電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全培訓(xùn)

電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全

本節(jié)內(nèi)容一、氣體輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)四、工藝安全管理及事故案例分析五、個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)六、廠務(wù)運(yùn)行管理實(shí)務(wù)一、氣體輸送系統(tǒng)1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類(lèi)及其輸送方式半導(dǎo)體廠常用氣體屬性輸送方式備注大宗氣體N、Ar、He、H、O液罐多用于液化氣體，低溫液體，體積膨脹率大，會(huì)產(chǎn)生煙霧長(zhǎng)管拖車(chē)用于大宗氣體難于液化氣體集氣格用于高壓難于液化氣體特殊氣體可燃?xì)怏w腐蝕性氣體毒性氣體氧化性氣體惰性氣體大宗氣體：BSGS非大宗氣體：GC/GRBSGS多配置加熱器，主要形式有：ISOTank、TubeTraller、Y-Cylinder氣體輸送系統(tǒng)2、氣柜的作用：⑴、實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采用雙瓶切換系統(tǒng)；⑵、安全地輸送工藝氣體至工藝設(shè)備：①、對(duì)工藝設(shè)備的安全考慮：壓力調(diào)節(jié)、氣體凈化、吹掃；②、對(duì)操作人員的安全考慮：柜體隔離、排風(fēng)系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)、緊急切斷、全自動(dòng)控制系統(tǒng)；③、對(duì)環(huán)境的安全考慮：工藝生產(chǎn)要求、氣體的不同性質(zhì)、當(dāng)前項(xiàng)目預(yù)算、將來(lái)項(xiàng)目擴(kuò)展需求。3、氣柜使用中常見(jiàn)問(wèn)題及注意事項(xiàng)：⑴、調(diào)壓時(shí)不準(zhǔn)或者不穩(wěn)：原因是減壓閥具有機(jī)械滯后性，工作使用中可將調(diào)壓閥調(diào)至比所需壓力低一些，氣體輸送系統(tǒng)然后再等一會(huì)看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。⑵、日常工作如需操作氣柜，只需開(kāi)窗操作，只有在換瓶時(shí)才開(kāi)門(mén)!⑶、換鋼瓶時(shí)需要至少2個(gè)人共同操作，一個(gè)人操作，另一個(gè)人需要確認(rèn)每一步是否正確、規(guī)范。⑷氣源、氣瓶的配管要用塑料管或者尼龍管，這樣發(fā)生燃燒事故時(shí)可燒掉從而切斷氣源，降低危險(xiǎn)性。⑸、氣柜上的過(guò)流保護(hù)開(kāi)關(guān)參數(shù)不可調(diào)，安裝時(shí)必須垂直安裝。⑹、SiH等易燃?xì)怏w的鋼瓶最好配置AutoGuard（鋼瓶接口保護(hù)器），以防止在換鋼瓶時(shí)發(fā)生事故。⑺、對(duì)于在我們管線分布上有潛在泄露點(diǎn)的地方，比如焊接點(diǎn)等連接點(diǎn)，要配置帶抽風(fēng)的罩子，這樣可以更好的對(duì)人員和設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。氣體輸送系統(tǒng)⑻、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，另一側(cè)自動(dòng)供氣，這樣可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝設(shè)備的連續(xù)供氣。⑼、不同特氣對(duì)減壓閥的選型也會(huì)有不同的要求，對(duì)于閥門(mén)的選型也是需要注意的地方。比如如果我們有閥門(mén)壞了，需要更換，就需要注意更換閥門(mén)的型號(hào)。⑽、過(guò)流保護(hù)開(kāi)關(guān)是個(gè)非常有必要安裝的部件，作用就是氣體流量異常變大的時(shí)候可以把氣體停掉，一般正帆都會(huì)建議客戶安裝過(guò)流保護(hù)開(kāi)關(guān)。二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子；刻蝕芯片圖案；顯影芯片圖案；研磨芯片；清洗制程設(shè)備零配件2、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類(lèi)：⑴、酸性：腐蝕性：HSO、HCL、HNO、HF、HPO毒性：HF、Acetone化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、堿性：NHOH、KOH、Developer⑶、有機(jī)溶劑：IPA、光阻液EKC、EBR、HMDS⑷、氧化性：HSO、HO⑸、懸浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全⑴、化學(xué)系統(tǒng)運(yùn)行需要的證照與認(rèn)證操作人員的安全管理非常重要，所有操作人員應(yīng)具備以下資質(zhì)：

