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文檔簡介
光電成像系統(tǒng)-20161124第一頁,共96頁。光電成像系統(tǒng)第二頁,共96頁。1光電成像概述一、光電成像系統(tǒng)的分類:
按照光電成像系統(tǒng)對應(yīng)的光波長范圍分類:可見光光電成像系統(tǒng);紫外光光電成像系統(tǒng);紅外光光電成像系統(tǒng);
X光光電成像系統(tǒng)。第三頁,共96頁。二、光電成像系統(tǒng)要研究的問題光電成像涉及到一系列復(fù)雜的信號傳遞過程。有四個方面的問題需要研究:1、能量方面——物體、光學(xué)系統(tǒng)和接收器的光度學(xué)、輻射度學(xué)性質(zhì),解決能否探測到目標的問題。1光電成像概述第四頁,共96頁。3、噪聲方面——決定接收到的信號不穩(wěn)定的程度或可靠性。4、信息傳遞速率方面——
成像特性、噪聲信息傳遞問題,決定能被傳遞的信息量大小。2、成像特性——能分辨的光信號在空間和時間方面的細致程度,對多光譜成像還包括它的光譜分辨率。1光電成像概述第五頁,共96頁。三、光電成像系統(tǒng)基本組成的框圖
其中光電攝(成)像器件是光電成像系統(tǒng)的核心。
1光電成像概述第六頁,共96頁。2固體攝像器件分類及性能固體攝像器件的功能:光學(xué)圖像電信號把入射到傳感器光敏面上按空間分布的光強信息(可見光、紅外輻射等),轉(zhuǎn)換為按時序串行輸出的電信號——視頻信號。其視頻信號能再現(xiàn)入射的光輻射圖像。
轉(zhuǎn)換第七頁,共96頁。固體攝像器件主要有三大類:電荷耦合器件(ChargeCoupledDevice,即CCD)互補金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器(即CMOS)電荷注入器件(ChargeInjenctionDevice,即CID)
目前,前兩種用得較多,我們這里主要分析
CCD一種。2固體攝像器件分類及性能第八頁,共96頁。CCD圖像傳感器的優(yōu)勢具有固體器件所有優(yōu)點;自掃描輸出方式消除了電子束掃描造成的圖像光電轉(zhuǎn)換的非線性失真,體積、重量、功耗和制造成本是電子束攝像管無法達到的。CCD圖像傳感器的誕生和發(fā)展使人們進入了更為廣泛應(yīng)用圖像傳感器的新時代。2固體攝像器件分類及性能第九頁,共96頁。Fig.1貝爾實驗室GeorgeSmith和WillardBoyle將可視電話和半導(dǎo)體存儲技術(shù)結(jié)合發(fā)明了CCD原型2009年諾貝爾獎物理學(xué)獎得主2固體攝像器件分類及性能第十頁,共96頁。瑞典皇家科學(xué)院6日宣布,美國科學(xué)家威拉德·博伊爾和喬治·史密斯因發(fā)明電荷耦合器件(CCD)圖像傳感器而與“光纖之父”高錕一同獲得2009年諾貝爾物理學(xué)獎。評委會贊揚博伊爾與史密斯1969年第一次成功地發(fā)明了數(shù)字成像技術(shù),工作于貝爾實驗室的他們設(shè)計了一種影像傳感器,可以將光在短時間內(nèi)轉(zhuǎn)化為像素,為攝影技術(shù)帶來“革命化”變革?!皼]有CCD,數(shù)碼相機的發(fā)展將更為緩慢。沒有CCD,我們就不會看到哈勃太空望遠鏡拍攝的令人詫異的圖片,也不會看到我們的鄰居火星上的紅色沙漠圖像?!痹u委會說。112固體攝像器件分類及性能第十一頁,共96頁。1969年,由美國的貝爾研究室所開發(fā)出來的。同年,日本的SONY公司也開始研究CCD。1973年1月,SONY中研所發(fā)表第一個以96個圖素并以線性感知的二次元影像傳感器〝8H*8V(64圖素)FT方式三相CCD〞。1974年6月,彩色影像用的FT方式32H*64VCCD研究成功了。1976年8月,完成實驗室第一支攝影機的開發(fā)。1980年,SONY發(fā)表全世界第一個商品化的CCD攝影機(編號XC-1)。1981年,發(fā)表了28萬個圖素的CCD(電子式穩(wěn)定攝影機MABIKA)。1983年,19萬個圖素的IT方式CCD量產(chǎn)成功。1984年,發(fā)表了低污點高分辨率的CCD。1987年,1/2inch25萬圖素的CCD,在市面上銷售。同年,發(fā)表2/3inch38萬圖素的CCD,且在市面上銷售。1990年7月,誕生了全世界第一臺V8。CCD發(fā)展史2固體攝像器件分類及性能第十二頁,共96頁。2.1電荷耦合攝像器件
CCD(ChargeCoupledDevice),是70年代初發(fā)展起來的新型半導(dǎo)體光電成像器件。
30多年來,CCD技術(shù)已廣泛的應(yīng)用于信號處理、數(shù)字存儲及影像傳感等領(lǐng)域。
其中,CCD技術(shù)在影像傳感中的應(yīng)用最為廣泛,已成為現(xiàn)代光電子學(xué)和測試技術(shù)中最活躍、最富有成果的領(lǐng)域之一。第十三頁,共96頁。CCD的特點:
