GB/T 28894-2012表面化學分析分析前樣品的處理

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T28894—2012/ISO181172009

:

表面化學分析分析前樣品的處理

Surfacechemicalanalysis—Handlingofspecimenspriortoanalysis

(ISO18117:2009,IDT)

2012-11-05發(fā)布2013-06-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T28894—2012/ISO181172009

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析分析前樣品的處理

ISO18117:2009《》。

為了方便使用本標準做了下列編輯性修改

,:

用本標準代替本國際標準

———“”“”。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位廈門愛勞德光電有限公司廈門大學化學化工學院

:、。

本標準起草人王水菊岑丹霞時海燕姚文清劉芬沈電洪

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T28894—2012/ISO181172009

:

引言

本標準對于提交表面化學分析樣品的人們在樣品處理和把樣品遞送給分析人員方面提供指導盡

。

管主要是為俄歇電子能譜射線光電子能譜和二次離子質(zhì)譜而寫但這些方法

(AES)、X(XPS)(SIMS),

也能用于其他表面敏感的分析測量和通常對幾納米厚度的表面層敏感這樣

。AES、XPSSIMS(nm)。

的薄層會由于不正確的樣品處理而受到嚴重影響[1,2]樣品的正確處理和制備對于分析是極為重要

。

的不正確的處理會導致表面組成改變和數(shù)據(jù)不可信

,。

本標準是供給樣品提供者或表面分析設備的購買者以及表面分析人員使用的最佳處理方法取決

。

于特定的樣品和所需的信息并且本標準為每一種樣品類型提供了說明性的例子這些樣品類型是樣品

,,

所有者和表面分析人員通常遇到的本標準建議樣品供應者就有關樣品的來歷需要解決的具體問題

。、

或所需要的信息以及任何特殊的樣品制備所需的處理或運送方法盡可能快地和表面分析人員商量

,、,。

本標準可以不依賴于而獨立使用[4]該標準用于指導分析人員進行表面分析的樣品制

ISO18116,

備和安裝

。

Ⅱ

GB/T28894—2012/ISO181172009

:

表面化學分析分析前樣品的處理

1范圍

本標準規(guī)定了表面化學分析樣品的處理和存放容器的要求本標準適用于表面化學分析設備的用

。

戶了解表面化學分析技術的特殊樣品處理要求特別是俄歇電子能譜二次離子質(zhì)譜和

,(AES)、(SIMS)

射線光電子能譜或本標準也適用于對表面組成敏感的其他分析技術如對

X(XPSESCA)。,TXRF。

于特定的實例特定的樣品需要更加注意

,,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008,(ISO18115:2001,IDT)

表面化學分析表面分析樣品的制備和固定方法指南

ISO18116:2005,(Surfacechemical

analysis—Guidelinesforpreparationandmountingofspecimensforanalysis)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4符號和縮略詞

俄歇電子能譜

AES

原子力顯微鏡

AFM

化學分析電子能譜

ESCA

聚四氟乙烯

PTFE

掃描電子顯微鏡

SEM

二次離子質(zhì)譜

SIMS

全反射射線熒光光譜

TXRFX

射線光電子能譜

XPSX

5本標準結構的說明

第章討論了要考慮的會影響表面組成的附加事項如樣品來歷和樣品先前的分析這些影響的

7,。

文件要隨同小心處理和包裝的樣品一并交付第章提供了使樣品表面污染最小所需的樣品處理方法