17章-潔凈廠房的施工技術(shù)要點

1、第十七章潔凈廠房的施工與管理本工程為8英寸集成電路芯片項目，在 3號建筑（8英寸芯片廠房）的二、三層核心生產(chǎn)區(qū)為潔凈室系統(tǒng)， 該區(qū)域?qū)諝獾臐崈粢蠛芨?，因此對于結(jié)構(gòu)工程、機電通風系統(tǒng)、裝飾裝修工程的設計和施工等均有特殊的 要求。由于潔凈室系統(tǒng)需要進行專業(yè)的二次設計，好多具體做法尚不明確，我公司根據(jù)以前同類工程的施工經(jīng)驗, 從組織上、管理上和具體關(guān)鍵點的施工控制上對潔凈施工進行嚴格管理，高度重視潔凈系統(tǒng)的特殊性，專門組 織潔凈系統(tǒng)的施工。第一節(jié) 潔凈施工的目的與原則一、潔凈施工目的在潔凈室的建造過程中，始終有粉塵產(chǎn)生，僅靠施工最終階段的清理是無法清理干凈的，而這些無法被清 除的贓物、灰塵會付在

2、潔凈室的表面。在潔凈室開始起用時，付在室內(nèi)表面的灰塵會在室內(nèi)空間飛散，由此而 增大過濾器的初期負荷，以至縮短過濾器的壽命。所以在潔凈室的施工過程中，需采取相應措施，最大程度地減輕潔凈室的初期負荷，盡早達到潔凈室的性 能要求是很重要的。二、潔凈施工基本原則1、垃圾、灰塵等不得帶入潔凈室內(nèi)。2、在潔凈室內(nèi)不允許產(chǎn)生垃圾、塵土。3、一旦發(fā)生灰塵，應立即清掃、排除，不得使其擴散。4、防止贓物、灰塵堆積。第二節(jié)潔凈廠房的施工內(nèi)容一、本工程潔凈施工的內(nèi)容（潔凈室系統(tǒng)需要進行專業(yè)二次設計）：潔凈室吊頂系統(tǒng)：吊頂龍骨采用能承重的加密封墊的T型龍骨，能夠安裝FFU設備，燈具為淚滴燈安裝在龍骨上，所有龍骨（鋁合金

3、除外）均要求設備廠家進行環(huán)氧樹脂涂層和陽極電鍍處理。吊頂安裝1200X 600mm的風機過濾器單元（FFU）。潔凈室墻面系統(tǒng)：無龍骨墻面（三明治板），壁板總厚度為50mn 60mm自撐鋁蜂窩狀空心墻板或巖棉夾 心板，附有垂直壓型鋁條，連續(xù)的底部預頂部滑道，墻板的表面是鋁板噴塑或者金屬壁板；龍骨墻面總厚度為 100mm鋁框架配以6.35mm厚的蜂窩狀空心板或12mnB石膏板，墻板用連續(xù)的密封圈密封。潔凈室門：自動滑動門、手動控制潔凈室門、鋼制潔凈室防火門。潔凈室可升降高架地板：安裝在支架可調(diào)節(jié)的可移動的活動地板，地板是600mm#方的實心鑄鋁板，可以承受1700kg/ H的壓力，每平方厘米 70

4、kg的重量，最大變形量是 2mm動荷載是365kg。表面鋪設乙烯基防腐 防靜電面板；格柵地板的開孔率要滿足通風量的要求，每塊地板安裝調(diào)節(jié)閥，地板的面漆均使用耐磨漆。潔凈室不可升降地板系統(tǒng)：單層橡膠地板、涂有丙烯酸涂料的防靜電地板。潔凈室的特殊要求：在工藝流程需要的地方設置通道、洗手處和風淋室。二、潔凈施工要求與標準1、潔凈室裝飾表面質(zhì)量要求一覽表使用部位要 求 項 目發(fā)塵性耐磨性耐水性防靜電防霉性氣密性壓縫條吊頂涂料不掉皮、粉化-口J耐清洗電阻為105-10 8 Q耐潮濕、霉變-板材不廣塵、 無裂痕-可擦洗-板縫平 齊、密封平直、小于 0.5mm隔墻涂料/、掉皮、粉化-RJ帆清 洗電阻為105