以電荷作為信號。CCD的基本功能:
電荷存儲和電荷轉(zhuǎn)移。CCD工作過程:
信號電荷的產(chǎn)生、存儲、傳輸和檢測的過程。2.1電荷耦合攝像器件第十四頁,共96頁。二、CCD的基本功能包括:電荷的產(chǎn)生、存儲、轉(zhuǎn)移和輸出。1、電荷的產(chǎn)生:電荷的產(chǎn)生方法主要分為:光注入和電注入。(1)電注入:當CCD用作信息存貯或信息處理時,通過輸入端注入與信號成正比的電荷。(2)光注入:當CCD用作拍攝光學(xué)圖像時,把按照照度分布的光學(xué)圖像通過光電轉(zhuǎn)換成為電荷分布,然后由輸入部分注入。
CCD相機就是采用光注入。2.1電荷耦合攝像器件第十五頁,共96頁。2、電荷存儲
以襯底為P型硅構(gòu)成的MOS電容為為例。(1)當向柵極施加一定較小的正向電壓時,
P型硅中的空穴被排斥,產(chǎn)生耗盡區(qū)。(2)當柵極的正向電壓大于半導(dǎo)體的域值電壓時,
半導(dǎo)體與絕緣體界面上的電勢變高,以致于將半導(dǎo)體體內(nèi)的電子(少數(shù)載流子)吸引到表面,形成有一定寬度的可存儲電子的勢阱。2.1電荷耦合攝像器件第十六頁,共96頁。3、電荷轉(zhuǎn)移
通過按照一定的時序在電極上施加高低電壓,使電荷在相鄰的勢阱間進行轉(zhuǎn)移。通常把CCD的電極分為幾組,每一組稱為一相,并施加同樣的時鐘脈沖。按相數(shù)可分為:二相CCD、三相CCD、四相CCD等。對于單層金屬化電極結(jié)構(gòu),為了保證電荷的定向轉(zhuǎn)移,至少需要三相。這里以三相表面溝道CCD為例。2.1電荷耦合攝像器件第十七頁,共96頁。二、電荷耦合攝像器件的工作原理
CCD的電荷存儲、轉(zhuǎn)移的概念+半導(dǎo)體的光電性質(zhì)CCD攝像器件按結(jié)構(gòu)可分為線陣CCD和面陣CCD
按光譜可分為可見光CCD、紅外CCD、X光CCD和紫外CCD
可見光CCD又可分為黑白CCD、彩色CCD和微光CCD2.1電荷耦合攝像器件第十八頁,共96頁。(1)線陣CCD
線陣CCD可分為雙溝道傳輸與單溝道傳輸兩種結(jié)構(gòu)。2.1電荷耦合攝像器件
兩種結(jié)構(gòu)的工作原理相仿,但性能稍有差異。單溝道線陣CCD轉(zhuǎn)移次數(shù)多,效率低,只適用于像素單元較少的成像器件。雙溝道線陣CCD轉(zhuǎn)移次數(shù)減少一半,它的總轉(zhuǎn)移效率也提高為原來的兩倍。
線陣CCD每次掃描一條線,為了得到整個二維圖像的視頻信號,就必須用掃描的方法實現(xiàn)。第十九頁,共96頁。(2)面陣CCD分類:幀轉(zhuǎn)移CCD和行間轉(zhuǎn)移CCD.目前比較常用的形式是幀轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)。光敏區(qū)是由光敏CCD陣列構(gòu)成的,其作用是光電變換和在自掃描正程時間內(nèi)進行光積分,暫存區(qū)是由遮光的CCD構(gòu)成的,它的位數(shù)和光敏區(qū)一一對應(yīng),其作用是在自掃描逆程時間內(nèi),迅速地將光敏區(qū)里整幀的電荷包轉(zhuǎn)移到它里面暫存起來,如圖6.16所示。2.1電荷耦合攝像器件圖6.16幀轉(zhuǎn)移面陣CCD第二十頁,共96頁。然后,光敏區(qū)開始進行第二幀的光積分,而暫存區(qū)則利用這個時間,將電荷包一次一行地轉(zhuǎn)移給CCD移位寄存器,變?yōu)榇行盘栞敵?。當CCD移位寄存器將其中的電荷包輸出完了以后,暫存區(qū)里的電荷包再向下移動一行給CCD移位寄存器。當暫存區(qū)中的電荷包全部轉(zhuǎn)移完畢后,再進行第二幀轉(zhuǎn)移,如圖6.17所示。2.1電荷耦合攝像器件第二十一頁,共96頁。幀轉(zhuǎn)移面陣CCD的優(yōu)點是電極結(jié)構(gòu)簡單,感光區(qū)面積可以很小。缺點是需要面積較大的暫存區(qū)。行間轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)采用了光敏區(qū)域轉(zhuǎn)移區(qū)相間排列的方式。它的結(jié)構(gòu)相當于將若干個單溝道傳輸?shù)木€陣CCD圖像傳感器按垂直方向并排,再在垂直陣列的盡頭設(shè)置一條水平CCD,水平CCD的每一位與垂直列CCD一一對應(yīng)、相互銜接,如圖6.18所示。2.1電荷耦合攝像器件第二十二頁,共96頁。(3)黑白CCD與彩色CCD?;谇笆龉に嚨模茫茫谋举|(zhì)上為黑白CCD,它無法確定入射到光敏元上的各個顏色的光的組成。若想獲取被攝物體的色差信息,需要使用彩色CCD。彩色CCD目前主要有三片式和單片式兩種。2.1電荷耦合攝像器件第二十三頁,共96頁。單片式彩色CCD攝像機結(jié)構(gòu)簡單、價格較低,是目前工業(yè)、家用攝影的主流。關(guān)鍵器件是濾色器陣列。圖6.20所示是兩種常用的濾色器形式。2.1電荷耦合攝像器件第二十四頁,共96頁。