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文檔簡介
1、實驗12 PN結(jié)正向壓降與溫度關(guān)系的研究隨著半導(dǎo)體工藝水平的不斷提高和發(fā)展,半導(dǎo)體PN結(jié)正向壓降隨溫度升高而降低的特性使PN結(jié)作為測溫元件成為可能,過去由于PN結(jié)的參數(shù)不穩(wěn),它的應(yīng)用受到了極大限制,進入二十世紀(jì)七十年代以來,微電子技術(shù)的發(fā)展日趨成熟和完善,PN結(jié)作為測溫元件受到了廣泛的關(guān)注。溫度傳感器有正溫度系數(shù)傳感器和負(fù)溫度系數(shù)傳感器之分,正溫度系數(shù)傳感器的阻值隨溫度的上升而增加,負(fù)溫度系數(shù)傳感器的阻值隨溫度的上升而減少,熱電偶、熱敏電阻,測溫電阻屬于正溫度系數(shù)傳感器,而半導(dǎo)體PN結(jié)屬于負(fù)溫度系數(shù)的傳感器。這兩類傳感器各有其優(yōu)缺點,熱電偶測溫范圍寬,但靈敏度低,輸出線性差,需要設(shè)置參考點;而
2、熱敏電阻體積小,靈敏度高,熱響應(yīng)速度快,缺點是線性度差;測溫電阻如鉑電阻雖然精度高,線性度好,但靈敏度低,價格高。相比之下,PN結(jié)溫度傳感器有靈敏度高,線性好,熱響應(yīng)快和體積小的優(yōu)點,尤其在數(shù)字測溫,自動控制和微機信號處理方面有其獨特之處,因而獲得了廣泛的應(yīng)用。一.實驗?zāi)康牧私釶N結(jié)正向壓降隨溫度變化的基本關(guān)系,測定PN結(jié)特性曲線。測繪PN結(jié)正向壓降隨溫度變化的關(guān)系曲線,確定其靈敏度及PN結(jié)材料的禁帶寬度。學(xué)會用PN結(jié)測量溫度的一般方法。二.實驗儀器SQ-J型PN結(jié)特性測試儀,三極管(3DG6),測溫元件,樣品支架等。三實驗原理1PN結(jié)特性的測量由半導(dǎo)體物理學(xué)中有關(guān)PN結(jié)的研究可以得出PN結(jié)的
3、正向電流與正向電壓滿足以下關(guān)系; =(exp-1) 式中e為電子電荷量、k為玻爾茲曼常數(shù),T為熱力學(xué)溫度,為反向飽和電流,它是一個與PN結(jié)材料禁帶寬度及溫度等因素有關(guān)的系數(shù),是不隨電壓變化的常數(shù)。由于在常溫(300K)下,kT/q=0.026,而PN結(jié)的正向壓降一般為零點幾伏,所以exp1,上式括號內(nèi)的第二項可以忽略不計,于是有 這就是PN結(jié)正向電流與正向電壓按指數(shù)規(guī)律變化的關(guān)系,若測得半導(dǎo)體PN結(jié)的關(guān)系值,則可利用上式以求出e/kT.在測得溫度T后,就可得到e/k常數(shù),將電子電量代入即可求得玻爾茲曼常數(shù)k。在實際測量中,二極管的正向關(guān)系雖能較好滿足指數(shù)關(guān)系,但求得的k值往往偏小,這是因為二極
4、管正向電流中不僅含有擴散電流,還含有其它電流成份。如耗盡層復(fù)合電流.、表面電流等。在實驗中,采用硅三極管來代替硅二極管,復(fù)合電流主要在基極出現(xiàn),三極管接成共基極線路(集電極與基極短接),集電極電流中不包含復(fù)合電流。若選取性能良好的硅三極管,使它處于較低的正向偏置狀態(tài),則表面電流的影響可忽略。此時集電極電流與發(fā)射極基極電壓滿足式,可驗證該式,求出準(zhǔn)確的e/k常數(shù)。2PN結(jié)正向壓降隨溫度變化靈敏度S的測量由物理學(xué)知,二極管的反向飽和電流與絕對零度時PN結(jié)材料的導(dǎo)帶底和價帶頂間的電勢差有如下關(guān)系: 式中,r是常數(shù),C是與結(jié)面積、摻雜濃度等有關(guān)的參數(shù),將式代式后兩邊取對數(shù)得 其中 式即為PN結(jié)正向壓降
