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&
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Width(幅面寬度)500
mm(max)Web
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Web
Ranger檢測(cè)平臺(tái)Wintriss滑軌式測(cè)試平臺(tái)需檢測(cè)的最小缺陷尺寸CDMD檢測(cè)系統(tǒng)分辨率CDMD0.065
mm0.065mm0.065
mm0.065mm相機(jī)及參數(shù)型號(hào)行掃描頻率角度(相對(duì)材料)增益OPSIS7500600090°Or
45°2.5光源及參數(shù)類型電流強(qiáng)度角度(相對(duì)材料)光源到材料距離LED2A30°~45°10CM相機(jī)鏡頭焦距光圈數(shù)值50mm4光學(xué)配置方案一:正面反射Bilevel
(看在輥面)相機(jī)LED光源導(dǎo)輥結(jié)論:“扎點(diǎn)”在Bilevel光源下呈現(xiàn)為黑白結(jié)合的凹凸點(diǎn),灰階差異明顯,容易檢出。結(jié)論:“臟污”在Bilevel光源下呈現(xiàn)為黑色,第一張缺陷,灰階差異較小,檢測(cè)有難度;后三張圖片灰階差異明顯,容易檢出。結(jié)論:“燒點(diǎn)”在Bilevel光源下呈現(xiàn)為黑色點(diǎn)狀,灰階差異明顯,容易檢出。
“水印”在Bilevel光源下基本沒有灰階差異,檢不出。
“白點(diǎn)”在Bilevel光源下基本沒有灰階差異,檢不出。結(jié)論:“燒點(diǎn)”在Bilevel光源下呈現(xiàn)為黑色點(diǎn)狀,灰階差異明顯,容易檢出。
“臟污”在Bilevel光源下基本沒有灰階差異,檢不出。結(jié)論:“異色”在Bilevel光源下基本沒有灰階差異,檢不出。結(jié)論:“輥印”在Bilevel光源下基本沒有灰階差異,檢不出。1、相機(jī)看在輥面、光源明暗交界處。2、樣品1的“扎點(diǎn)”、樣品2的“臟污”、樣品3和樣品4的“燒點(diǎn)”在此配置下,灰階差異明顯,容易檢出。3、樣品3的“水印”和“白點(diǎn)”、樣品4的“臟污”、樣品5的“異色”、樣品6的“輥印”在此配置下,基本沒有灰階差異,檢不出。光學(xué)配置方案二:正面反射出輥面處、光源暗區(qū)相機(jī)LED光源導(dǎo)輥45°30°結(jié)論:“扎點(diǎn)”在光源暗區(qū)基本沒有灰階差異,檢不出。結(jié)論:“臟污”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為黑色,四張缺陷均灰階差異明顯,容易檢出。結(jié)論:“燒點(diǎn)”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為黑色點(diǎn)狀,灰階差異明顯,容易檢出。
“水印”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為白色圓圈形,有灰階差異,可以檢出。
“白點(diǎn)”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為白色點(diǎn)狀,有灰階差異,可以檢出。結(jié)論:“燒點(diǎn)”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為黑色點(diǎn)狀,灰階差異明顯,容易檢出。
“臟污”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為大面積白色,有灰階差異,使用大filter、高靈敏度,可以檢出。結(jié)論:“異色”在光源暗區(qū)基本沒有灰階差異,檢不出。結(jié)論:“輥印”在光源暗區(qū)呈現(xiàn)為白色CD條狀,灰階差異不夠明顯,使用CD條形filter、高靈敏度,有機(jī)會(huì)檢出。1、相機(jī)看在材料出輥面處、光源暗區(qū)。2、樣品2的“臟污”、樣品3的“水印”和“白點(diǎn)”、樣品4的“臟污”、樣品3和樣品4的“燒點(diǎn)”在此配置下,灰階差異明顯,容易檢出。3、樣品5的“異色”在此配置下,基本沒有灰階差異,檢不出。4、樣品6的“輥印”在此配置下,灰階差異不夠明顯,使用CD條形
filter、高靈敏度,有機(jī)會(huì)檢出。序號(hào)材料、缺陷類型方案一方案二容易檢出可以檢出有難度檢不出容易檢出可以檢出有難度檢不出1扎點(diǎn)√×2臟污▲√3燒點(diǎn)√√水印×√白點(diǎn)×√4燒點(diǎn)√√臟污×√5異色××6輥印×◆注:容易檢出√、可以檢出▲、有難度◆、檢不出×。1、測(cè)試條件:使用兩種方案對(duì)比測(cè)試。方案一:相機(jī)看在輥面、光源明暗交界處。
方案二:相機(jī)看在材料出輥面處、光源暗區(qū)。2、方案一采用Bilevel光源技術(shù),檢測(cè)立體缺陷效果較佳,如“扎點(diǎn)”缺陷建議配置此方案。3、方案二相機(jī)看在材料出輥面處、光源暗區(qū),檢測(cè)平面缺陷效果較佳,如“臟污”、“燒點(diǎn)”、“水印”、“白點(diǎn)”和
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