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  • 2015-04-30 頒布
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YS/T 1031-2015化學氣相沉積爐_第1頁
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文檔簡介

ICS77180

H91.

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T1031—2015

化學氣相沉積爐

Chemicalvapordepositionfurnace

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1031—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位湖南頂立科技有限公司中國有色金屬工業(yè)標準計量質(zhì)量研究所

:、。

本標準主要起草人戴煜胡祥龍胡高健羊建高馬衛(wèi)東戴曉蕾周岳兵吳艷華

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1031—2015

化學氣相沉積爐

1范圍

本標準規(guī)定了化學氣相沉積爐的要求試驗方法檢驗規(guī)則及標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書和

、、、、、、

合同或訂貨單內(nèi)容

()。

本標準適用于化學氣相沉積

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術術語

GB/T3163—2007

電熱裝置的安全第部分通用要求

GB5959.11:

電熱裝置的安全第部分對電阻加熱裝置的特殊要求

GB5959.44:

電熱設備的試驗方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

電熱設備的試驗方法第部分間接電阻爐

GB/T10066.4—20044:

電熱裝置基本技術條件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

電熱裝置基本技術條件第部分間接電阻爐

GB/T10067.4—20054:

真空技術真空燒結爐

JB/T10550—2006

真空脫脂燒結爐

YS/T778—2011

3術語和定義

界定的術語和定

GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011

義適用于本文件

。

4要求

41分類

.

化學氣相沉積爐根據(jù)結構形式分為臥式化學氣相沉積爐和立式化學氣相沉積爐兩種類型按爐型

,

及工作區(qū)域尺寸分為種型號見表和表

13,12。

42型號表示規(guī)則

.

421臥式化學氣相沉積爐的型號表示

..

臥式化學氣相沉積爐的型號表示由其中表示臥式表示化學氣相沉積和工作區(qū)

HCVD(H;CVD)

域尺寸寬高長組成其型號表示見示例

(××),。

示例臥式化學氣相沉積爐工作區(qū)域尺寸為寬高長其型號表示為

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