藍(lán)光修改版勻膠機(jī)

沈陽芯源微電子設(shè)備KINGSEMI（高效機(jī)械手型號:KS-S（Ⅲ）150-應(yīng)用:4/6″標(biāo)準(zhǔn)圓形基沈陽芯源微電子KINGSEMITOC\o"1-1"\h\z\u一、設(shè)備概 二、應(yīng)用范 三、產(chǎn)品工作描 四、基本配置及技術(shù)參 五、主操作界面（供參考 六、設(shè)備布置圖（供參考 七、設(shè)備外形尺寸圖（供參考 八、設(shè)備外觀圖（供參考 九、設(shè)備性能及工藝驗(yàn)收指標(biāo)（以4寸基片為準(zhǔn) 一、設(shè)備概本星型勻膠機(jī)（KS-S（Ⅲ）150-2C1CL）4/6″標(biāo)準(zhǔn)圓形基片勻膠工藝的設(shè)備。該設(shè)備主要由盒單二、應(yīng)用范46三、產(chǎn)品工作描勻膠單PP材料制成。光刻膠采用精密計(jì)量泵供應(yīng)，精度高，供液穩(wěn)定，出膠量設(shè)定方便。移單單元基片采用真空吸附方式定位，主軸電機(jī)采用進(jìn)流無刷伺服電機(jī)，保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度PP材料制成。移動(dòng)臂為精密電機(jī)驅(qū)動(dòng)，運(yùn)行可靠穩(wěn)定，誤差小。熱盤單0.1mm厚間隙，受熱更均勻，先進(jìn)PID溫度控制，溫度控制更穩(wěn)定。冷盤單0.1mm厚間隙，制冷更均勻，先進(jìn)PID溫度控制，溫度控制更穩(wěn)定。采用電子制冷片溫度控制，溫度可以迅速穩(wěn)定，多片制冷4.控制軟/硬行情況；工藝參數(shù)數(shù)字化檢測控制，分等級、嚴(yán)重緊急情況、超限；自由編制、修改、編輯、、四、基本KS-S（Ⅲ）100/150-2C1CL星型勻膠機(jī)基本配置及技術(shù)參機(jī)器框架平基片規(guī)盒站部傳片單

圓基片：4/6材質(zhì)：4寸藍(lán)寶石、6盒站單元：4/6寸標(biāo)準(zhǔn)片盒盒站數(shù)量：2個(gè)片盒檢測：反射式傳感器晶片傳送方式：機(jī)器人自動(dòng)傳送機(jī)器人：雙臂、真空吸附晶片機(jī)器人轉(zhuǎn)軸：4軸行程范圍：Z-T-最大速度：Z-重復(fù)定位精度：±0.1mm以內(nèi)手指材質(zhì)：陶瓷勻膠單

晶圓檢測：數(shù)字真空傳感器最大轉(zhuǎn)速：6000rpm（空載）最小調(diào)整量：1rpm轉(zhuǎn)速精度：±1rpm(50rpm～5000最大加速度：吸盤接觸模式：吸盤真空檢測：數(shù)顯真空壓力傳感器

噴嘴口徑：4mm噴嘴數(shù)量：3個(gè)噴嘴保濕：有光刻膠供應(yīng)方式：高精度電動(dòng)計(jì)量泵4寸基片背面功能 寸基片背面功能 6寸正面去邊功能 RRC功 有CUP功能 有（光刻膠過濾 電機(jī)漏液防護(hù)功能 收集杯材質(zhì) 0.3um,class6、單最大轉(zhuǎn)速 6000rpm（空載 轉(zhuǎn)速精度 ±1rpm(50rpm～5000 吸盤接觸模式 噴嘴口徑 噴嘴數(shù)量 供應(yīng)方式 電機(jī)漏液防護(hù)功能 收集杯材質(zhì) 0.3um,class熱盤單

熱盤數(shù)量：6溫度范圍：最小調(diào)整量：溫度均勻性：50℃—130℃：±1溫控方式：PID：溫度雙段熱盤表面材料：鋁制硬質(zhì)陽極化接觸間隙：0.1mm支柱材質(zhì)：冷盤單

冷盤數(shù)量：2溫度范圍：最小調(diào)整量：溫度均勻性：溫控方式：PID：溫度雙段冷盤表面材料：鋁制硬質(zhì)陽極化接觸間隙：0.1mm支柱材質(zhì)：化學(xué)品供

容積：供應(yīng)方式：高精度電動(dòng)計(jì)量泵膠瓶蓋：快插接頭方式光刻膠過濾：有排泡裝置：有

種類：1液罐：110公升不銹鋼罐供應(yīng)方式：N2壓出加注方式：手動(dòng)（ORMON）排泡裝置：有CUP

種類：1液罐：110公升不銹鋼罐供應(yīng)方式：N2壓出加注方式：手動(dòng)背洗液檢測：光電液位檢測（ORMON）排泡裝置：有

種類 1供應(yīng)方式：廠務(wù)供應(yīng)系統(tǒng)控控制系統(tǒng)：工控機(jī)顯示系統(tǒng)：15英寸觸摸屏操作系統(tǒng)：Windows控制界面：圖形化人機(jī)界面通信方式：以太網(wǎng)信號塔類型：3廠務(wù)系壓力：≥0.5Mpa≥120L/min數(shù)量：1套3/8″

壓力：≤-85KPa≥30L/min數(shù)量：1套3/8″

壓力：≥0.4Mpa流量：≥30L/min數(shù)量：2套連接方式：3/8″ ≥3L/min；數(shù)量 1套連接方式 3/8卡套接頭壓力差：流量： 1 勻膠&單元排氣：2套、5m3/min 1套、5m3/min 1套、3m3/min Φ100mm管

1連接方式：1″廢液桶口：為尖狀，防止藥液滴落到廢液桶側(cè)壁廢液排放：直排，設(shè)備預(yù)留孔連接位置 電源 外形尺寸及重

外形尺寸：L=1610W=1650；H=1900mm)；設(shè)備重量：1100Kg；五、主操作界面（供參考顯示器、按七、設(shè)備外形尺寸圖（供參考八、設(shè)備外觀圖（供參考九、設(shè)備性能及工藝驗(yàn)收指標(biāo)（以4寸基片為準(zhǔn)模塊電機(jī)檢測試最大轉(zhuǎn)速：6000rpm（空載最小調(diào)整量：轉(zhuǎn)速精度：±1rpm（50-5000rpm）加速度：30000rpm熱盤、冷盤溫度檢測

熱盤均勻性：50℃—130℃：±1冷盤均勻性：產(chǎn)能 CL20s→