標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 37030-2018 電子級三甲基銦》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對用于半導(dǎo)體制造過程中的高純度三甲基銦產(chǎn)品。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級三甲基銦的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存的要求。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，對于電子級三甲基銦而言，其純度是關(guān)鍵指標(biāo)之一，需要達到特定水平以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)格需求。此外，還對其中可能存在的雜質(zhì)種類及其最大允許含量進行了詳細限定，包括但不限于金屬雜質(zhì)和其他有機或無機化合物。這些雜質(zhì)限制旨在確保最終產(chǎn)品的性能不受影響，并能夠適用于各種精密的半導(dǎo)體工藝中。

在檢測方面，《GB/T 37030-2018》提供了具體的分析測試方法來驗證產(chǎn)品質(zhì)量是否符合上述技術(shù)規(guī)范，涵蓋物理性質(zhì)測定（如密度）、化學(xué)成分分析等多方面內(nèi)容。通過采用高效液相色譜法(HPLC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用(GC-MS)等先進儀器進行精確測量，保證數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

同時，此標(biāo)準(zhǔn)也明確了出廠前及入庫后的質(zhì)量控制流程，包括取樣方式、驗收標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容，確保每一批次的產(chǎn)品都能達到統(tǒng)一的質(zhì)量水平。最后，在產(chǎn)品的標(biāo)識、包裝形式、運輸條件等方面也有相應(yīng)指導(dǎo)性說明，以便于用戶正確處理并保存這類敏感化學(xué)品。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-04-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37030—2018

電子級三甲基銦

Electronicgradetrimethylindium

2018-12-28發(fā)布2019-04-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

電子級三甲基銦

GB/T37030—2018

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

201812

*

書號

:155066·1-61411

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T37030—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37030—2018

電子級三甲基銦

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三甲基銦的技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標(biāo)志運輸儲存和安全

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于銦鎂合金法三氯化銦法格式試劑法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基

、、

銦該產(chǎn)品主要用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9In

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:159.92(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

固體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6679

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50073

3技術(shù)要求

三甲基銦的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

三甲基銦純度質(zhì)量分?jǐn)?shù)-2

(C3H9In)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

鋁含量

(Al)/(μg/g)<0.3

砷含量

(As)/(g/g)<0.5

金屬元素μ

硼含量

及其他元(B)/(μg/g)<0.2

鋇含量

素含量(Ba)/(μg/g)<0.1

鈹含量

(Be)/(μg/g)<0.02

鉍含量

(Bi)/(μg/g)<

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