一般的彩色數(shù)碼相機是在黑白CCD上覆蓋拜爾濾鏡(Bayerfilter),如圖6.20(a)所示。每四個像素形成一個單元,一個負責(zé)過濾紅色,一個過濾藍色,兩個過濾綠色。之所以選擇兩個綠色像素是因為相比較而言人眼對綠色最為敏感,因此綠色信息應(yīng)最為精確。結(jié)果每個像素都接收到對應(yīng)顏色的光強,單個像素是無法反映對應(yīng)物體的色彩信息的,通過一定的去馬賽克算法(demosaicingalgorithm)對這些像素的光強進行差分處理,可以最終獲得彩色圖像。2.1電荷耦合攝像器件第二十五頁,共96頁。由于一片CCD同時完成亮度信號和色度信號的轉(zhuǎn)換,使得拍攝出來的圖像在彩色還原上達不到專業(yè)水平的要求。為了解決這個問題,便出現(xiàn)了3CCD攝像機。即一臺攝像機使用了三片CCD,分別用于接收光信號中的紅(R)、綠(G)、藍(B)三種顏色并轉(zhuǎn)換為電信號,然后經(jīng)過電路處理后產(chǎn)生圖像信號。2.1電荷耦合攝像器件第二十六頁,共96頁。271)轉(zhuǎn)移效率η和損耗率ε電荷包從一個勢阱向另一個勢阱中轉(zhuǎn)移有一個過程,為了描述電荷包轉(zhuǎn)移的不完全性,引入轉(zhuǎn)移效率的概念。在一定的時鐘脈沖驅(qū)動下,設(shè)電荷包的原電量為Q0,轉(zhuǎn)移到下一個勢阱時電荷包的電量為Q1,則轉(zhuǎn)移效率η定義為:
η=Q1/Q0
損耗率ε表示殘留于原勢阱中的電量與原電量之比,故
ε=1-η(6-3)2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
1.CCD的特性參數(shù)第二十七頁,共96頁。28如果線陣列CCD共有n個極板,則總效率為ηn。
引起電荷包轉(zhuǎn)移不完全的主要原因是表面態(tài)對電子的俘獲和時鐘頻率過高,所以表面溝道CCD在使用時,為了提高轉(zhuǎn)移效率,常采用偏置電荷技術(shù),即在接收信息電荷之前,就先給每個勢阱都輸入一定量的背景電荷,使表面態(tài)填滿。這樣,即使是零信息,勢阱中也有一定量的電荷。因此,也稱這種技術(shù)為“胖零(fatzero)”技術(shù)。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第二十八頁,共96頁。2)不均勻度不均勻度包括光敏元的不均勻性與CCD的不均勻性。本節(jié)討論光敏元的不均勻性,認為CCD是近似均勻的,即每次轉(zhuǎn)移的效率是一樣的。定義光敏元響應(yīng)的均方根偏差對平均響應(yīng)的比值為CCD的不均勻度σ:式中,Von為第n個光敏元原始響應(yīng)的等效電壓;Vo為平均原始響應(yīng)等效電壓;N為線列CCD的總位數(shù)。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第二十九頁,共96頁。3)暗電流CCD成像器件在既無光注入又無電注入情況下的輸出信號稱暗信號,即暗電流。暗電流的根本起因在于耗盡區(qū)產(chǎn)生復(fù)合中心的熱激發(fā)。由于工藝過程不完善及材料不均勻等因素的影響,CCD中暗電流密度的分布是不均勻的。暗電流的危害有兩個方面:限制器件的低頻限,引起固定圖像噪聲。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十頁,共96頁。31
4)光譜響應(yīng)特性現(xiàn)在固件攝象器件中的感光元件都是用半導(dǎo)體硅材料來作的,所以靈敏范圍為0.4~1.15μm左右,但光譜特性曲線不象單個硅光電二極管那么銳利,峰值波長為0.65~0.9μm左右。
CCD的光譜特性曲線2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
圖6.23CCD的光譜特性曲線第三十一頁,共96頁。5)動態(tài)范圍與線性度
線性度是指在動態(tài)范圍內(nèi),輸出信號與曝光量的關(guān)系是否成直線關(guān)系。6)噪聲CCD的噪聲可歸納為三類:散粒噪聲、轉(zhuǎn)移噪聲和熱噪聲。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十二頁,共96頁。2.CCD攝像器件性能評估1)分辨率的選擇
