涂布機(jī)培訓(xùn)報(bào)告(1)

1、涂布機(jī)涂布機(jī)/VCD/VCD培訓(xùn)報(bào)告培訓(xùn)報(bào)告(1)(1)李建勇 ME:戈亞?wèn)|戈亞?wèn)| 20132013年年8 8月月1818日日Content人機(jī)界面操作介紹管路清洗以及濾芯更換介紹原點(diǎn)系列的校正常見(jiàn)異常的預(yù)防以及處理思考與改進(jìn)Total Origin原點(diǎn)復(fù)歸Motion MenuAuto ModeSlit coater原點(diǎn)復(fù)歸畫面，當(dāng)slit coater急停及電源關(guān)閉后及更換刀頭，再開(kāi)啟時(shí)需原點(diǎn)復(fù)歸后才能完成后續(xù)操作。原點(diǎn)復(fù)歸后原則上要重新校正臺(tái)面原點(diǎn)及刀頭原點(diǎn)，未出現(xiàn)重大異常停機(jī)及停電一般無(wú)需原點(diǎn)復(fù)歸操作。Point Move畫面內(nèi)預(yù)存有常用的刀頭位置及高度，用于手動(dòng)移動(dòng)刀頭至相應(yīng)功能位置

2、。Head Cleaning為清洗刀頭預(yù)定程序。Chemical loading為光阻導(dǎo)入預(yù)定程序。Cleaner loading為PGMEA導(dǎo)入預(yù)定程序，用于長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)時(shí)刀頭保護(hù)。Auto Mode畫面為自動(dòng)運(yùn)行畫面.左上角顯示刀頭位置座標(biāo)及刀頭高度。Cycle Stop為停止按鈕，完成動(dòng)作周期后會(huì)自動(dòng)停止，當(dāng)出現(xiàn)異常需強(qiáng)制停止時(shí)長(zhǎng)按左下角stop按鈕。PASS MODE為空跑模式，玻璃經(jīng)過(guò)slit coater無(wú)涂布動(dòng)作。Sub MenuMachine Date MenuPoint MoveSub Menu主要為異常報(bào)警和履歷、I/O監(jiān)視、修改密碼及機(jī)臺(tái)保養(yǎng)參數(shù)設(shè)定。其中常用的為異常監(jiān)視和

3、機(jī)臺(tái)保養(yǎng)參數(shù)設(shè)定。Table Offset 臺(tái)面零點(diǎn)補(bǔ)償。Z Axis Offset為刀頭Z軸補(bǔ)償。Head Zero Set 刀頭零點(diǎn)設(shè)置。Table Zero Set 臺(tái)面零點(diǎn)設(shè)置。Thick Zero Set 板厚測(cè)定零點(diǎn)設(shè)置刀頭七個(gè)位置移動(dòng)，及相應(yīng)的坐標(biāo)。若有硬體發(fā)生變動(dòng)，可結(jié)合手動(dòng)控制刀頭移動(dòng)到準(zhǔn)確位置，再修改相應(yīng)的坐標(biāo)。Manual MenuVacuumAuto Mode手動(dòng)操作涵蓋了導(dǎo)輪傳動(dòng)，真空，相關(guān)泵浦，氣動(dòng)閥，刀頭橫向和豎向移動(dòng)。導(dǎo)輪傳動(dòng)中有順時(shí)針和逆時(shí)針傳動(dòng)。傳動(dòng)1部又有板厚測(cè)定。傳送2、3部是有升降動(dòng)作，及臺(tái)面段Stopper上升、下降、前進(jìn)和后退，以確保玻璃在臺(tái)面正確

4、位置。傳送4部又有Stopper上升和下降，以保證玻璃正確位置。Vacuum Punp真空泵開(kāi)/關(guān)Table Vacuum 1 / Table Vacuum 2臺(tái)面吸真空Dry Prevention Cover UP/DOWN防干燥槽上升下降操作Head Zero Set (Upper) UP/DOWN上游零點(diǎn)設(shè)置 sensor 升降操作Head Zero Set (Lower) UP/DOWN下游零點(diǎn)設(shè)置 sensor 升降操作Sub-Tank Auto Supply 當(dāng)Sub-Tank 液位到 L 時(shí)，機(jī)臺(tái)自動(dòng)供應(yīng)光阻到 Sub-TankSub-Tank Air Out Sub-Tank

