GB/T 25915.8-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第8部分：空氣分子污染分級(jí)

ICS1304035

C70..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第8部分空氣分子污染分級(jí)

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part8Classificationofairbornemolecularcontamination

:

(ISO14644-8:2006,IDT)

2011-01-14發(fā)布2011-06-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)和定義………………

31

分級(jí)………………………

42

合格的證明………………

54

附錄資料性附錄所需考慮的因素…………………

A()6

附錄資料性附錄常見(jiàn)污染物………………………

B()9

附錄資料性附錄常用測(cè)量方法……………………

C()11

附錄資料性附錄隔離裝置的特殊要求……………

D()14

參考文獻(xiàn)……………………

15

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

前言

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境分為八個(gè)部分

GB/T25915《》:

第部分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分證明持續(xù)符合的檢測(cè)與監(jiān)測(cè)技術(shù)條件

———2:GB/T25915.1;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分空氣分子污染分級(jí)

———8:。

本部分是的第部分

GB/T259158。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣分子污染

ISO14644-8:2006《8:

分級(jí)

》。

本部分由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本部分由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院北京世源希達(dá)工程技術(shù)公司北京希達(dá)建設(shè)監(jiān)理有限責(zé)任公司負(fù)責(zé)

、、

起草中電投工程研究檢測(cè)評(píng)定中心蘇州華泰空氣過(guò)濾器有限公司蘇州市恩威特環(huán)境技術(shù)有限公司

,、、、

美埃凈化科技上海有限公司參加起草

()。

本部分主要起草人王堯蔡杰王大千張利群張申元徐勤劉衛(wèi)紅徐小浩張凱葉偉強(qiáng)姚東

:、、、、、、、、、、、

秦學(xué)禮呂希洲劉玥

、、。

Ⅰ

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

引言

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將空氣中的顆粒物控制在適當(dāng)?shù)乃揭酝瓿蓪?duì)污染敏感的作業(yè)航空航

,。

天微電子制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對(duì)空氣污染的控制

、、、、、。

有些行業(yè)存在源自外部工藝或其他來(lái)源的空氣分子污染它們會(huì)影響甚至破壞產(chǎn)品或工藝

、、,。

的本部分中懸浮于空氣中的分子用空氣分子污染表示分子污染分階段

GB/T25915,(AMC)。3,

第一階段是產(chǎn)生即外部源工藝的泄漏建筑材料或人身上材料的氣體釋放第二階段是的

“”,、、;AMC

傳播第三階段是敏感表面的吸附此階段的表面分子污染可以量化

“”;“”,(SMC)。

除了實(shí)際外釋放氣體的材料及吸附表面對(duì)產(chǎn)生和吸附個(gè)階段也有很大的影響因

AMC,“”“”2。

此對(duì)于這兩個(gè)階段不僅需明確還需明確所涉及的材料和表面為了制定適用于各類潔凈室

,,AMC,。

及相關(guān)受控環(huán)境的通用標(biāo)準(zhǔn)選擇對(duì)進(jìn)行分級(jí)

,AMC。

在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的分子污染危害產(chǎn)品或工藝的場(chǎng)合本部分所確定的等級(jí)用來(lái)規(guī)

,ISO

定其中的濃度限值

AMC。

為分級(jí)的目的本部分局限于規(guī)定的濃度范圍并考慮到化合物檢測(cè)和分析方法時(shí)間加權(quán)

,AMC,、、

系數(shù)等因素給出規(guī)定濃度的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)程

。

本部分包含下述資料性附錄

:

附錄需要考慮的參數(shù)

———A:;

附錄常見(jiàn)污染化學(xué)品和物質(zhì)

———B:;

附錄常用測(cè)量和分析方法

———C:;

附錄隔離裝置的特殊要求

———D:。

本部分是有關(guān)潔凈室與污染控制標(biāo)準(zhǔn)中的一部分潔凈室及受控環(huán)境的設(shè)計(jì)技術(shù)

GB/T25915。、

要求運(yùn)行和控制中除外尚有許多其他需要考慮的因素那些問(wèn)題包含在編制的

、,AMC,,SAC/TC319

其他國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中要特別注意所有部分有些情況下相關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會(huì)規(guī)定某些

。GB/T25916()。,

補(bǔ)充政策或限制此時(shí)可能需要對(duì)本部分進(jìn)行適當(dāng)修改

,。

Ⅱ

GB/T259158—2010/ISO14644-82006

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第8部分空氣分子污染分級(jí)

:

1范圍

的本部分依據(jù)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中具體化學(xué)物質(zhì)種組類的濃度對(duì)空

GB/T25915(、、),

氣分子污染進(jìn)行分級(jí)同時(shí)本部分在分級(jí)技術(shù)要求中給出了包括檢測(cè)方法分析方法和時(shí)間

(AMC)。,,、

加權(quán)系數(shù)的規(guī)程

。

本部分目前只考慮潔凈室運(yùn)行工況下03-123的濃度

10g/m~10g/mAMC。

本部分不涉及那些雖有空氣分子物質(zhì)存在但不認(rèn)為對(duì)產(chǎn)品或工藝有風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)工藝和生產(chǎn)

、、。

本部分無(wú)意探討空氣分子污染物的特性

。

本部分不包含對(duì)表面分子污染的分級(jí)

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分詞匯

GB/T25915.66:(GB/T25915.6—2010,ISO14644-6:

2007,IDT)