分辨率是攝像器件最重要的參數(shù)之一,它是指攝像器件對物像中明暗細節(jié)的分辨能力。測試時用專門的測試卡。目前國際上一般用MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))來表示分辨率。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十三頁,共96頁。2)成像靈敏度成像靈敏度是指在一定光譜范圍內(nèi),單位曝光量的輸出信號電壓(電流)。3)電子快門電子快門的時間在1/50~1/100000s之間,攝像機的電子快門一般設(shè)置為自動電子快門方式,可根據(jù)環(huán)境的亮暗自動調(diào)節(jié)快門時間,得到清晰的圖像。有些攝像機允許用戶自行手動調(diào)節(jié)快門時間,以適應(yīng)某些特殊應(yīng)用場合。4)外同步與外觸發(fā)外同步是指不同的視頻設(shè)備之間用同一同步信號來保證視頻信號的同步,它可保證不同的設(shè)備輸出的視頻信號具有相同的幀、行的起止時間。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十四頁,共96頁。5)CCD芯片的尺寸CCD的成像尺寸指的是對角線長度,如圖6.25所示。常用的有1/2英寸、1/3英寸等,成像尺寸越小的攝像機的體積可以做得更小些。圖6.25CCD芯片的尺寸示意圖2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十五頁,共96頁。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十六頁,共96頁。3.CCD的特性CCD圖像傳感器可直接將光學(xué)信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字電信號,實現(xiàn)圖像的獲取、存儲、傳輸、處理和復(fù)現(xiàn)。其顯著特點是:①體積小,重量輕;②功耗小,工作電壓低,抗沖擊與振動,性能穩(wěn)定,壽命長;③靈敏度高,噪聲低,動態(tài)范圍大;④響應(yīng)速度快,有自掃描功能,圖像畸變小,無殘像;⑤應(yīng)用超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)生產(chǎn),像素集成度高,尺寸精確,商品化生產(chǎn)成本低。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十七頁,共96頁。4.CCD的發(fā)展趨勢1)高分辨率目前CCD像元數(shù)已從100萬像元提高到2000萬像元以上,大面陣、小像元的CCD攝像機層出不窮。美國EG&G·Retion研制出8192×8192像元高分辨率CCD圖像傳感器。2)高速度對于某些高速瞬態(tài)成像場合(如高速飛行彈頭的飛行姿態(tài)),要求CCD具有高的工作速度和靈敏度。3)多光譜范圍目前應(yīng)用較多的是可見光和近紅外波段。正在研究的有X射線、紫外、中遠紅外。2.2電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)
第三十八頁,共96頁。CMOS攝像器件
采用CMOS技術(shù)可以將:
光電攝像器件陣列;驅(qū)動和控制電路;信號處理電路;模/數(shù)轉(zhuǎn)換器;全數(shù)字接口電路等完全集成在一起,可以實現(xiàn)單芯片成像系統(tǒng)。2.3互補金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器CMOS第三十九頁,共96頁。3.CMOS與CCD器件的比較CMOS和CCD圖像傳感器在結(jié)構(gòu)和工作方式上的差別,使得它們在應(yīng)用中也存在很大不同。主要有幾個方面:1)電荷讀出方式2)集成度3)讀取速度4)功耗5)價格6)工藝7)訪問靈活性8)填充系數(shù)9)靈敏度和動態(tài)范圍2.3互補金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器CMOS第四十頁,共96頁。CMOS與CCD圖像傳感器的性能比較如表6.2所示。
2.3互補金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器CMOS第四十一頁,共96頁。
CCD相機拍出的圖片CMOS相機拍出的片2.3互補金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器CMOS第四十二頁,共96頁。紅外焦平面器件(IRFPA)就是將CCD、CMOS技術(shù)引入紅外波段所形成的新一代紅外探測器,是現(xiàn)代紅外成像系統(tǒng)的關(guān)鍵器件。IRFPA建立在材料、探測器陣列、微電子、互連、封裝等多項技術(shù)基礎(chǔ)之上。2.4
紅外焦平面器件1)工作條件IRFPA通常工作于1~3μm、3~5μm和8~12μm的紅外波段并多數(shù)探測300K背景中的目標。第四十三頁,共96頁。紅外成像技術(shù)