5、、正向電流和溫度間的函數(shù)關(guān)系,它是PN結(jié)溫度傳感器工作的基本方程。若保持正向電流恒定即常數(shù),則正向壓降只隨溫度變化,顯然,式中除線性項外還含有非線性項,但可以證明當(dāng)溫度變化范圍不大時(對硅二極管來說,溫度范圍在-50-150)引起的誤差可忽略不記。因此在恒流供電條件下,PN結(jié)的正向壓降對環(huán)境溫度T的依賴關(guān)系主要取決于線性項,即PN結(jié)的正向壓降隨溫度升高而線性下降,這就是PN結(jié)測溫的依據(jù)。但必須指出,這一結(jié)論僅適用于雜質(zhì)全部電離、本征激發(fā)可以忽略的溫度區(qū)間。若溫度過高或過低(不在上述溫度范圍),則隨著雜質(zhì)電離因子減少或本征載流子迅速增加,關(guān)系的非線性變化將更為嚴(yán)重,說明特性還與PN結(jié)的材料有關(guān)。
6、實驗證明,寬帶材料(如GaAs)構(gòu)成的PN結(jié),其高溫端線性區(qū)寬,而材料(如Insb)雜質(zhì)電離能小的PN結(jié),其低溫端的線性區(qū)寬,對于給定的PN結(jié),即使在雜質(zhì)導(dǎo)電和非本征激發(fā)溫度范圍內(nèi),其線性度隨溫度的高低也有所不同,這是非線性項引起的。由式可以看出,減小,可以改善線性度,但這不能從根本上解決問題,目前行之有效的方法是利用對管的兩個be結(jié)(即三極管基極和集電極短路后與發(fā)射機組成一個PN結(jié))分別在不同電流下工作,得到兩者電壓差與溫度間的線性關(guān)系: 使之與單個PN結(jié)相比線性度與精度有所提高。將這種電路與恒流、放大等電路集成一體,便構(gòu)成集成電路傳感器。四.實驗裝置實驗用具由樣品架和測試儀兩部分構(gòu)成,樣品
7、架結(jié)構(gòu)如圖所示,其中A為樣品室,它是一個可拆卸的筒狀容器,筒蓋內(nèi)設(shè)有橡皮圈,橡皮圈與筒套上的螺絲孔相對應(yīng),可用螺釘將其旋緊以保持密封。待測樣品PN結(jié)管(將三極管3DG6的基極與集電極短接后作為正極,其發(fā)射極作為負(fù)極構(gòu)成一只二極管)和測溫元件(AD590)均置于銅座B上,管腳與耐高溫導(dǎo)線相連,分別穿過兩旁空心細(xì)管與頂端插座P1連接,加熱器H位于中心管支座底部,其發(fā)熱部位埋設(shè)在銅座B中心柱體內(nèi),加熱電源進線由中心管上方插孔P2引入,P2的引線與容器絕緣,容器與電源負(fù)端相通,它通過插件P1專用線與測試機接地端相連,將待測PN結(jié)的溫度和電壓信號輸入測試儀。 H P1 A-樣品室B-樣品座 P2D-待測
