工程光學(xué)長(zhǎng)度測(cè)量

工程光學(xué)長(zhǎng)度測(cè)量第一頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日

我國(guó)和國(guó)際的長(zhǎng)度單位是米。在1983年第十七屆國(guó)際計(jì)量大會(huì)上正式通過(guò)米的新定義如下：

“米是光在真空中1／299792458秒的時(shí)間內(nèi)所經(jīng)過(guò)的距離。”4.1.1長(zhǎng)度單位：米的定義第二頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日4.1.2長(zhǎng)度量值傳遞

目前，在實(shí)際工作中常使用下述兩種實(shí)物基準(zhǔn)：量塊和線紋尺。首先由穩(wěn)定激光的基準(zhǔn)波長(zhǎng)傳遞到基準(zhǔn)線紋尺和一等量塊，然后再由它們逐次傳遞到工件，以確保量值準(zhǔn)確一致。第三頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日

量塊的精度分級(jí)又分等量塊按制造精度分為0、1、2、3、4級(jí)，其中0級(jí)精度最高，按檢定精度分為1、2、3、4、5、6等，其中1等精度最高。第四頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日3.光柵、容柵的柵距和感應(yīng)同步器的線距。①測(cè)量效率高；②容易實(shí)現(xiàn)數(shù)字顯示和自動(dòng)記錄，③可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量自動(dòng)化和自動(dòng)控制。

黑白透射光柵第五頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日4.1.4長(zhǎng)度測(cè)量的基本原則

阿貝原則：在長(zhǎng)度測(cè)量時(shí)，為了保證測(cè)量的準(zhǔn)確，應(yīng)使被測(cè)零件的尺寸線(簡(jiǎn)稱被測(cè)線)和量?jī)x中作為標(biāo)準(zhǔn)的刻度尺(簡(jiǎn)稱標(biāo)準(zhǔn)線)重合或順次排成一條直線。符合阿貝原則的測(cè)量，可盡量減小導(dǎo)軌直線度誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。第六頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日第七頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日4.2常見尺寸的測(cè)量

常見尺寸指的是介于1mm和1m之間的尺寸，可用直接測(cè)量法或間接測(cè)量的坐標(biāo)測(cè)量法。無(wú)論是手動(dòng)測(cè)量還是自動(dòng)測(cè)量，測(cè)量的主要步驟均為：定位瞄準(zhǔn)讀數(shù)數(shù)據(jù)處理給出測(cè)量結(jié)果長(zhǎng)度測(cè)量及線位移測(cè)量第八頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日（一）定位

定位是為了使被測(cè)工件處于最佳位，使實(shí)際測(cè)量復(fù)合被測(cè)量的定義。典型的工件定位方法有：平面定位、外圓柱面定位、內(nèi)圓柱面定位、頂尖定位等。長(zhǎng)度測(cè)量及線位移測(cè)量第九頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日（二）瞄準(zhǔn)

進(jìn)行被測(cè)量與標(biāo)準(zhǔn)量比對(duì)時(shí)，需要進(jìn)行準(zhǔn)確的瞄準(zhǔn)。瞄準(zhǔn)常常借助于測(cè)量?jī)x器的瞄準(zhǔn)裝置來(lái)建立標(biāo)準(zhǔn)量與被測(cè)量間正確的應(yīng)對(duì)關(guān)系。

標(biāo)準(zhǔn)量的瞄準(zhǔn)形式由儀器的測(cè)量方法決定，而被測(cè)量的瞄準(zhǔn)形式需根據(jù)被測(cè)量的特點(diǎn)選定。儀器對(duì)被測(cè)量的瞄準(zhǔn)系統(tǒng)可分為：接觸式和非接觸式。長(zhǎng)度測(cè)量及線位移測(cè)量第十頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日2.非接觸式瞄準(zhǔn)舉例123456圖5-4工具顯微鏡非接觸式瞄準(zhǔn)系統(tǒng)光路示意圖照明系統(tǒng)1發(fā)出平行光照亮以工作臺(tái)面2定位或用頂尖定位的工件3，物鏡4將被測(cè)工件輪廓成像于測(cè)角目鏡劃分板5上，人眼借助于目鏡6進(jìn)行瞄準(zhǔn)。在工具顯微鏡上還可用透射光系統(tǒng)或反射光系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)非接觸瞄準(zhǔn)，圖5-4為工具顯微鏡透射光瞄準(zhǔn)系統(tǒng)的光路示意圖。長(zhǎng)度測(cè)量及線位移測(cè)量第十一頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日1）影像法圖5-5