紅外成像技術(shù)又稱紅外熱成像技術(shù),它是通過光學(xué)機械掃描系統(tǒng),將物體發(fā)出的紅外線輻射會聚在紅外探測器上,形成紅外熱圖像,用來測量物體表面溫度分布狀態(tài)的一種現(xiàn)代技術(shù)。由于紅外成像技術(shù)具有無損、非接觸、簡便的特點,已廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域。1904年,開始采用近紅外進行攝影。1929年,苛勒發(fā)明了銀氧銫(Ag-O-Cs)光陰極,開創(chuàng)了紅外成像器件的先河。20世紀30年代中期,荷蘭、德國、美國各自獨立研制成紅外變像管,紅外夜視系統(tǒng)應(yīng)用于實戰(zhàn)。1952年,美國陸軍制成第一臺熱像記錄儀。第四十四頁,共96頁。紅外輻射的倍頻程比可見光寬。倍頻程:若使每一頻帶的上限頻率比下限頻率高一倍,即頻率之比為2,這樣劃分的每一個頻程稱為1倍頻程,簡稱倍頻程??梢姽猓海?38~0.78μm,一個倍頻程;紅外線:0.78~1000μm,商為1282=210,10個倍頻程。3紅外成像技術(shù)
第四十五頁,共96頁。自然界一切高于熱力學(xué)零度(-273.15℃)的物體都具有一定的溫度,并以電磁波的形式向外輻射能量。根據(jù)普朗克熱輻射定律,物體的熱輻射是波長和溫度的函數(shù),溫度越高,輻射能量越大,其輻射波長越短。在此主要討論攝像管的結(jié)構(gòu)和原理。紅外成像系統(tǒng)可分為主動式紅外成像系統(tǒng)和被動式紅外成像系統(tǒng)。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第四十六頁,共96頁。1、主動式紅外成像系統(tǒng)
主動式紅外成像系統(tǒng)自身帶有紅外光源,是根據(jù)被成像物體對紅外光源的不同反射率,以紅外變像管作為光電成像器件的紅外成像系統(tǒng),如紅外夜視儀。優(yōu)點:成像清晰,對比度高,不受環(huán)境光源影響。缺點:易暴露,不利于軍事應(yīng)用。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第四十七頁,共96頁。1)光學(xué)系統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)包括目鏡組和物鏡組。物鏡組:把目標成像于變像管的光陰極面上;目鏡組:把變像管熒光屏上的像放大,便于人眼觀察。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第四十八頁,共96頁。2)紅外變像管紅外變像管是主動式紅外成像系統(tǒng)的核心,是一種高真空圖像轉(zhuǎn)換器件,完成從近紅外圖像到可見光圖像的轉(zhuǎn)換并增強圖像,如圖6.36所示。近紅外輻射照射到光陰極面轉(zhuǎn)換成電子流圖像,然后通過電子光學(xué)系統(tǒng)中的高能電子,將電子流圖像打到熒光屏上,轉(zhuǎn)化為可見光圖像。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第四十九頁,共96頁。3)主動式紅外成像系統(tǒng)的特點(1)能夠區(qū)分軍事目標和自然景物,識別偽裝。圖6.38所示是典型目標的反射曲線,從圖中可知,自然景物的輻射在近紅外光譜區(qū)。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十頁,共96頁。(2)近紅外輻射比可見光受大氣散射影響小,較易通過大氣層(惡劣天氣除外)。(3)由于系統(tǒng)“主動照明”,工作時不受環(huán)境照明影響,可以在“全黑”條件下工作。2.被動式紅外成像系統(tǒng)
紅外熱成像系統(tǒng)是典型的被動式成像系統(tǒng),如圖6.39所示為ThermoVisionTMA20-V高品質(zhì)紅外熱像儀。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十一頁,共96頁。自然界中,溫度高于熱力學(xué)零度的一切物體,總是在不斷地發(fā)射紅外輻射。收集并探測這些輻射能,就可以形成與景物溫度分布相對應(yīng)的熱圖像。熱圖像再現(xiàn)了景物各部分溫度和輻射發(fā)射率的差異,能夠顯示出景物的特征。紅外熱成像系統(tǒng)的成像與普通成像系統(tǒng)的對比如圖6.39所示,其中小圖是可見光圖像,大圖是熱圖像。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十二頁,共96頁。
紅外熱成像系統(tǒng)分為光機掃描型和非掃描型。光機掃描型圖像質(zhì)量好,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本高。非掃描型結(jié)構(gòu)簡單,圖像質(zhì)量有待提高。1)光機掃描型紅外熱成像系統(tǒng)
