GB/T 25184-2010X射線光電子能譜儀檢定方法

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25184—2010

X射線光電子能譜儀檢定方法

VerificationmethodforX-rayphotoelectronspectrometers

2010-09-26發(fā)布2011-08-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T25184—2010

目次

前言…………………………

Ⅰ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

符號(hào)和縮略語(yǔ)……………

31

方法原理與系統(tǒng)構(gòu)成……………………

43

計(jì)量單位與技術(shù)指標(biāo)……………………

54

檢定環(huán)境…………………

65

檢定項(xiàng)目與方法…………………………

75

報(bào)告檢定結(jié)果……………

822

檢定周期…………………

922

GB/T25184—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)表面分析分委員會(huì)歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位福建光電有限公司廈門大學(xué)固體表面物理化學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王水菊時(shí)海燕丁訓(xùn)民

:、、。

Ⅰ

GB/T25184—2010

X射線光電子能譜儀檢定方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了射線光電子能譜儀的檢定方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于使用非單色化或射線或

X。AlMgX

單色化射線且?guī)в袨R射清潔用離子槍的射線光電子能譜儀的檢定

AlX,X。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

,,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用本文件

。,()。

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(ISO14606:2000,IDT)

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IDT)

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performanceparameters)

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Guidelinesforpreparationandmountingofspecimensforanalysis)

表面化學(xué)分析和均相材料定量分析用實(shí)驗(yàn)測(cè)定相對(duì)靈敏度因子

ISO18118:2004AESXPS

的使用指南

(Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectron

spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivityfactorsforthequantitative

analysisofhomogeneousmaterials)

表面化學(xué)分析和橫向分辨率的測(cè)定

ISO18516:2006AESXPS(Surfacechemicalanalysis—

AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution)

表面化學(xué)分析和橫向分辨率分析面積和分析器分析面積的測(cè)