GB/T 26112-2010微機電系統(tǒng)(MEMS)技術微機械量評定總則

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T26112—2010

微機電系統(tǒng)MEMS技術

()

微機械量評定總則

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Generalrulesfortheassessmentofmicro-mechanicalparameters

2011-01-10發(fā)布2011-10-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T26112—2010

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準起草單位天津大學中機生產力促進中心西安交通大學大連理工大學太原理工大學中

:、、、、、

原工學院

。

本標準主要起草人胡曉東丁紅宇劉偉張?zhí)O景蔚宣蔣莊德劉沖張文棟趙則祥

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26112—2010

微機電系統(tǒng)MEMS技術

()

微機械量評定總則

1范圍

本標準規(guī)定了微機械量的評定基本原則評定要素評定程序評定方法以及評定規(guī)則

、、、。

本標準適用于企業(yè)研究機構檢測機構從事微機電技術及產品的研究設計生產檢測及使用

、、、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

微機電系統(tǒng)技術術語

GB/T26111(MEMS)

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T26111。

31

.

微機械量micro-mechanicalparameters

泛指一切與微機械性質和狀態(tài)相關的物理量包括幾何量流量溫度聲學力學和運動等物理量

,、、、、;

由于幾何量流量溫度聲學等物理量進行了專門的分類因此微機械量是指位移速度加速度振動

、、、,、、、

等運動特性參量以及與運動特性相關的力學參量

,。

32

.

微位移Microscaledisplacement

描述質點在微米級尺度下位置變化的物理量其大小等于起點至終點的直線距離方向由起點指向

,,

終點

。

注1微結構在受到一定激勵的條件下會產生位置的變化典型的位置變化有兩種形式平移和轉動分別對應線位

:,,,

移和角位移

。

注2如果將微結構基底作為一個參考平面與這個參考平面面平行的位移為面內位移否則稱為離面位移

:,,。

33

.

振動vibration

物體的往復運動按照往復運動的方向可分為線振動和角振動評定微結構的振動特性主要包

。。

括振動幅度諧振頻率振動模態(tài)品質因子

:、、、。

34

.

殘余應力residualstress

在微加工處理完成后在沒有外力的作用下在微機械結構內部保持平衡而存留的應力稱為殘余

,,,

應力是內應力外應力和熱應力的綜合作用

,、。

35

.

應力梯度stressgradient