標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 1123-2016 鉑蒸發(fā)料》是一項(xiàng)由中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，主要針對(duì)用于物理氣相沉積（PVD）等工藝中作為蒸發(fā)源材料的鉑蒸發(fā)料。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了此類產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存等方面的要求。

在技術(shù)要求部分，標(biāo)準(zhǔn)明確了鉑蒸發(fā)料應(yīng)達(dá)到的具體化學(xué)成分指標(biāo)，包括但不限于純度要求，即鉑含量不得低于某一特定值，并且對(duì)可能存在的雜質(zhì)元素設(shè)定了最大允許量。此外，還定義了產(chǎn)品外觀質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，如形狀、尺寸及其公差范圍等，確保材料能夠滿足后續(xù)加工或使用需求。

對(duì)于試驗(yàn)方法，《YS/T 1123-2016》提供了詳細(xì)的檢測(cè)流程和技術(shù)手段，用以驗(yàn)證鉑蒸發(fā)料是否符合既定的技術(shù)規(guī)范。這其中包括了化學(xué)分析法測(cè)定鉑及其他元素含量的方法、物理性能測(cè)試項(xiàng)目如密度測(cè)量等。

關(guān)于檢驗(yàn)規(guī)則方面，本標(biāo)準(zhǔn)確立了一套完整的驗(yàn)收體系，涵蓋出廠檢驗(yàn)與型式檢驗(yàn)兩種類型。其中，出廠檢驗(yàn)是對(duì)每批產(chǎn)品進(jìn)行的質(zhì)量控制檢查；而型式檢驗(yàn)則是在特定條件下執(zhí)行的更為全面深入的產(chǎn)品性能評(píng)估，通常當(dāng)生產(chǎn)工藝發(fā)生重大變更時(shí)需要實(shí)施。


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....

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  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS77.150.99

H68

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YST1123—2016

鉑蒸發(fā)料

Evaporatedplatinummaterial

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1123—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張巧霞張濤王興權(quán)向磊萬(wàn)小勇賀昕張玉利王越王永輝賈存鋒

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YST1123—2016

鉑蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鉑蒸發(fā)料的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明書(shū)及訂貨單

、、、、、、、

或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鉑蒸發(fā)料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

海綿鉑

GB/T1419—2004

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測(cè)量方法

GB/T15077—2008

3要求

3.1產(chǎn)品分類

3.1.1產(chǎn)品按照化學(xué)成分分為兩個(gè)牌號(hào)

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。

3.1.2產(chǎn)品主要分為片狀柱狀如圖所示產(chǎn)品形狀定義及供貨狀態(tài)應(yīng)符合表的要求需方有

、,1。、1,

其他要求時(shí)由供需雙方協(xié)商解決

。

說(shuō)明

:

A長(zhǎng)度L長(zhǎng)度

———;———;

B寬度D直徑

———;———。

C厚度

———;

圖1鉑蒸發(fā)料示意圖

表1鉑蒸發(fā)料分類

形狀定義供貨狀態(tài)

片狀厚度為長(zhǎng)度為寬度為的片材

0.5mm~5mm,5mm~20mm,5mm~20mm加工態(tài)

柱狀直徑為

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