凈化廠房用組合式空調(diào)機(jī)組應(yīng)用指南

1、凈化廠房用組合式空調(diào)機(jī)組應(yīng)用指南（機(jī)組特點(diǎn)、設(shè)計選用、加工制造、性能測試、維護(hù)管理）一、凈化廠房用組合式空調(diào)機(jī)組的特點(diǎn) 凈化廠房用組合式空調(diào)機(jī)組一般多為臥式組合式空調(diào)機(jī)組。（一）凈化廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般有如下特點(diǎn)： 處理的風(fēng)量大（一般4000 m3/h160000 m3/h）。斷面尺寸大。 內(nèi)部阻力大（一般總阻力超過1000 Pa，可高達(dá)2500 Pa）。要求強(qiáng)度高，密封好。 對空氣處理的參數(shù)和質(zhì)量要求高。處理功能段多，空調(diào)器長度長。 有潔凈度多級過濾的要求。 有溫度和相對濕度的要求。 有壓差的要求。 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求對空氣中低濃度化學(xué)污染也有一定的要求。 對處理空氣的參數(shù)的精度要求高。 溫

2、度精度嚴(yán)格到0.10.5。 相對濕度精度嚴(yán)格到3%5%。 對處理空氣的機(jī)械露點(diǎn)要求較低1012。要求保溫性能好，沒有冷橋。 新風(fēng)機(jī)組不能停，風(fēng)機(jī)要一用一備。（二）根據(jù)潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的特點(diǎn)對凈化空調(diào)機(jī)組提出了相應(yīng)的要求。 由于凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)量大，阻力大等特點(diǎn)。則凈化空調(diào)機(jī)組的體型大；組合功能較多，長度較長；風(fēng)機(jī)的送風(fēng)量大，壓頭高（1500 Pa）；進(jìn)而要求機(jī)組箱體有足夠的強(qiáng)度和剛度；啟動和運(yùn)行時，不應(yīng)產(chǎn)生較大的永久變形和破壞；同時要求箱體的密封程度高，漏風(fēng)率低一般在靜壓1000 Pa時漏風(fēng)率1%。 由于凈化空調(diào)系統(tǒng)的處理的空氣露點(diǎn)比較低（1012），比一般民用空調(diào)（15）低得多，因此對機(jī)

3、組機(jī)箱殼體的保溫性能高，不產(chǎn)生冷橋現(xiàn)象。一般保溫材料（）的厚度應(yīng)50 mm：框架內(nèi)腔也填有保溫材料，在結(jié)構(gòu)上不存在剛性接觸，以消除冷橋現(xiàn)象。 由于凈化空調(diào)系統(tǒng)有溫度、相對濕度、潔凈度、壓差以及空氣品質(zhì)等要求，因此凈化空調(diào)機(jī)組的功能段多，為了保證潔凈度，保護(hù)系統(tǒng)末端的高效過濾器，在機(jī)組內(nèi)不僅設(shè)有粗效、中效，必要時還要設(shè)置亞高效和高效；為了保證溫度和相對濕度，則機(jī)組內(nèi)要設(shè)置有降溫去濕、加熱、加濕等功能段；為了保證空氣中的品質(zhì)，必要時在機(jī)組內(nèi)還要設(shè)淋水段和化學(xué)過濾器段以消除新風(fēng)中的低濃度的化學(xué)污染。較為典型的新風(fēng)機(jī)組的功能段組合如下：有四級過濾（粗、中、化學(xué)、高），有兩級淋水（自來水和純水）兩級表冷

4、，二級加熱，一級加濕和風(fēng)機(jī)段，共有12個功能段。 由于空調(diào)機(jī)組用于潔凈廠房的凈化系統(tǒng)中，因此機(jī)組內(nèi)表面的材料和結(jié)構(gòu)均應(yīng)考慮便于清潔處理，內(nèi)表面光滑，減少凹凸和縫隙而且要求耐水、耐磨、不生銹。 除上述之外更重要的是要配有相對嚴(yán)格、精密的自動控制系統(tǒng)，才能保證凈化空調(diào)系統(tǒng)要求的溫濕度精度和壓差精度。 對于新風(fēng)機(jī)組而言還有備用問題，除整機(jī)備用外，還可能有風(fēng)機(jī)備用的問題。 為適應(yīng)過濾器的阻力變化，以節(jié)省能量或有效地調(diào)節(jié)潔凈廠房的正壓，風(fēng)機(jī)須采取變頻措施。新風(fēng)機(jī)組有六大功能：保證室內(nèi)正壓。有足夠的新風(fēng)量。保證室內(nèi)相對濕度。兩級表冷降溫去濕。淋水和噴蒸汽加濕。消除外氣有害的分子成分。淋水加化學(xué)過濾器。保護(hù)

5、FFU的ULPA。因此，有五級過濾器。在北方冬季要有防凍措施。風(fēng)機(jī)要一用一備。（三）生物凈化系統(tǒng)的凈化空調(diào)機(jī)組的特點(diǎn)因為生物凈化系統(tǒng)研究控制的主要對象是微生物是活的不斷生長繁殖的粒子，因此凈化空調(diào)機(jī)組要鏟除細(xì)菌生長繁殖的條件，切斷細(xì)菌傳播的途徑。對生物凈化系統(tǒng)用的凈化空調(diào)機(jī)組除上述7個特點(diǎn)之外還必須增加以下要求： 凈化空調(diào)機(jī)組的斷面風(fēng)速避免表冷器帶水，其斷面風(fēng)速2 m/s工業(yè)潔凈室用空調(diào)機(jī)組的斷面風(fēng)速為2.5 m/s。 為了適應(yīng)滅菌薰蒸，其機(jī)組箱體內(nèi)表面應(yīng)耐藥物的腐蝕。 排水順暢，沒有凝水集聚。 加濕采用蒸汽，不能用淋水、噴霧和濕膜加濕。二、典型凈化空調(diào)機(jī)組的功能段的組合型式（一）新風(fēng)機(jī)組（MAU）的功能段組合 用于微電子前工序的新風(fēng)機(jī)組功能段的組合（16段） 用于光電子前工序的