GB/T 22462-2008鋼表面納米、亞微米尺度薄膜元素深度分布的定量測定輝光放電原子發(fā)射光譜法

犐犆犛１７．１８０

犌０４

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２２４６２—２００８

鋼表面納米、亞微米尺度薄膜

元素深度分布的定量測定

輝光放電原子發(fā)射光譜法

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２００８１０３０發(fā)布２００９０６０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜２２４６２—２００８

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３術(shù)語和定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４原理!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

５儀器!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５．１概述!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５．２儀器性能要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

６樣品制備!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７分析步驟!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７．１譜線的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７．２優(yōu)化輝光放電原子發(fā)射光譜儀的放電參數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

７．３工作曲線!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

７．４工作曲線的確認(rèn)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

７．５漂移校正!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

７．６樣品分析!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

８分析結(jié)果的表示!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

８．１定量深度剖析的表示!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

８．２膜厚和鍍層質(zhì)量（單位面積）的測定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

９精密度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

１０試驗(yàn)報(bào)告!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

附錄Ａ（資料性附錄）推薦的元素特征譜線波長!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１０

附錄Ｂ（資料性附錄）常見的氧化物密度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１１

附錄Ｃ（規(guī)范性附錄）共同實(shí)驗(yàn)附加資料!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１２

Ⅰ

書

犌犅／犜２２４６２—２００８

前言

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ、附錄Ｂ均為資料性附錄，附錄Ｃ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（ＳＡＣ／ＴＣ３８）歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位：寶山鋼鐵股份有限公司、中國科學(xué)院物理研究所、中國科學(xué)院化學(xué)研究所、冶

金工業(yè)信息標(biāo)準(zhǔn)研究院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張毅、陳英穎、沈電洪、劉芬、何曉蕾、鄔君飛、欒燕。

Ⅲ

犌犅／犜２２４６２—２００８

鋼表面納米、亞微米尺度薄膜

元素深度分布的定量測定

輝光放電原子發(fā)射光譜法

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)采用輝光放電原子發(fā)射光譜法用于定量測定鋼表面納米、亞微米尺度薄膜（金屬鍍膜和氧化

膜）中膜厚、鍍層質(zhì)量（單位面積）和薄膜中的元素深度分布。

本方法適用于測定３ｎｍ～１０００ｎｍ厚度的鋼表面薄膜，適用的元素包括：鐵、鉻、鎳、銅、鈦、錳、鋁、

碳、磷、氧、氮和硅。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版本均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研

究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ６３７９．１測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度（正確度與精密度）第１部分：總則與定義

ＧＢ／Ｔ６３７９．２測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度（正確度與精密度）第２部分：確定標(biāo)準(zhǔn)測量方法重復(fù)

性和再現(xiàn)性的基本方法

ＧＢ／Ｔ１９５０２表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜方法通則

ＧＢ／Ｔ２００６６鋼和鐵化學(xué)成分測定用試樣的取樣和制樣方法

ＧＢ／Ｔ２２４６１—２００８表面化學(xué)分析詞匯（ＩＳＯ１８１１５：２００１，ＩＤＴ）

ＩＳＯ５７２５３測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度（正確度與精確度）———第３部分：標(biāo)準(zhǔn)測量方法精密度的

中間度量（Ａｃｃｕｒａｃｙ（ｔｒｕｅｎｅｓｓａｎ