5、-10 8 Q帆潮濕、 霉變-板材不產(chǎn)塵、無裂痕-可耐擦 洗-板縫平 齊、密封平直、小于 0.5mm抹灰按高級球 灰-耐潮濕-耐潮濕、霉變-地面涂料不起殼、脫皮耐磨耐清洗電阻為105-10 8 Q-卷材不虛鋪、縫隙對 齊、不積 灰耐磨耐清洗電阻為105-10 8 Q-縫隙密 封，不虛 焊縫隙焊接 牢固，平 滑水磨石不起砂，密 實，光滑耐磨耐清洗-2、工程驗收1）潔凈室的工程驗收宜分為兩個階段進行，即先進行竣工驗收，再進行綜合性能全面評定。3）竣工驗收的檢測和調(diào)整應在空態(tài)或靜態(tài)下進行。綜合性能全面評定的檢測狀態(tài)，由建設、設計和施工單位 三方協(xié)商確定。任何一種檢測得出的潔凈度級別，必須注明檢測狀態(tài)

6、。4）在空態(tài)及靜態(tài)條件下檢測時，室內(nèi)檢測人員不應多于2人，均必須穿潔凈工作服，盡量少走動。5）竣工驗收和綜合性能全面評定由建設單位負責，設計、施工單位配合。6）竣工驗收應在對各分部工程做外觀檢查、單機試運轉(zhuǎn)、系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的潔凈室性能 檢測和調(diào)整以及對有關(guān)的施工檢查記錄審查合格后進行。7）潔凈室各分部工程的外觀檢查應符合下列要求：（1）各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設備（空調(diào)器、風機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹 淋室等）的安裝應正確、牢固、嚴密，其偏差應符合有關(guān)規(guī)定；（2）高、中效空氣過濾器與風管連接及風管與設備的連接處應有可靠密封；5-17-1各類調(diào)節(jié)裝置應嚴密

7、、調(diào)節(jié)靈活、操作方便；（4）凈化空調(diào)器、靜壓箱、風管系統(tǒng)及送、回風口無灰塵；（5）潔凈室的內(nèi)墻面、吊頂表面和地面，應光滑、平整、色澤均勻，不起灰塵；地板無靜電現(xiàn)象；（6）送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明及動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時，穿越處的 密封處理應可靠嚴密；（7）潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線管口應可靠密封；（8）各種刷涂保溫工程應符合有關(guān)規(guī)定；8）凈化空調(diào)器或空調(diào)器、排風系統(tǒng)、局部凈化設備（各類潔凈工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱等）、空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設備、煙感、溫感火災自動報警裝置、自動滅火裝置、凈化空調(diào)自動調(diào)節(jié)裝置 和其他有試運轉(zhuǎn)要求的設

8、備的單機試運轉(zhuǎn)，應符合設備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定，屬于機械設備的共性要求，還應 符合現(xiàn)行國家標準建筑安裝工程質(zhì)量檢驗評定標準TJ305 （通用機械設備安裝工程）的規(guī)定和機械設備施工安裝方面有關(guān)行業(yè)標準的規(guī)定。第三節(jié)潔凈廠房的主要施工工序壯口. 、主 事一隊公 安裝吊 安裝輕質(zhì)安裝風口一_+女衣風官淚掃風官漏風機查-1頂龍骨隔墻龍骨一電氣照明U安裝電氣橋架. 電氣配管安裝5-17-2施工階 段第1階段第2階段第3階段第4階段第5階段第6階段普通建筑工程風管及電力線 路的安裝等潔凈室的安裝空調(diào)通風系統(tǒng)鑒定怙凈室紀念工程內(nèi) 容建筑物施工， 擴建或重新布 置完成工程，其 中包括隱蔽工 程，敷設風管、 電線

9、和其它公 用管線安裝圍護結(jié) 構(gòu)，完成微氣 候參數(shù)自動調(diào) 節(jié)系統(tǒng)的安裝換氣次數(shù)的計 算平衡，調(diào)整微 氣候參數(shù)自動 控制系統(tǒng)，安裝 HEPA濾器鑒定空態(tài)潔凈室 包括檢查HEPAd： 濾器（在嚴格要求 區(qū)）和完整性完成設備安裝 鑒定表態(tài)潔凈 室目的準備安裝潔凈 室和公用管線 用的場地潔凈室安裝準 備就緒準備向潔凈室 送風準備鑒定潔凈 室空態(tài)鑒定靜態(tài)鑒定需用文 件設計、施工組 織設計設計安裝文件，設 計設計，執(zhí)行文件試驗大綱試驗大綱實施方 式提交場地，普 通建筑工程準 備完成,接入 公用管線試驗風管的密 閉性，檢查公 用管線和能源 載體檢查潔凈室的 密閉性，調(diào)整 通風系統(tǒng)測試備忘錄測試備忘錄測試備忘錄

