GB/T 36504-2018印刷線路板表面污染物分析俄歇電子能譜

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36504—2018

印刷線路板表面污染物分析

俄歇電子能譜

Guidefortheanalysisoftheprintedcircuitboardsurfacecontamination—

Augerelectronspectroscopy

2018-07-13發(fā)布2019-06-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T36504—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語定義

3…………………1

方法概述

4…………………1

樣品制備與安裝

5…………………………2

分析步驟

6…………………3

測量報(bào)告

7…………………6

參考文獻(xiàn)

………………………7

GB/T36504—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位清華大學(xué)南京信息工程大學(xué)

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人姚文清楊立平騰飛徐同廣嚴(yán)楷李展平王雅君陳圣朱永法

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36504—2018

引言

隨著高科技的發(fā)展需要提高電子產(chǎn)品的功能和性能高度集成化的工藝要求使印刷線路板越來越

,,

向微小精細(xì)的方向發(fā)展對于器件表面工藝技術(shù)有愈加苛刻的要求由此印刷線路板表面污染物分析

,。,

至關(guān)重要

。

俄歇電子能譜具有很高的表面靈敏度其檢測深度約為原子單層

(AES),3~10(0.4nm~5nm),

檢測極限為-3原子濃度空間分辨率可達(dá)到可用于分析除氫和氦以外元素的定性定

10,4nm,(Li-U)、

量分析廣泛用于材料的表面化學(xué)分析

,。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種高分辨率俄歇電子能譜儀測量印刷線路板表面污染物的方法為印刷線路板的

,

失效分析提供了參考

。

Ⅱ

GB/T36504—2018

印刷線路板表面污染物分析

俄歇電子能譜

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了一種準(zhǔn)確測量印刷線路板鍍金手指表面污染物的方

PCB(printedcircuitboard)

法俄歇電子能譜法

———(AES)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有一定導(dǎo)電性固體表面納米尺度元素分布的準(zhǔn)確測量

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008

俄歇電子能譜分析方法通則

GB/T26533—2011

表面化學(xué)分析高分辨俄歇電子能譜儀元素和化學(xué)態(tài)分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)

GB/T29731—2013

表面化學(xué)分析深度剖析濺射深度測量

GB/T29557—2013

表面化學(xué)分析分析樣品的制備和安裝方法指南

GB/T30815—2014

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜數(shù)據(jù)記錄與報(bào)告的規(guī)范要求

GB/T32565—2016(AES)

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜荷電控制與校正方法報(bào)告的規(guī)范要求

GB/T32998—2016

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4方法概述

41電離截面

.

電離截面是指原子中一個(gè)已被電子占據(jù)的殼層中將產(chǎn)生空位過程的截面是一束電子轟擊樣品

。

時(shí)具有能量的原電子束使原子內(nèi)殼層電離并形成空位的幾率

,。

根據(jù)半經(jīng)驗(yàn)方法計(jì)算電離截面可以用式來進(jìn)行計(jì)算

,(1)。

-

.×14abéUù

WWêú

Q=65110ê14-Uú

WE2?Uln.+.(1)?……(1)

W165235e

式中

:

Q原子的電離截面單位為平方厘米2

W———,