光機掃描型紅外熱成像系統(tǒng)的核心部分是光學(xué)系統(tǒng)部分、紅外探測與制冷部分、電子信號處理系統(tǒng)部分、顯示系統(tǒng)部分,如圖6.41和圖6.42所示。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十三頁,共96頁。目標物體瞬時視場的輻射光束經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng),會聚光束經(jīng)過水平掃描和垂直掃描,將二維掃描圖像成像在探測器上,然后經(jīng)過放大器放大,顯示在顯示器上。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十四頁,共96頁。2)紅外熱成像技術(shù)的優(yōu)缺點(1)紅外熱成像技術(shù)的優(yōu)點。①紅外熱成像技術(shù)是一種被動式的非接觸的檢測與識別,隱蔽性好。②紅外熱成像技術(shù)不受電磁干擾,能遠距離精確跟蹤熱目標,精確制導(dǎo)。③紅外熱成像技術(shù)能真正做到24h全天候監(jiān)控。④紅外熱成像技術(shù)的探測能力強,作用距離遠。⑤紅外熱成像技術(shù)可采用多種顯示方式,把人類的感官由五種增加到六種。⑥紅外熱成像技術(shù)能直觀地顯示物體表面的溫度場,不受強光影響,應(yīng)用廣泛。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十五頁,共96頁。(2)紅外熱成像技術(shù)的缺點。①圖像對比度低,分辨細節(jié)能力較差。②不能透過透明的障礙物看清目標,如窗戶玻璃。③成本高、價格貴。3.1紅外成像技術(shù)的基本原理
第五十六頁,共96頁。1)靈敏度靈敏度定義為輸出信號電流與輸入信號光通量(或照度)的比值。光電導(dǎo)攝像管靈敏度為(6-12)式中,VT為靶的工作電壓;γ為光電轉(zhuǎn)換特性參數(shù);β為光電導(dǎo)轉(zhuǎn)換系數(shù);τ為時間常數(shù);Tf幀周期。
為了提高攝像管的靈敏度,通常采用信號倍增和放大的措施。因為這些放大作用是通過像管內(nèi)部進行的,所以稱為內(nèi)增益。實現(xiàn)內(nèi)增益的方法主要有:①放大入射光信號,如在攝像管前面加耦合像增強器;②改變光入射為光電子入射,如附加移相部分;③利用閱讀電子束進行倍增,如設(shè)置反束電子倍增器。3.2
紅外成像器件的參數(shù)
第五十七頁,共96頁。2)分辨力
分辨力是攝像管的一項重要指標,它是攝像管分辨圖像細節(jié)的能力或清晰度。分辨力通常用“線對/毫米”來表示,一般都有線對測試卡,但是用測試卡測得的分辨力有隨機性,所以分辨力多用調(diào)試深度來表示,如圖6.43所示。圖中輸入光敏面上兩種疏密不同的光信號條紋,照射到光敏面上,取出光電流進入示波器上讀出兩組不同疏密條紋的光電流,分別為a,b,寬細條紋的光電流(b)作為基礎(chǔ)(圖中的寬條紋),那么a/b即為調(diào)制深度,按圖示的讀法就是400對線的調(diào)制深度。3.2
紅外成像器件的參數(shù)第五十八頁,共96頁。3)信噪比輸出信號電流峰峰值與輸出電流中所含噪聲均方值的比值。攝像管的噪聲來源主要有:(1)光子、光電子、載流子、二次發(fā)射電子、掃描電子的散粒噪聲;(2)載流子的產(chǎn)生復(fù)合噪聲;(3)熱噪聲;(4)1/f噪聲;(5)預(yù)放器噪聲。4)動態(tài)響應(yīng)范圍攝像管所能允許的光照強度變化的范圍稱為動態(tài)響應(yīng)范圍,其下限取決于低照度下的信噪比,而上限取決于靶面儲存電荷的能力。通常靶的電位起伏最高限為幾伏,否則會影響電子束的聚焦與邊緣電子束的著靶。3.2
紅外成像器件的參數(shù)第五十九頁,共96頁。
紅外光學(xué)系統(tǒng)主要由紅外物鏡系統(tǒng)和掃描系統(tǒng)組成。
1.紅外物鏡系統(tǒng)(1)透射式紅外光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)點:無擋光,加工球面透鏡較容易,通過光學(xué)設(shè)計易消除各種像差。缺點:光能損失較大,裝配調(diào)整比較困難。3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十頁,共96頁。(2)反射式紅外光學(xué)系統(tǒng)由于紅外輻射的波長較長,能透過它的材料很少,因而大都采用反射式紅外光學(xué)系統(tǒng)。按反射鏡截面的形狀不同,反射系統(tǒng)有:
球面形;拋物面形;
雙曲面形;橢球面形等幾種。3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十一頁,共96頁。拋物面
平面
結(jié)構(gòu)簡單,易于加工;但擋光大,結(jié)構(gòu)尺寸大
圖6.44牛頓光學(xué)系統(tǒng)示意圖3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十二頁,共96頁。拋物面
雙曲面
較牛頓系統(tǒng)擋光小,結(jié)構(gòu)尺寸?。坏庸だщy。
圖6.45卡塞格倫系統(tǒng)示意圖3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十三頁,共96頁。拋物面
橢圓面