壓力容器操作許可證危險(xiǎn)化學(xué)品操作許可證叉車(chē)操作許可證（如有使用）化學(xué)品輸送系統(tǒng)⑵、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)（MSDS/CSDS）操作人員可以從中學(xué)習(xí)到化學(xué)品的特性，毒性，危害性，中毒預(yù)防措施，緊急事故處理等。⑶、化學(xué)品系統(tǒng)的PPE使用如酸桶更換作業(yè)時(shí)需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4、化學(xué)品輸送管道材質(zhì)：酸堿類(lèi)：內(nèi)管PFA，外管CPVC溶劑類(lèi)：工藝管線SUS316EP，或外管SUS304+PFA內(nèi)管方式三、氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件部件名稱工作原理規(guī)格參數(shù)電化學(xué)氣體偵測(cè)器被測(cè)氣體在電解液表面反應(yīng)，在電極間形成擴(kuò)散電流輸出信號(hào)：繼電器，4~20mA模擬量，POE網(wǎng)絡(luò)信號(hào)；Sensor工作環(huán)境0~40℃；Sensor使用壽命2年（1年）紙帶式偵測(cè)器被偵測(cè)氣體與紙帶反應(yīng)產(chǎn)生色斑，色斑顏色深淺對(duì)光學(xué)分析產(chǎn)生不同結(jié)果，判斷氣體泄露濃度大小輸出信號(hào)：繼電器，4~20mA模擬量，RS485；取樣管道最長(zhǎng)90米；工作環(huán)境要求10~40℃,20-80%rH；紙帶使用壽命：3月（1月）火焰?zhèn)蓽y(cè)器（UV/IR）當(dāng)探測(cè)器檢測(cè)到火焰產(chǎn)生的紅外線（IR）或紫外線（UV）時(shí)，經(jīng)過(guò)內(nèi)部邏輯判斷，輸出報(bào)警信號(hào)給出GMS系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)工作環(huán)境要求：-10~50℃，相對(duì)濕度10~90%；輸出信號(hào)：繼電器，RS485通訊氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)液體泄漏感知帶當(dāng)化學(xué)品遇到感知帶，引起感知帶導(dǎo)電孔間短路，導(dǎo)致感知帶阻值改變，從而判斷是否有化學(xué)品泄漏液體泄漏傳感器電容式傳感器原理，當(dāng)傳感器下側(cè)面有液體（化學(xué)品或水），傳感器會(huì)感測(cè)到信號(hào)，并輸出電壓信號(hào)至控制單元，進(jìn)行泄漏報(bào)警和動(dòng)作連鎖浮球液位開(kāi)關(guān)通過(guò)收液槽位上升帶動(dòng)浮球位置升高，浮球內(nèi)置磁鐵觸發(fā)內(nèi)置磁感開(kāi)關(guān)動(dòng)作，從而輸出報(bào)警信號(hào)至控制單元，啟動(dòng)泄漏報(bào)警和連鎖響應(yīng)報(bào)警塔燈高亮LED顯示氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)⑴、必須監(jiān)測(cè)氣體種類(lèi)自然氣體（如SiH4），可燃性氣體（如CH4/H2）、毒性氣體（如PH3/AsH3）、腐蝕性氣體（如HCL/HBR）、氧化性氣體（如O2/CL2）、惰性氣體密閉區(qū)域（安裝O2探頭）⑵、偵測(cè)器安裝①、偵測(cè)器取樣管長(zhǎng)度規(guī)定：烷類(lèi)氣體和氫氣取樣管最長(zhǎng)30米，氨氣取樣管最長(zhǎng)10米，HCL等酸類(lèi)氣體取樣管最長(zhǎng)5米②、偵測(cè)器安裝高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和觀察氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)③、偵測(cè)器取樣點(diǎn)位置規(guī)定：特氣設(shè)備釋放源殼體排風(fēng)，特氣相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，取樣點(diǎn)同時(shí)放置在釋放源上方和廠方最高點(diǎn)易積氣處；特氣相對(duì)密度大于0.75時(shí)，取樣點(diǎn)設(shè)置在釋放源下方距地面高度0.5米處④、偵測(cè)器安裝環(huán)境要求：環(huán)境溫度0至40℃，環(huán)境濕度20%至80%RH，遠(yuǎn)離強(qiáng)電干擾⑶、偵測(cè)器探頭選型①、每種特氣原則上采用對(duì)應(yīng)氣體探頭②、同類(lèi)型氣體混合排放采用毒性最強(qiáng)特氣探頭③、混合氣體偵測(cè)，采用最先到達(dá)報(bào)警濃度值特氣探頭④、特殊化學(xué)品泄露偵測(cè)，根據(jù)空氣反應(yīng)決定特氣探頭氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