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金膜式熱敏電阻050410113金屬薄膜電阻溫度特性與制備金屬薄膜的電阻率大于塊材的電阻率,電阻率溫度系數(shù)小于塊材的電阻率溫度系數(shù),且電阻率與電阻率溫度系數(shù),與薄膜的厚度和薄膜的制備方法等有關(guān)。需要通過(guò)控制薄膜厚度,調(diào)整制備工藝等方法使薄膜的電阻率和電阻率溫度系數(shù)與塊材趨近,這樣才能使方塊電阻和電阻溫度系數(shù)在大溫度范圍穩(wěn)定。這是金屬薄膜電阻作為熱敏元件的重要條件,它決定熱敏元件重復(fù)性和穩(wěn)定性的好壞。在壓力傳感器上的應(yīng)用金屬薄膜式熱敏電阻器集成在壓力傳感器上作為熱敏元件,即可以直接用于測(cè)溫,又可以對(duì)壓力值進(jìn)行溫度補(bǔ)償。對(duì)鉑、鋁、鎳、銀薄膜電阻在壓力傳感器上的應(yīng)用進(jìn)行了研究,結(jié)果表明:不同用途的壓力傳感器,不同的工作溫度,采用其中不同的金屬薄膜電阻。高壓高溫壓力傳感器鋁薄膜電阻鋁薄膜式熱敏電阻器,線(xiàn)性度好,精度高,可以工作到200,但是靈敏度較低,抗電遷移性和耐腐蝕性差,可以將其集成在常溫壓力傳感器上鎳薄膜電阻結(jié)果表明鎳薄膜熱敏電阻制備工藝簡(jiǎn)單,靈敏度高,工作溫度范圍較寬,在常溫到350有較好的重復(fù)性。但是,由圖2得到電阻的非線(xiàn)性度達(dá)9.3%,較差,作為溫度傳感器使用必須進(jìn)行非線(xiàn)性補(bǔ)償。銀薄膜電阻銀與二氧化硅和硅的粘附性較差,可以采用多層結(jié)構(gòu)解決這一問(wèn)題:鉻-鎳-銀多層薄膜,薄厚大約分別為:30,100,800nm,采用蒸鍍法淀積薄膜,光刻剝離法電阻成型。銀的電阻率比鋁還低,因此作為熱敏電阻也有靈敏度低的問(wèn)題,和鋁一樣可以直接

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