，在2～3分鐘使基板溫度降低到室溫。流水線中，為了防止基板在高溫狀態(tài)下直接放在水冷式冷卻板上而造成破裂，水冷組件前面設(shè)置由風(fēng)扇吹風(fēng)的空冷組件，先將基板冷卻到不會破裂的溫度80℃，再進(jìn)行水冷。量產(chǎn)用干燥爐P-22量產(chǎn)用干燥爐P-23干燥爐的作用

在印刷/涂敷/噴涂等工序完成后，去除基板上面漿料產(chǎn)生的溶劑，并均勻地進(jìn)行干燥。量產(chǎn)產(chǎn)品尺寸量產(chǎn)用干燥爐－干燥爐設(shè)備清單P-24量產(chǎn)用干燥爐－干燥爐設(shè)備清單P-251－stagedryerfurnace

(單層干燥式干燥爐)BarrierRibDryer1#BarrierRibDryer2#Phosphor-RDryerPhosphor-GDryerPhosphor-B&SealLineDryer3－stagedryerfurnace

(三層干燥式干燥爐)ITOPRDryerBUS(B)Electrode&BSDryerBUS(W)ElectrodeDryerFrontDielectricDryerAddressElectrodeDryerRearDielectricDryerBarrierRibPRDryerP-26干燥爐升溫、保溫Zone剖面圖供氣流動方向HeatingAir流動方向排氣流動方向量產(chǎn)用干燥爐基本構(gòu)成－爐體量產(chǎn)用干燥爐基本構(gòu)成－爐體P-27干燥爐徐冷Zone剖面圖Filtering的Air流入排氣口Air流動方向排氣流動方向量產(chǎn)用干燥爐基本構(gòu)成－傳送系統(tǒng)P-28

傳送系統(tǒng)：RollerConveyor的In-Line方式

1）Roller

可以防止Scratch和沖擊的Roller。

2）蛇行量蛇行誤差：左/右±20mm以內(nèi)（COC干燥爐最大長度基準(zhǔn)）

3）驅(qū)動方式加熱、保溫Zone是連續(xù)式驅(qū)動，徐冷Zone是間歇式驅(qū)動

4）Heater、Roller應(yīng)是便于進(jìn)行維修的形式。量產(chǎn)用干燥爐－加熱器、溫度控制器P-29爐體內(nèi)Sensor的設(shè)置：爐體內(nèi)溫度探測T/C的設(shè)置：包括升溫Zone和KeepingZone。為了測定爐內(nèi)的溫度，溫度Sensor(熱偶)設(shè)置在內(nèi)部。溫度Sensor測定爐子內(nèi)的溫度，進(jìn)行FeedBack控制。加熱器：采用IRHeater輻射加熱方式加熱。量產(chǎn)用干燥爐－供氣/排氣系統(tǒng)AirFlow分布P-30供氣使用的空氣是潔凈間的空氣量產(chǎn)用干燥爐－有機(jī)排氣示意圖P-31量產(chǎn)用干燥爐－干燥爐的基本流程P-32量產(chǎn)用干燥爐-爐溫曲線P-33溫度曲線量產(chǎn)用干燥爐－各Zone的溫度及規(guī)格P-34P-3550mm5050①②③④⑤⑥⑦⑧⑨50WL九點溫度測定法量產(chǎn)用干燥爐－溫度均一性規(guī)格量產(chǎn)用干燥爐－溫度均一性規(guī)格P-36量產(chǎn)用干燥爐－爐體內(nèi)潔凈度實現(xiàn)方案P-37爐體內(nèi)潔凈度要求：1000級爐體內(nèi)潔凈度實現(xiàn)方案COC干燥工藝P-38COC干燥工藝－干燥工序P-39