加工難道介于前兩種系統(tǒng)之間圖6.46格利高利系統(tǒng)示意圖3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十四頁,共96頁。球面反射鏡
校正球面鏡的像差
結(jié)構(gòu)尺寸大,校正板加工困難
圖6.47施密特系統(tǒng)示意圖3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十五頁,共96頁。馬克蘇托夫系統(tǒng):主鏡是球面反射鏡,采用負透鏡(稱為馬克蘇托夫校正板)校正球面鏡的像差,如圖6.48所示。3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十六頁,共96頁。2.掃描系統(tǒng)平行光束掃描:掃描器置于聚光光學(xué)系統(tǒng)之前,在平行光路中對被觀察景物進行掃描。會聚光束掃描:掃描器安置在聚光光學(xué)系統(tǒng)和探測器之間的光路中,在物鏡會聚光束中對像方光束進行掃描。3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十七頁,共96頁。3)常用的光機掃描方案常用的光機掃描方案有兩種。一種方案是反射鏡鼓行掃描、擺鏡場掃描,如圖6.49所示。擺動平面鏡置于會聚光路中,做場掃描;旋轉(zhuǎn)反射鏡裝置于會聚光系統(tǒng)中的平行光路中,做行掃描。這種方案適于小視場單元器件掃描,不適合高速掃描。3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十八頁,共96頁。第二種方案是反射鏡鼓行掃描、折射鏡場掃描,如圖6.50所示。四方折射棱鏡置于前置望遠系統(tǒng)的中間光路中做場掃描,可以獲得較穩(wěn)定的高轉(zhuǎn)速。由于折射棱鏡比擺鏡的掃描效率高,所以這種方案的總掃描效率高,但是像差校正有難度。3.3典型的紅外光學(xué)系統(tǒng)
第六十九頁,共96頁。光學(xué)成像系統(tǒng)和光學(xué)傳遞函數(shù)
一個光學(xué)(電)成像系統(tǒng)也可以描述為一種空間/時間濾波器。成像系統(tǒng)可以看作一個低通線性濾波器,給成像系統(tǒng)輸入一個正弦信號(給出一個光強正弦分布的目標),輸出仍然是同一頻率的正弦信號(目標成的像仍然是同一空間頻率的正弦分布),只不過像的對比度有所降低,位相發(fā)生移動,如圖6.51所示。第七十頁,共96頁。實際的成像系統(tǒng)如顯微鏡、照相機、望遠鏡等都由目標物體、光學(xué)成像系統(tǒng)和成像器件三部分組成,若將全部成像器件裝入“黑盒子”中,其成像模型可用圖6.52表示,(xo,yo)為物面坐標系,(xi,yi)為像面坐標系。4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
第七十一頁,共96頁。實際的物體由許多不同空間頻率點組成,每個點的光強或振幅不同。對于一個衍射受限系統(tǒng),若物面上的一點通過衍射受限系統(tǒng)后,其在像面上形成的復(fù)振幅分布為脈沖響應(yīng)函數(shù)h,則像的振幅可表示為:(6-13
對于衍射受限系統(tǒng)成像系統(tǒng),點擴展函數(shù)可以根據(jù)出瞳函數(shù)的夫瑯和費衍射求得,若像相對物放大了M倍,則點擴散函數(shù)的中心在理想像點(Mxo,Myo)上,此時點擴散函數(shù)可用下式表示:(6-14)式中,A為常數(shù)振幅,(xi,yi)為像面坐標系,如圖6.52中所示。4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
第七十二頁,共96頁。因為非相干光系統(tǒng)的脈沖響應(yīng)是相干光脈沖響應(yīng)的模的平方,則光強點擴散函數(shù)與振幅點擴散函數(shù)之間有如下關(guān)系:4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
(6-15)相應(yīng)像面(xi,yi)光強度分布為:(6-16)為了在成像中得到空間不變性,定義:(6-17)第七十三頁,共96頁。則式(616)可寫為:(6-18)上式表明像的光強分布是物的光強分布(理想像)與強度脈沖響應(yīng)的卷積,對式(6-17)取傅里葉變換(略去常數(shù)因子),得:(6-19)4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
第七十四頁,共96頁。時域和頻域的關(guān)系見圖6.53。4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