10、實施者普通建筑施工 單位專業(yè)安裝單位潔凈室安裝單 位定貨方或?qū)I(yè) 公司定貨方或?qū)I(yè)公 司定貨方或?qū)I(yè) 公司工作服-目標-組成人員保護 普通建筑施工 服裝人員保護 普通建筑施工 服裝人員和結(jié)構(gòu)保 護 潔凈連褲服環(huán)境保護 長罩衫（長衫） 帽、潔凈鞋（靴）環(huán)境保護 長罩衫（長衫）、 胡須、口罩，手套， 潔凈鞋（靴）環(huán)境保護 該級別潔凈室 專用潔凈服出入制 度普通僅許可的人 員，出入口（物 品出入）控制， 在專用區(qū)拆除 包裝第2階段+按一 定路線出入第3階段+ 工作 時間有固定值 班的第4階段+工具帶 進潔凈室之前需 要處理動態(tài)潔凈室出 入制度潔凈度 施工管 理培訓無有有有有有參數(shù)控 制目視潔凈度目視

11、潔凈度用潔凈餐布檢 查第4階段+粒子計 數(shù)，試驗大綱第5階段清掃每天清掃垃圾每天清掃用吸塵器每天 清掃用潔凈餐布檢 查，用吸塵器和 濕餐巾（海棉） 清掃清掃規(guī)程用吸塵 器及HEPAd：濾器 清掃清掃規(guī)程（消 毒規(guī)程）限制不吸煙第1階段+在安 裝區(qū)內(nèi)不得進 食和喝水第2階段+不焊 接，不切割， 不拆卸運輸包 裝箱，不從事 未經(jīng)規(guī)定的工 作同第3階段第4階段+人員衛(wèi) 生要求第5階段+運 行要求第四節(jié)潔凈廠房的施工管理要點第五節(jié)潔凈廠房的分階段施工管理宏觀上分為下面幾個階段進行總體控制：一、開工前1、開工前必須對公司的職員、管理人員及作業(yè)人員進行有關(guān)潔凈室的知識、施工方法及作業(yè)程序等的教 育，提高認

12、識。2、使所有施工人員了解潔凈區(qū)域的劃分及各區(qū)域的潔凈等級。二、施工過程中在施工過程中我們將嚴格監(jiān)督和指導各關(guān)鍵點、關(guān)鍵工序的施工，對工程的總體質(zhì)量負責。（一）結(jié)構(gòu)施工混凝土澆筑時，分倉線盡量不通過潔凈區(qū)域。洞口預留位置、尺寸必須保證準確，做到100%僉驗。（二）裝修施工潔凈區(qū)域的施工必須在屋面防水工程和外圍護結(jié)構(gòu)完成、外門、外窗安裝完畢后進行。1、墻面施工本工程潔凈墻壁系統(tǒng)為無龍骨墻（三明治壁板）、有龍骨墻面（鋁框架配以6.35mm厚的蜂窩狀空心板或12mm 厚的石膏板），一般轉(zhuǎn)角處可用弧形材料或密封材料處理，墻面施工要減少積塵面。配合金屬壁板施工的金屬件很多，如天地糟、工字鋁、鋁合金陰角、

13、鋁合金陽角、門窗框料等，基本為鋁制品。目前，國外與國內(nèi)各廠商之產(chǎn)品形式、安裝方式基本相同。我們將嚴格控制轉(zhuǎn)角節(jié)點部位的的施工。1）壁板與壁板陰陽角連接2）壁板與窗之間連接今年欽校4臺具學板盒層3）壁板與地面連接4）非金屬壁板類材料在潔凈室中的應用潔凈室內(nèi)平面與立面之間陰陽角部位的連接是影響潔凈等級的關(guān)鍵部位之一。金屬壁板及其連接節(jié)點作為 超凈化區(qū)域重要組成部分，已被廣泛應用于此類工程中。5-17-3但上述形式的鋁合金陰陽角只限于各種金屬壁板與金屬壁板之間的安裝，但對于壁板與非壁板之間的連 接、非壁板與非壁板之間的連接無法有效解決。根據(jù)我公司同類工程的經(jīng)驗，結(jié)合工程實際情況對金屬壁板及 連接節(jié)點