前基板工序：ITOPR干燥BUS（B）電極干燥BUS（W）電極干燥前介質(zhì)干燥

后基板工序：ADD電極干燥后介質(zhì)干燥障壁干燥BRPR干燥熒光粉&SL干燥COC干燥工藝－相關(guān)工序的干燥參數(shù)（1）P-40PR膠、介質(zhì)和障壁的干燥有兩個keep，但作用不同！見干燥曲線

區(qū)間時間積累COC干燥工藝－相關(guān)工序的干燥參數(shù)（2）P-41COC干燥工藝－ITO&BRPR干燥溫度曲線P-42110℃-8min-5.4℃/min5℃/min10℃/minCOC干燥工藝－BUS&ADD電極干燥溫度曲線P-43110℃-12min11.3℃/min-5.4℃/minCOC干燥工藝－FD&RD干燥溫度曲線P-44150℃-7min16℃/min-10.0℃/min5℃/minCOC干燥工藝－BR干燥溫度曲線

P-45150℃-7min16.3℃/min-10.0℃/min5℃/minCOC干燥工藝－PH(R&G)干燥溫度曲線P-46150℃-10min16.3℃/min-10℃/minCOC干燥工藝－PH(B)&SL干燥溫度曲線

P-47150℃-13min16.3℃/min-10℃/min謝謝P-481在企業(yè)內(nèi)部，只有成本。21世紀(jì)，沒有危機(jī)感是最大的危機(jī)。如果有一個項目，首先要考慮有沒有人來做。如果沒有人做，就要放棄，這是一個必要條件。20世紀(jì)是生產(chǎn)率的世紀(jì)，21世紀(jì)是質(zhì)量的世紀(jì)，質(zhì)量是和平占領(lǐng)市場最有效的武器。把一件簡單的事做好就不簡單，把每一件平凡的事做好就不平凡。自古以來的偉人，大多是抱著不屈不撓的精神，從逆境中掙扎奮斗過來的。03-7月-2323:207月-23科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步將會給人們的生活帶來巨大的影響，而人們要不斷適應(yīng)這種時代的變化，而不要坐等未來，失去自我發(fā)展的良好機(jī)2023/7/3會。2023/7/323:20:18不只獎勵成功，而且獎勵失敗。一個人想要成功，就要學(xué)會在機(jī)遇從頭頂上飛過時跳起來抓住它。這樣逮到機(jī)遇的機(jī)會就會增大。23:20:1823:207月-23公平不是總存在的，在生活學(xué)習(xí)的各個方面總有一些不能如意的地方。但只要適應(yīng)它，并堅持到底，總能收到意想不到的成效?；ㄙM數(shù)百元買一本書，便可以獲得別人的智慧經(jīng)驗。然而，如果你全盤模仿，不加思考，那有時就會畫虎不成反類犬。不能搞平均主義，平均主義懲罰表現(xiàn)好的，鼓勵表現(xiàn)差的，得來的只是一支壞的職工隊伍。7月-2323:20利人為利已的根基，商業(yè)經(jīng)營上老是為自己著想，而不顧及到他人，利也就可能隨之“飛”了。管理就是把復(fù)雜的問題簡單化，把混亂的事情規(guī)范化。質(zhì)量等于利潤。7月-2323:2023:20:18失敗并非壞事，一次失敗能教會你許多，甚至比你大學(xué)里所學(xué)的還有用。噴泉的高度不會超過它的源頭;一個人的事業(yè)也是這樣，他的成就絕不會超過自己的信念。03-7月-23機(jī)會并不會自動地轉(zhuǎn)化為鈔票只花一元錢的顧客，比花一百元的顧客，對生意的興隆更具有根本性的影響力。23:20:1819:117月-23做事，不止是人家要我做才做，而是人家沒要我做也爭著去做。這樣，才做得有趣味，也就會有收獲。7月-237月-23戰(zhàn)略越精煉，就越容易被徹底地執(zhí)行。他之所以為自己所領(lǐng)導(dǎo)的微軟而感到自豪，是因為在這個團(tuán)體中聚集了一大批與他一樣熱愛微軟事業(yè)的人。202