單晶斷棱的原因及采取的措施

單晶斷棱的原因及采取的措施第1頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一斷棱的原因及采取的措施斷棱的原因：A：極限真空、漏氣率達不到要求B：設備故障C：縮頸位錯排除不干凈D：吃渣E：操作不當F：熱場梯度不合適第2頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一極限真空、漏氣率達不到要求原因：1.存在僥幸心理。采取措施：嚴格執(zhí)行工藝條件2.密封清理不干凈采取措施：重新清理密封3.泵油沒及時更換；過濾網(wǎng)沒有清掃采取措施：更換泵油4.其它原因，請維修部檢修第3頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一設備故障機械故障液面震動；堝升不合適等。電器故障拉速不穩(wěn)；晶轉、堝轉不穩(wěn)；歐陸有自動升降溫現(xiàn)象等。采取措施：找維修人員維修第4頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一縮頸位錯排除不干凈

引晶的目的：引入一定向晶核，對于我公司的產(chǎn)品型號是P型，晶向是<100>縮頸的目的：引出的單晶存在著大量的位錯，通過縮細頸可有效地排除位錯，保證無位錯單晶的生長。第5頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一如何引晶、縮細頸引晶1.保證籽晶無氧化、表面干凈2.熔硅時使籽晶遠離高溫區(qū)，避免籽晶污染和新的位錯產(chǎn)生。3.多晶硅熔完后，籽晶下降到離液面10—20毫米，烘5—10分鐘，使籽晶溫度接近熔硅溫度。4.調整液面溫度，待溫度合適時，籽晶點入熔體5毫米左右，停留穩(wěn)定至少10分鐘，讓其充分熔接。第6頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一如何引晶、縮細頸縮細頸待溫度合適時，逐漸上提拉速引出一段晶體，確認是要求的晶向，并且是單晶開始縮頸。縮頸的要求：1.拉速2.5—4.0毫米/分最好2.細頸的直徑2.5—4.5毫米3.細頸的長度100毫米以上4.縮頸時位錯排除不徹底，放肩時到轉肩200毫米時會斷棱，因為位錯會擴張長大。5.熔硅溫度的起伏和縮頸速率的起伏，均會產(chǎn)生新的位錯第7頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一

吃渣當晶體在生長過程中遇到外來的渣點原來生長的單晶的晶格將被破壞，使原來的單晶變?yōu)槎嗑?，對?lt;100>晶向即所謂的斷棱。渣點的來源

1.原料內存在的石英、石墨及多晶料殘留的水痕、酸痕。

2.爐室清掃的不干凈，殘留的渣點落入液面造成斷棱。

3.導流筒內外表面清掃的不干凈，殘留的渣點落入液面造成斷棱。

4.氬氣不純、漏氣、漏水生成的SiO

5.抽氣速率低生成的揮發(fā)物排除的不及時。第8頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一

避免吃渣采取的措施1.裝料時要認真檢查原料是否有石英、石墨，盡量避免熔硅時的搭橋、掛邊，檢查原料是否清洗干凈。2.爐室及導流筒的內、外表面必須清掃干凈，必要時要用沙紙把表面過多的揮發(fā)物要進行清理。3.嚴格按操作工藝要求操作，認真檢查爐臺各部分的密封，并按工藝要求進行清理。4.對于抽氣率、漏氣率要嚴格按工藝要求執(zhí)行。5.認真觀察拉晶過程中爐內的運行情況，并做好記錄，存在的問題要及時處理。6.必要時要掉出一部分料沾出一些渣點，高溫揮發(fā)一段時間第9頁，共10頁，2023年，2月20日，星期一

操作不當1.引晶、縮頸位錯排除的不徹底2.放肩速度不合適，溫度、拉速控制不當3.轉肩沒有掌握要領4.裝爐檢查不仔細，造成坩堝擺動，