14、進行了局部改進，特別是通過對現(xiàn)有鋁合金陰陽角材的改進，可突破潔凈區(qū)域必須用金屬壁板這一局 限、增大材料選型面。改進后的陰陽角材可將房間內(nèi)各種材料墻面與各種吊頂裝飾面進行有效連接，不僅提高潔凈區(qū)域內(nèi)的氣密性，而且可大大降低建造成本，將潔凈區(qū)域適用范圍進行擴展，在其他用途的建筑物內(nèi)也可 以廣泛應用。非金屬壁板連接節(jié)點2、吊頂施工吊頂采用耐清洗的涂料、板材，施工不掉皮、粉化、不產(chǎn)塵。(1)天棚的裝飾材料(石膏板、輕鋼龍骨)要在潔凈區(qū)外加工并清掃干凈后搬入到指定場所，且不能長 時間放置，應盡快安裝。(2)在潔凈區(qū)內(nèi)，禁止進行石膏板、輕鋼龍骨的切割等作業(yè)。(3)不須要材料不要長時間放置在潔凈區(qū)，應隨時清

15、除。(4)為避免墻壁剔鑿及暗埋配管等的返工，設備、電氣要同建筑方面很好地配合協(xié)調(diào)，經(jīng)事先確認后再施3、地面施工地面耐磨、耐清洗、不起塵，地面墊層下鋪設防水薄膜作防潮層。(1)涂料地面為防止完全硬化，施工溫度不能低于 5C。在溫度接近20c的條件下施工，也要加少量凝劑。一次涂抹不 能太厚。(2)卷材地面卷材地面的基層處理必須十分平，充分干，全清污；按現(xiàn)場尺寸劃分、裁割，在遇到與墻交接處留數(shù)厘米 富余量。(3)板材地面拼貼前應根據(jù)板材大小、厚薄和方正程度選擇歸類，以防在大面積施工時，由于累積誤差，造成最后縫隙 很大，不可收拾。4、預埋件與構(gòu)配件預埋在鋼筋混凝土構(gòu)件和墻體上的鐵件、木框等應牢固，木磚

16、和木框應做防腐處理，預埋鐵件、隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒?，應與主體結(jié)構(gòu)相聯(lián)，不能與設備支架(如傳送帶吊桿、風管吊桿以及有振動的設備 )和管線支架相聯(lián)接。踢腳板部分施工時應與墻面平齊或略縮進2-3mm當踢腳板與地面材料相同時可做成小圓角，其圓角半徑R應大于50mm當踢腳板與地面材料不同時，應用彈性材料嵌固。密封墻面、吊頂、地面接頭處必須用密封膠認真處理，與門窗的縫隙在正壓面密封。(三)通風工程5-17-4凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管及其零部件的制作除按一般通風空調(diào)系統(tǒng)的要求進行外，還有其特殊之處，主要是：場地：必須是已做好墻壁、地面和門窗且經(jīng)常清掃的房間。接縫：不允許管道有橫向接縫，縱向接縫也要盡量減少，而

17、當?shù)走卾800mm時，在底邊上也不許有縱向接縫。密封：所有咬口縫、翻邊處、釧釘處都必須涂密封膠。加固筋：不許設在管內(nèi)。法蘭：四角應設螺釘孔，孔距v 100mm螺釘、螺母、墊片、釧釘均應鍍鋅。測孔：管徑大于500mnf勺應設清掃孔及各種測孔。存放：制作完成后用中性清洗液沖洗，干燥后用塑料膜封口待安裝。拆封：只允許在安裝時拆開管道端口封膜，安裝中間停頓時應再封好端口。清潔：風閥、消聲器等各種風管零部件，安裝時必須清除內(nèi)表面的油污和塵土，應用不易掉纖維的材料多 次擦拭系統(tǒng)內(nèi)表面。密封：各種密封墊（不論是管道法蘭上的還是各種密閉門框上的）嚴禁在其表面刷涂涂料風管制作與安裝時必須注意：制作風管、部件前，