8、PN結(jié)T-測溫元件P1-D、T引線座H-加熱器P2-加熱電源插孔 圖1 樣品架結(jié)構(gòu)圖 A HH D T B 測試儀由恒流源,基準(zhǔn)電源和顯示單元等組成。恒流源有兩組,一組提供I,電流輸出在01000A范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),另一組用于加熱,控溫電流為0.1-1A,分為十檔,每檔改變電流0.1A ?;鶞?zhǔn)電源也有兩組,一組用于補償PN結(jié)在0和室溫T時的正向壓降V(0)與V(T),可通過調(diào)節(jié)面板上的“調(diào)零”電位器實現(xiàn),若升溫時,降溫時,則表明正向壓降隨溫度升高而下降。另一組電源用于溫標(biāo)轉(zhuǎn)換和校準(zhǔn)。本實驗采用AD590溫度傳感器測溫,AD590的輸出電壓與絕對溫度成正比(),其工作溫度范圍為(即-55-150)
9、,相應(yīng)輸出電壓為。在保持測量精度不變的情況下,為了簡化電路,將絕對溫標(biāo)轉(zhuǎn)換成攝氏溫標(biāo),專門設(shè)置了一組的基準(zhǔn)電壓,對應(yīng)于-55-150的工作 溫區(qū),輸出電壓為,因而可采用的位的LED顯示器測量溫度。此外,還設(shè)有一組量程為的位的LED顯示器通過“測量選擇”開關(guān)換檔來分別顯示和。測量電路的框圖如下: 測溫元件溫標(biāo)轉(zhuǎn)換溫度顯示恒溫源2加熱器恒流源1基準(zhǔn)電源PRDS 測溫元件加熱器 樣品室 K 圖2.測量電路框圖圖中,為待測PN結(jié), 的取樣電阻,開關(guān)K用于測量選擇與極性變換,接R、P端測,P、D端測,S、P端測。五實驗方法和內(nèi)容實驗裝置檢查與連接取掉樣品室的簡套(左手扶筒蓋,右手扶筒套順時針旋轉(zhuǎn)),查待
10、測PN結(jié)管和測溫元件,看其是否分別位于銅座左右兩側(cè)圓孔內(nèi),應(yīng)注意其管腳不能與容器接觸,放好筒蓋內(nèi)橡皮圓圈后,應(yīng)裝上筒套。以免樣品室在冰水中降溫時冰水滲入室內(nèi)。將控溫電流開關(guān)打在“關(guān)”的位置,加熱指示燈不亮,此時,連好加熱電源和信號線,應(yīng)注意這兩個連線均為多芯插頭,連線時要對準(zhǔn)插頭與插座的定位標(biāo)記,用手按住插頭緊線夾部位才可插入。拆線時,應(yīng)抓住插頭的可動外套向外直拉,不可猛力左右轉(zhuǎn)動或部位不對硬拉,以免拉斷引線影響實驗。2或的測量和調(diào)零將樣品室埋入盛有冰水混合體的杜瓦瓶中降溫,開啟電源(電源開關(guān)在機殼后面,電源插座內(nèi)裝有保險絲),預(yù)熱兩分鐘后,將“測量選擇”開關(guān)K撥到,旋轉(zhuǎn)“調(diào)節(jié)”,使=50,待溫度降止0時,將K撥到,記下值,再將K置于,旋轉(zhuǎn)“調(diào)零”,使=0。本實驗的起始溫度可直接從室溫開始,按上述步驟測量,并使3.測定關(guān)系曲線不用盛有冰塊的杜瓦瓶,打開電源開關(guān),逐步提高加熱電流,改變,測量對應(yīng)的T,為減小測量誤差,可使每變化10mV或15mV記錄一個點,測量一組值。整個測量過程中應(yīng)注意,升溫速度要適當(dāng),寧可慢一點也不能太快,上限溫度不宜過高,應(yīng)控制在120左右。六數(shù)據(jù)記錄及處理1在下表中記錄一組測量數(shù)據(jù)。實驗起始溫度 ,工作電流 ,溫度為時的正向壓降 mV。 序號 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 T()2.作-T關(guān)系曲線,求給定PN結(jié)正向壓降隨溫度
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