影像法瞄準(zhǔn)視場(chǎng)示意圖測(cè)量時(shí)采用影像法，即用測(cè)角目鏡分劃板上的米字線或用輪廓目鏡分劃板上相應(yīng)的輪廓線對(duì)工件影像進(jìn)行瞄準(zhǔn)。影像法的瞄準(zhǔn)精度受主觀因素影響很大，同一臺(tái)儀器，不同的操作者，測(cè)量精度和測(cè)量效率可能會(huì)存在較大差異，所以很多新型儀器用光電元件替代人眼進(jìn)行瞄準(zhǔn)，以實(shí)現(xiàn)電子化、自動(dòng)化。長(zhǎng)度測(cè)量及線位移測(cè)量第十二頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日（三）讀數(shù)

測(cè)量值有很多種顯示方法，如指針式顯示、數(shù)字式顯示等，無(wú)論是哪種顯示形式，正式讀取數(shù)值之前均需檢查儀器示值是否能夠“回零”。一般來(lái)說(shuō)，儀器要做到絕對(duì)回零是很困難的，只要偏差在允許范圍內(nèi)，即可認(rèn)為儀器與被測(cè)件已進(jìn)入穩(wěn)定的測(cè)量狀態(tài)。長(zhǎng)度測(cè)量及線位移測(cè)量第十三頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日其讀數(shù)方法如下：

首先讀出游標(biāo)零刻線所指示的左邊尺身上的毫米刻線整數(shù)；然后觀察游標(biāo)刻線與尺身刻線對(duì)準(zhǔn)時(shí)的格數(shù)，將游標(biāo)對(duì)準(zhǔn)的格數(shù)乘以游標(biāo)讀數(shù)值，即為毫米小數(shù)；最后將毫米整數(shù)與毫米小數(shù)相加，即得被測(cè)工件的尺寸讀數(shù)。如圖4—2所示，游標(biāo)讀數(shù)值為0.10mm，則被測(cè)工件尺寸為2十0.30＝2.30mm。第十四頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日讀數(shù)：14.10mm2．測(cè)微量具的讀數(shù)機(jī)構(gòu)和讀數(shù)方法讀數(shù)機(jī)構(gòu)由固定套筒和微分筒組成，如圖所示。在固定套筒上刻有縱刻線，縱刻線上下方各刻有25個(gè)分度，每個(gè)分度的刻線間距為1mm，微分量具中測(cè)微螺桿的螺距一船都是0.5mm，微分筒圓周斜面上刻有50個(gè)分度，因此當(dāng)微分筒旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，測(cè)微螺桿軸向位移0.5mm，微分筒旋轉(zhuǎn)一個(gè)分度時(shí)，測(cè)微螺桿移動(dòng)0.01mm，故常用千分尺的讀數(shù)值為0.01mm。第十五頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日正切機(jī)構(gòu)第十六頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日

測(cè)長(zhǎng)儀和測(cè)長(zhǎng)機(jī)結(jié)構(gòu)中帶有長(zhǎng)度標(biāo)尺，通常是線紋尺，也可以是光柵尺。測(cè)量時(shí)，用此尺作為標(biāo)準(zhǔn)尺與被測(cè)長(zhǎng)度做比較，通過(guò)顯微鏡讀數(shù)以得到測(cè)量結(jié)果。

量程較短的稱為測(cè)長(zhǎng)儀。根據(jù)測(cè)量座在儀器中的布置分立式測(cè)長(zhǎng)儀和臥式萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀（簡(jiǎn)稱萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀）兩種。立式測(cè)長(zhǎng)儀用于測(cè)量外尺寸；臥式測(cè)長(zhǎng)儀除能測(cè)量外尺寸外，主要用于測(cè)量?jī)?nèi)尺寸。

量程在500mm以上的儀器體形較大，稱為測(cè)長(zhǎng)機(jī)。測(cè)長(zhǎng)機(jī)常用于絕對(duì)測(cè)量。

測(cè)長(zhǎng)儀和測(cè)長(zhǎng)機(jī)第十七頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日目鏡8的顯微讀數(shù)鏡頭中，可看到三種刻線重合在一起：一種是玻璃刻線尺5上的刻度（圖中的7、8），其間距為lmm；一種是目鏡視野中間隔為0.lmm的刻度（圖中的0至10）一種是有10圈多一點(diǎn)的阿基米德螺旋線刻度（圖中上部的35、40、45），螺旋線的螺距為0.1mm，螺旋線里面的圓周上刻有100格圓周刻度，因此每格圓周刻度代表0.001mm。圖的讀數(shù)為7.1410mm。不確定度：±（1.5+L/100）um第十八頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日臥式測(cè)長(zhǎng)儀