)⑷、GDS邏輯控制本地?zé)羲锌責(zé)羲o急切斷氣源廠務(wù)聯(lián)動(dòng)備注泄露濃度≥1∕2TVL或25%LEL黃燈報(bào)警黃燈報(bào)警不切斷不聯(lián)動(dòng)泄露濃度≥TVL或50%LEL紅燈報(bào)警+蜂鳴紅燈報(bào)警+蜂鳴切斷聯(lián)動(dòng)緊急停止按鈕（EMO）紅燈報(bào)警+蜂鳴紅燈報(bào)警+蜂鳴切斷聯(lián)動(dòng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)⑸、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)基于POE網(wǎng)絡(luò)通信環(huán)形網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)3、工作人員更換閥門(mén)時(shí)的操作注意事項(xiàng)：①、更換一個(gè)閥門(mén)時(shí)如果太緊不能強(qiáng)行拆卸，可以把上方或者下方閥門(mén)的螺絲擰松一點(diǎn)，再擰需要更換的閥門(mén)就比較容易。②、用兩個(gè)扳手?jǐn)Q閥門(mén)螺絲時(shí)兩個(gè)扳手的夾角不能太大，而且最好用一只手兩個(gè)扳手一塊用力。③、換墊片時(shí)要換干凈的手套，每次換閥門(mén)都要換墊片。④、擰緊螺絲的時(shí)候用手?jǐn)Q緊后再用扳手?jǐn)Q1/8圈就可以，不能使太大勁去擰，容易使墊片變形。四、工藝安全管理及事故案例分析工藝安全管理（PSM）：通過(guò)執(zhí)行工程標(biāo)準(zhǔn)、最大實(shí)踐、工藝設(shè)計(jì)、系統(tǒng)操作和維護(hù)程序，以最大限度地降低或消除化工過(guò)程運(yùn)行時(shí)造成的人員傷亡、財(cái)產(chǎn)損失和環(huán)境破壞。工藝安全管理的14個(gè)要素：工藝安全信息（PSI），工藝危害分析，變更管理，開(kāi)工前安全檢查（ORI），操作規(guī)程，培訓(xùn)，機(jī)械完整性（MI），動(dòng)火作業(yè)許可證，承包商，應(yīng)急準(zhǔn)備和響應(yīng)，事件調(diào)查，商業(yè)機(jī)密，符合性審查，員工參與五、個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)1、PPE：主要用于保護(hù)雇員免受由于接觸化學(xué)輻射、電動(dòng)設(shè)備、人力設(shè)備、機(jī)械設(shè)備或在一些危險(xiǎn)工作場(chǎng)所而引起的嚴(yán)重的工傷或疾病。2、PPE的等級(jí)和分類(lèi)等級(jí)使用條件包含裝備LEVELD-最低等級(jí)滿足最低人身安全保護(hù)的要求，僅用于可能受到污染物侵?jǐn)_的低危害場(chǎng)合，在空氣中不含毒害物時(shí)使用安全眼鏡、安全帽、安全鞋、工作服、工作手套（護(hù)目鏡、面罩）個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)LEVELC當(dāng)需要呼吸保護(hù)時(shí)，皮膚會(huì)接觸到毒害物時(shí)，應(yīng)知道空氣中的污染物種類(lèi)和濃度，應(yīng)使用與污染物相應(yīng)的呼吸器，呼吸器的吸附與中和能力應(yīng)大于毒害物的濃度當(dāng)量D級(jí)裝備、使用通過(guò)審批的：呼吸器、帶頭套的防濺灑服或防火服、雙層手套、靴子LEVELB當(dāng)需要最大的呼吸防護(hù)時(shí)，特別考慮吸入保護(hù)，而無(wú)須特殊的皮膚保護(hù)時(shí)D級(jí)裝備、自給式呼吸器、帶頭套的防濺灑服或防火服、雙層手套、靴子LEVELA-最高等級(jí)需滿足最大的呼吸與皮膚防護(hù)的場(chǎng)合，適用于毒害物不能被識(shí)別的場(chǎng)合D級(jí)裝備、自給式呼吸器、全封閉化學(xué)防護(hù)衣、內(nèi)層手套個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)3、使用PPE時(shí)應(yīng)注意事項(xiàng)?、佟⒚撘路r(shí)，需抓緊衣服內(nèi)側(cè)脫下；②、防護(hù)衣最好為一次性使用，若多次使用需要清洗時(shí)，洗過(guò)之后不可曬干，需晾干；③、A級(jí)防護(hù)衣需定期做氣密性檢查；⑤、穿A級(jí)防護(hù)衣時(shí)，穿戴者最好攜帶通訊工具和小刀。4、啟動(dòng)應(yīng)急反應(yīng)的六個(gè)關(guān)鍵：①、應(yīng)急人員組織：分工明確，職能清晰，要求需清楚；小組成員要固定，并有培訓(xùn)計(jì)劃。②、應(yīng)急器材設(shè)備的準(zhǔn)備及使用：須列出物資清單及負(fù)責(zé)人；器材使用有效個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)及安全檢查。③、人員疏散：逃生通道及集結(jié)點(diǎn)安全；廣播明確指示；疏散路線人員布點(diǎn)指揮，確保安全有序離開(kāi)危險(xiǎn)區(qū)域；人員清點(diǎn)。④、流程節(jié)點(diǎn)的