GB/T 17874-2021電子特氣三氯化硼

ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T17874—2021

代替GB/T17874—2010

電子特氣三氯化硼

Electronicspecialtygas—Borontrichloride

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T17874—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替電子工業(yè)用氣體三氯化硼與相比除

GB/T17874—2010《》。GB/T21287—2007,

結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外主要技術(shù)變化如下

,:

更改了三氯化硼應(yīng)符合的技術(shù)要求見第章年版的第章

———(4,20103);

更改了檢驗(yàn)規(guī)則的要求見第章年版的

———(5,20104.1);

更改了純度計算方法見年版的

———(6.1,20104.2);

更改了氧氬氮一氧化碳二氧化碳甲烷含量的測定方法見年版的

———+、、、(6.2,20104.4、4.5);

增加了四氯化硅含量的測定方法見

———(6.2);

增加了氯氣含量的測定方法見

———(6.3);

增加了碳酰氯氯化氫含量的測定方法見

———、(6.4);

更改了金屬元素的測定方法見年版的

———(6.5,20104.7);

刪除了顆粒的測定年版的

———(20104.8);

更改了標(biāo)志包裝運(yùn)輸及貯存見第章年版的第章

———、、(7,20105);

更改了安全信息見年版的

———(7.3,20105.2)。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位大連保稅區(qū)科利德化工科技開發(fā)有限公司中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司

:、、

和立氣體上海有限公司太和氣體荊州有限公司廣東華特氣體股份有限公司海寧市英德賽電子

()、()、、

有限公司福建久策氣體股份有限公司中船重工邯鄲派瑞特種氣體有限公司江西華特電子化學(xué)品

、、()、

有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司沁陽國順硅源光電氣體有限公司上海兄弟微電子技術(shù)有限公

、、、

司浙江省化工研究院有限公司昊華氣體有限公司西南分公司杭州市消費(fèi)者權(quán)益保護(hù)委員會秘書處

、、、

杭州國家電子商務(wù)產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)測處置中心上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限

()、、

公司大連大特氣體有限公司上海凡偉儀器設(shè)備有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司沈陽中復(fù)科金壓

、、、()、

力容器有限公司浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司西南化工研究設(shè)

、、、

計院有限公司西南化工研究設(shè)計院有限公司武漢分公司西南化工研究設(shè)計院有限公司雙流分公司

、、。

本文件主要起草人施旖旎趙趫孫福楠梁永強(qiáng)梁成科陽輝傅鑄紅陳艷珊丁高松何經(jīng)余

:、、、、、、、、、、

曹素英宋富財蘇子杰廖恒易劉健史婉君張建君王新喜孫猛史雋濤周禮譽(yù)鬲春利張琦炎

、、、、、、、、、、、、、

呂博文陳潔吳靚方華辛伶何波黃小強(qiáng)黃輝劉揚(yáng)濤宮兵易達(dá)文李陽高靜李威趙帥德

、、、、、、、、、、、、、、、

余民周鵬云沈翠平

、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為年第一次修訂

———1999GB/T17874—1999,2010;

本次為第二次修訂

———。

Ⅰ

GB/T17874—2021

電子特氣三氯化硼

1范圍

本文件規(guī)定了電子級三氯化硼的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及安全信息

、、、、、、

的要求

。

本文件適用于以粗制三氯化硼為原料提純制得的電子級三氯化硼

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099()

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

居住區(qū)大氣中氯衛(wèi)生檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)方法甲基橙分光光度法

GB/T11736

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T33145

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

GB/T34972

特種設(shè)備生產(chǎn)和充裝單位許可規(guī)則