臥式測(cè)長(zhǎng)儀又稱為萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀。萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀是把測(cè)量座作臥式布置，測(cè)量軸線成水平方向的測(cè)長(zhǎng)儀器。萬(wàn)能測(cè)長(zhǎng)儀除了對(duì)外尺寸進(jìn)行直接和比較測(cè)量之外，還可配合儀器的內(nèi)測(cè)附件測(cè)量?jī)?nèi)尺寸。第十九頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日臥式測(cè)長(zhǎng)儀的毫米刻線尺和測(cè)量軸水平臥放在儀器的底座上，并可在底座的導(dǎo)軌上作左右方向的移動(dòng)；它主要由底座7、測(cè)座1、萬(wàn)能工作臺(tái)5和尾座6組成。第二十頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日第二十一頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日第二十二頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日顯微鏡法是將被測(cè)件的尺寸、輪廓或用光干涉法產(chǎn)生的干涉條紋等，經(jīng)過(guò)顯微放大，以便于觀察測(cè)量。被測(cè)件AB位于物鏡的物方焦點(diǎn)F1之外，但不超過(guò)距物鏡兩倍焦距的距離，被測(cè)件被物鏡放大成一倒立的實(shí)象A’B，此實(shí)象位于目鏡的物方焦面右方的分劃板上，經(jīng)目鏡再次放大在明視距離J＝250mm處成一可從目鏡視場(chǎng)中看到的虛象A'B'

顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)

工具顯微鏡第二十三頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日立式接觸式干涉儀是一種高精度測(cè)微儀。立式接觸式干涉儀第二十四頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日用接觸式干涉儀測(cè)量時(shí)使用白光，即移出濾色片，使視場(chǎng)中出現(xiàn)零級(jí)黑條紋。根據(jù)測(cè)頭先后與標(biāo)準(zhǔn)件及被測(cè)件接觸時(shí)零級(jí)條紋位置間的距離，即可測(cè)得被測(cè)量相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)量的偏差值。白光瞄準(zhǔn)，激光定度。接觸式干涉儀測(cè)量方法第二十五頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日2.相對(duì)測(cè)量法

用于除00級(jí)與1等量塊之外所有等級(jí)的量塊，最常用的儀器有接觸式干涉儀、激光干涉儀、立式光學(xué)計(jì)等。用接觸式干涉儀檢定量塊舉例：量塊的測(cè)量第二十六頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日.一、實(shí)驗(yàn)設(shè)備：1、接觸式干涉儀第二十七頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日2.

量塊標(biāo)準(zhǔn)量塊：8mm的4等量塊被測(cè)量塊：8mm的5等量塊第二十八頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日二、儀器簡(jiǎn)要說(shuō)明1、概述接觸式干涉儀是應(yīng)用光波干涉原理，采用微差比較測(cè)量法測(cè)量長(zhǎng)度的高精度儀器，主要用于檢定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量塊，也可以對(duì)其它高精度零件進(jìn)行測(cè)量或作高精度定位用。第二十九頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日2、基本結(jié)構(gòu)第三十頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日儀器帶有三個(gè)工作臺(tái)，即平面、瑪瑙和五筋工作臺(tái)。在檢定10mm以下塊規(guī)時(shí)，應(yīng)用瑪瑙工作臺(tái)（九筋工作臺(tái)。）。（瑪瑙頭比工作臺(tái)高出0.002?0.003mm）。檢定10mm以下量塊時(shí)，應(yīng)用五筋工作臺(tái)。（中間筋高出兩側(cè)筋0.004?0.006mm）。平面工作臺(tái)則用以測(cè)量球面形零件。第三十一頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日3、儀器的原理兩束光能夠產(chǎn)生干涉的條件是①兩束光的方向一致；②兩束光的頻率相同；③兩束光的相位差恒定。第三十二頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日工作原理

虛平面7’是參考鏡7對(duì)分光鏡鍍銀面A所成的像。如果7與光軸有微小傾斜時(shí)，則虛平面7’將與反射鏡6構(gòu)成一個(gè)虛光楔。在視場(chǎng)中呈現(xiàn)一組平行的等厚干涉條紋，當(dāng)光楔厚度每增加半波長(zhǎng)，就多出現(xiàn)一條干涉條紋。實(shí)際測(cè)量時(shí)用白光干涉條紋的零級(jí)條紋作為指示線第三十三頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日4、儀器調(diào)整（1）工作臺(tái)調(diào)整：瑪瑙頭調(diào)整（徑向、軸向）（2）干涉條紋調(diào)整

1、調(diào)燈絲像：十字螺釘，兩反射鏡垂直

2、調(diào)白光干涉條紋－－零光程差、零級(jí)條紋初始位置

3、單色光的干涉條紋的寬度與方向

4、干涉條紋隨測(cè)頭移動(dòng)而移動(dòng)的方向

第三十四頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日三、測(cè)量過(guò)程1.儀器定度：調(diào)整并確定分劃板上刻度尺的刻度值，叫作儀器的定度。定度時(shí)需使用單色光，因單色光有確定的波長(zhǎng)值，每臺(tái)接觸式干涉儀所附的濾光片都有其波長(zhǎng)檢定值.第三十五頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日第三十六頁(yè)，共三十八頁(yè)，2022年，8月28日2、測(cè)量步驟

1）用標(biāo)準(zhǔn)量塊調(diào)零初調(diào)＋微調(diào)＋縮緊

2）測(cè)量被測(cè)量塊

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