拉晶標準化考試試題

拉晶標準化考試試題一、填空題1.車間的濕度要求是（），溫度要求是（）。(答案：10-70,18-28)答案解析：1.濕度要求是10-70%，溫度要求是18-28℃2.加料過程卡料或加不完，直接提出不得再嘗試（），第一時間反饋值班主管，禁止（）。(答案：加料,私自處理)答案解析：2.加料過程卡料或加不完，直接提出不得再嘗試加料，第一時間反饋值班主管，禁止私自處理3.拉料領料時確認（），防止拉錯加錯，或加多現象(答案：爐牌號)答案解析：3.拉料領料時確認爐牌號，防止拉錯加錯，或加多現象4.引晶的目標拉速在（）。(答案：180-210)答案解析：4.引晶的目標拉速在180mm/h-210mm/h5.點調溫之前確認晶轉為（）轉，堝轉（）轉，氬氣流量，干泵頻率，爐壓投閉環(huán)(答案：8,7)答案解析：5.點調溫之前確認晶轉為8轉，堝轉7轉，氬氣流量，干泵頻率，爐壓投閉環(huán)6.確定大蓋氈的對中性，確定方法:（）。(答案：大蓋氈內沿四點與下保溫蓋內沿距離相等)答案解析：6.確定大蓋氈的對中性，確定方法：大蓋氈內沿四點與下保溫蓋內沿距離相等7.吸盤壓力表顯示負壓大于（），靜置（）min吸盤壓力無變化，可進行吊料操作。(答案：0.06,5)答案解析：7.吸盤壓力表顯示負壓≥0.06MP，靜置5min吸盤壓力無變化，可進行吊料操作。8.清理爐蓋時需要戴（）。(答案：安全帽)答案解析：8.清理爐蓋時需要戴安全帽。9.停泵2小時后，再次開啟主泵，抽（）后關閉主泵,禁止開啟（）。(答案：10-20,球閥)答案解析：9.停泵2小時后，再次開啟主泵，抽10min-20min后關閉主泵,禁止開啟球閥10.吸盤下沿與堝幫上沿前后左右四點高度偏差小于（），若超出范圍，需重新提升裝置進行調整。(答案：3mm)11.拉晶過程中，如需校準實際直徑，可根據（）個像素值對應實際直徑為（）mm參考值進行校準。(答案：5,1)12.抽真空前需（），正確輸入（）信息，之后點擊抽空，系統(tǒng)自動進入抽空。(答案：初始化,投料量)13.收尾前，應根據（）、晶體（）是否達到收尾標準后再啟動，收尾的目的是為了（）。(答案：剩料重量,晶體長度,排查位錯)14.坩堝零位指的是:。(答案：堝幫上沿與加熱器上沿平行的位置)15.單晶爐打開爐蓋后，爐膛內充滿（），氬氣密度比空氣（），會充滿整個爐膛，不易擴散，因此（）人在主爐室沒有打開的情況下，直接進入爐膛，否則會發(fā)生（）（氬氣對人體無直接危害，但是大量吸入會造成人體缺氧窒息）。(答案：氬氣,大,嚴禁,窒息死亡)一、簡答題1.系統(tǒng)校正液口距的流程，步驟及關鍵點?（10分）答案解析：1、確認液口距捕捉線無跳動，換熱器置于下限，校準系數1.4

2、CCD校準：液口距捕捉線捕捉到“月牙”左右邊緣，捕捉穩(wěn)定（跳動范圍≤±0.2mm），像素實時值與平均值穩(wěn)定后，在“液口距校準”框內點擊“點擊校準”

3、堝位放置：【運動控制】--升降堝位，使“液口距標準值”顯示為20mm，下降堝位23個，使“液口距標準值”顯示為36.5±1mm2.預防漏硅注意事項。（8分）答案解析：（1）裝料前確認熱場裝配正常，上軸正常，石墨堝幫及石英坩堝合格。

（2）嚴格按照裝料要求操作，避免砸傷石英坩堝，碰傷的坩堝退回坩堝房，經確認后再進行相關處理，禁止直接進行使用。

（3）提升上軸時注意隔離閥完全打開且上軸無擺動。

（4）回熔晶棒時，防止晶體一次性下降太多，戳壞石英坩堝。

（5）拉晶過程中要防止結晶造成漏硅。

（6）防止拉晶時多次斷線回熔造成拉晶時間太長漏硅

（7）提升上軸時禁止升過上軸限位。3.簡述晶體扭曲的原因以及處理方法。（8分）答案解析：1、爐內溫度過低，拉速過高

2、液口距過大。

處理措施：

1、觀察坩堝位置，若坩堝位置過低，液口距過大，則手動增大堝升，液口距合適后退出。

2、觀察爐內情況，若液口距合適，則手動升溫0.5kw,30min后查看晶棒情況，若還是變形再升0.5kw。4、簡述異常停電處理方法。（10分）答案解析：所有人立馬撤離至過道等通知

1、大于兩分鐘沒來電

①設備開啟柴油泵-電源柜來電

②進入片區(qū)進行處理-降堝，降晶轉（堝位下降30mm,晶轉給至0）

③撤離-安全區(qū)域

2、小于兩分鐘來電

①全部進入片區(qū)處理

②班長把所有主泵開關打開（除停爐爐臺），主泵預熱1min后，打開主室球閥，副室充氣閥（主室充氣閥）；主操負責打開負責爐臺的主底加開關，并給定主底加功率（熔料加料：主底加90+70Kw,調溫引放，等徑75kw）,停爐爐臺無需操作。

③降晶轉，堝轉，提出晶棒（晶轉給至0，堝轉下降30mm）\