第七十五頁,共96頁。光學(xué)成像系統(tǒng)的成像質(zhì)量由其是否如實地反映物體本身各空間頻率的對比度來決定,所成的像是否清晰,取決于帶有信息的那部分能量相對于零頻能量分量的比值的大小,也就是調(diào)制度或反差度的大小。從觀察的效果上看,調(diào)制度或反差度越大,圖像越清晰。所以利用歸一化的頻譜函數(shù)可以更確切地表明所研究圖像的特征。為此我們用零頻值對頻譜函數(shù)做歸一化處理,系統(tǒng)的歸一化傳遞函數(shù)為:(6-20)4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
第七十六頁,共96頁。4.1.光學(xué)傳遞函數(shù)OTF
圖6.54圓形光瞳衍射受限的OTF第七十七頁,共96頁。1.基本概念
紅外成像系統(tǒng)可以看作是一個低通線性濾波器。
給紅外成像系統(tǒng)輸入一個正弦信號(即給出一個光強正弦分布的目標),輸出仍然是同一頻率的正弦信號(即目標成的像仍然是同一空間頻率的正弦分布),只不過像的對比有所降低,位相發(fā)生移動。4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第七十八頁,共96頁。
對比降低的程度和位相移動的大小是空間頻率的函數(shù),被稱為紅外成像系統(tǒng)的對比(調(diào)制)傳遞函數(shù)(MTF)和位相傳遞函數(shù)(PTF)。
這個函數(shù)的具體形式則完全由紅外成像系統(tǒng)的成像性能所決定。因此傳遞函數(shù)客觀地反映了成像系統(tǒng)的成像質(zhì)量。紅外成像系統(tǒng)存在一個截止頻率,對這個頻率,正弦目標的像的對比降低到0。
目標經(jīng)系統(tǒng)成像后一般都是能量減少,對比降低和信息衰減。
4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第七十九頁,共96頁。要分辨目標往往主要是看對比問題。(1)通常所謂的分辯率,是將物體結(jié)構(gòu)分解為線或點,這只是分解物體方法的一種。4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
(a)目標分得比較開(b)目標靠得比較近圖6.55不同空間頻率目標的對比傳遞情況第八十頁,共96頁。另一種方法是將物體結(jié)構(gòu)分解為各種頻率的譜,即認為物體是由各種不同的空間頻率組合而成的。(2)這樣紅外成像系統(tǒng)的特性就表現(xiàn)為它對各種物體結(jié)構(gòu)頻率的反應(yīng):透過特性、對比變化和位相推移。
4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第八十一頁,共96頁。(3)空間頻率定義為周期量在單位空間上變化的周期數(shù)。圖6.56空間頻率4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)第八十二頁,共96頁。兩相鄰條形中心之間距離稱為空間周期(mm)
稱為空間頻率(線對/毫米,即lp/mm)在紅外成像系統(tǒng)中通常用單位弧度中的周期數(shù)來表示(c/mrad),若觀察點O與圖案之間的距離為R(m),則
(單位mrad)稱為角周期,其倒數(shù)即為(角)空間頻率:4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第八十三頁,共96頁。(4)物體的調(diào)制度(對比度)定義:
能量起伏平均能量4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第八十四頁,共96頁。光學(xué)系統(tǒng)對某一頻率的調(diào)制傳遞函數(shù)MTF為:
經(jīng)紅外成像系統(tǒng)成像后的調(diào)制度物體的調(diào)制度4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第八十五頁,共96頁。2.紅外成像過程中各個環(huán)節(jié)的調(diào)制傳遞函數(shù)
紅外成像系統(tǒng)模型如前所述。(圖6-2)4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第八十六頁,共96頁。根據(jù)線性濾波理論:
對于由一系列具有一定頻率特性(空間的或時間的)的分系統(tǒng)所組成的紅外成像系統(tǒng):
只要逐個求出分系統(tǒng)的傳遞函數(shù),其乘積就是整個系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
4.2調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)
第八十七頁,共96頁。(1)光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)制傳遞函數(shù)MTF0
主要受衍射和像差的影響衍射限光學(xué)系統(tǒng)的MTF01式5-30
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