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文檔簡介

白光干涉儀原理光的波動(dòng)性。利用待測物表面反射光線與參考面的反射光產(chǎn)生干涉。光的同調(diào)性白光同調(diào)性較低，產(chǎn)生干涉範(fàn)圍只有幾微米，且只有相位0時(shí)有最大干涉強(qiáng)度，因此可以準(zhǔn)確的測定出物體表面高度。由於光的波長為數(shù)百nm，經(jīng)由七步相位移演算法計(jì)算光的強(qiáng)度變化，可以使位置解析度達(dá)到nm等級(jí)(10-9)。1光的波動(dòng)性邁克森干涉儀光源參考平面待測平面干涉條紋cababc2光的同調(diào)性同調(diào)性低0120123同調(diào)性高3七步相位移演算法解聯(lián)立方程式得到干涉強(qiáng)度最大的地方的光強(qiáng)度方程式 考慮7個(gè)不同位置且相鄰位置間的相位差為 的光強(qiáng)度值 為 位置的相位值，因?yàn)镻ZT每推動(dòng) 會(huì)造成 的相位差，因此可求得到峰值位置的間距 4

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