18、應將鍍鋅鋼板上的油污和灰塵擦洗干凈，防止鋼板表面的油膜沾染灰塵。在油污擦洗 后再用清水擦布將清洗劑的殘留物擦凈。潔凈系統(tǒng)的風管、部件制作時時，應選擇環(huán)境清潔、干燥、遠離塵源或上風側(cè)作為預制加工的場地。制作 完畢應將兩端和所有開口處用塑料薄膜包口封閉，用粘膠帶粘牢，防止灰塵進入風管內(nèi)。風管安裝前，在施工現(xiàn)場將風管兩端封閉塑料薄膜打開，再一次將風管內(nèi)后來帶入的灰塵進行擦拭。系統(tǒng) 安裝完畢或暫停安裝時，必須將風管的開口處封閉，防止灰塵進入。潔凈系統(tǒng)風管的咬口形式，采用咬口縫隙較小的轉(zhuǎn)角咬口及聯(lián)合角咬口。潔凈系統(tǒng)對風管的咬口縫必須達到連續(xù)、緊密、寬度均勻，無孔洞、半咬口及脹裂現(xiàn)象。風管的咬口縫、釧釘孔

19、及風管翻邊的四個角，必須用密封膠進行密封。密封膠應采用對金屬不腐蝕、流動 性好、固化快、富于彈性及遇到潮濕不易脫落的產(chǎn)品。 在涂抹密封膠時，為保證密封膠與金屬薄板粘接的牢固， 涂抹前必須將密封處的油污擦洗干凈。潔凈系統(tǒng)風管拼接縫不能過多。矩形風管底邊800Mlm內(nèi)，不應有拼接縫；800Mlm上，盡量減少縱向接縫，但不得有橫向接縫。風管安裝完畢后，必須進行漏風檢查方法和指標，如下表：（四）潔凈設備安裝高效過濾器的安裝安裝前清潔：安裝前系統(tǒng)應空吹清潔；潔凈室應再次全面清掃，如用吸塵器吸塵，不得用普通吸塵器，必 須用配有超凈袋的吸塵器；在吊頂內(nèi)安裝，吊頂內(nèi)應進行清掃；系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)12h后再次清潔潔凈室

20、，方可安裝高效過濾器拆包：高效過濾器的安裝應在系統(tǒng)風管和空調(diào)機組內(nèi)灰塵擦洗干凈并運轉(zhuǎn)后，而且潔凈室內(nèi)徹底打掃干凈 后，方可開箱。只能在安裝現(xiàn)場、安裝時刻現(xiàn)拆高效過濾器包裝。取出之后應作外觀檢查，并要每一臺有性能 指標的具體檢測數(shù)據(jù)。檢漏：對安裝好的過濾器作檢漏，檢漏的重點是過濾器邊框密封質(zhì)量。并在安裝前檢查其上密封膠有無開裂，濾紙局部有無損壞。高效過濾器安裝后，對安裝的嚴密性和高效過 濾器本體有無損壞，采用濁度計或塵埃粒子計數(shù)器進行檢漏。空氣吹淋室安裝空氣吹淋室安裝前應檢查基礎（或地面）表面是否平整，其平整度應符合空調(diào)器安裝的要求。為了減少空氣吹淋室運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生振動，應在底座下墊上厚度不小于5M

21、K膠板；空氣吹淋室安裝后，應根據(jù)該設備的技術(shù)文件和使用說明書，對規(guī)定的各種動作進行試驗調(diào)整，使其各項 技術(shù)指標達到要求。如風機啟動，電加熱器的投入對吹淋空氣的加熱，兩門的聯(lián)鎖及時間繼電器的試驗和整定 等，使達到下列要求：兩門互鎖。即一門打開時，另一門打不開，使?jié)崈羰遗c外面不直接接通；空氣吹淋室在吹淋過程中，兩門均打不開；進入潔凈室必須經(jīng)過吹淋，由潔凈室出來不要吹淋。為了保證吹淋效果，必須使噴咀射出的氣流吹到被吹淋人員的全身。對噴咀的吹淋角度一般應調(diào)整至：頂 部向下20。，兩側(cè)水平相錯10?？照{(diào)器的安裝安裝空調(diào)器時應對設備進行清洗、擦試，除去塵土、雜物和油污。設備檢查門的門框應平整，密封墊安裝符合要求?？照{(diào)器接縫做密封處理，安裝完成后進行密封檢查，空調(diào)器漏風率不大于2%（五）給水排水管道和電線管的安裝給水排水管道穿過潔凈室的墻壁和樓板應設套管，套管內(nèi)不得有接頭，管子與套管之間必須用不燃和不產(chǎn) 塵的密封材料封閉。管道外表面的保溫層，應采用不產(chǎn)塵的不燃