5、釋放空氣壓力Resist-Tank Pressure 供應(yīng)CDA給主光阻桶Cleaner-Tank Pressure供應(yīng)CDA給清洗劑桶Process Pump Drive開(kāi)啟 process pump，抽取廢液Sub-Tank Pressure供應(yīng)CDA給 sub tankSub-Tank壓力壓力sv/pv值值Sub-Tank液位標(biāo)識(shí)液位標(biāo)識(shí)Head/ValveHead Cleaning/Dry PreventServo MotorCoating Valve涂布電磁閥開(kāi)/關(guān)操作，此電磁閥開(kāi)啟時(shí)光阻從刀頭流出。Release Valve殘留壓力釋放電磁閥開(kāi)/關(guān)操作，此電磁閥開(kāi)啟時(shí)將管道 中的殘

6、留壓力釋放掉Suck Back Valve回吸電磁閥開(kāi)/關(guān)操作，此電磁閥在涂布完成后用來(lái)維持住光阻以免從刀頭部流出Changeover Valve更換液體電磁閥開(kāi)/關(guān)操作，此電磁閥開(kāi)啟時(shí)清洗劑將取代光阻進(jìn)入刀頭部Cleaner Valve清洗劑電磁閥開(kāi)/關(guān)操作，此電磁閥是清洗劑開(kāi)關(guān)Air Out Valve 1/2排空氣電磁閥 1 /2開(kāi)/關(guān)操作，此電磁閥用來(lái)排除管道內(nèi)的空氣Head Drying Blow Valve刀頭清潔滑塊吹氣體干燥刀頭和 cut barHead Cleaning 1 Valve刀頭清潔滑塊噴出清洗劑清洗刀頭Head Cleaning 2 Valve刀頭清潔滑塊噴出清洗

7、劑清洗 cut barCleaning Head刀頭清潔滑塊前進(jìn)后退手動(dòng)操作Dry Prevent Cleaner往防干燥槽內(nèi)注入清洗劑Cleaning Head Auto Move刀頭清潔滑塊自動(dòng)前進(jìn)后退FWD / REV刀頭前進(jìn)后退操作UP / DOWN刀頭上升下降操作Num. Base手動(dòng)輸入刀頭行進(jìn)坐標(biāo)Num. Speed / Accel設(shè)置刀頭的行進(jìn)速度和加速度值Num. Num. A & B side手動(dòng)輸入刀頭升降高度Num. Speed / Accel設(shè)置刀頭的升降速度和加速度值Each進(jìn)入此頁(yè)面后刀頭 A side 和 B side 的升降高度和速度可以獨(dú)立操作Ser

8、vo MotorMaintenance DataUP / DOWN A-side & B-side 刀頭手動(dòng)升降操作Num. A & B side刀頭升降高度輸入Head Zero Set (Upper) UP/DOWN上游零點(diǎn)設(shè)置 sensor 升降操作Head Zero Set (Lower) UP/DOWN下游零點(diǎn)設(shè)置 sensor 升降操作臺(tái)面及刀頭零點(diǎn)校正臺(tái)面及刀頭零點(diǎn)校正sensor顯示值（上游和下游）顯示值（上游和下游）Upstream I/F MonitorUpstream I/F Monitor與上游設(shè)備的信號(hào)交握畫面當(dāng)出現(xiàn)信號(hào)交握異常時(shí)，可長(zhǎng)按 Cancel

9、 1sec 消除異常信號(hào)。Dry Prevention Motion自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)刀頭在設(shè)定時(shí)間未涂布后降入防干槽。Dry Prevention Fluid Loading Time防干槽補(bǔ)液時(shí)間Dry Prevention Fluid Loading Interval防干槽補(bǔ)液周期Cleaning Interval刀頭清洗周期Head Cleaning刀頭清洗次數(shù)Head Drying刀頭吹干次數(shù)Cut-Bar Cleaning Cut-Bar清洗次數(shù)Head Drying Cut-Bar吹干次數(shù)光阻桶Subtank脫泡器Coating head濾芯濾芯CDAN2光阻工作流程當(dāng)sub tank

10、液位低下時(shí)，自動(dòng)開(kāi)啟光阻桶CDA加壓，光阻經(jīng)過(guò)濾芯注入sub tank。涂布時(shí)往sub tank內(nèi)加壓，光阻經(jīng)過(guò)脫泡器進(jìn)入coating head。Recipe所寫的涂布?xì)鈮杭词莝ub tank氣壓，該氣壓大小直接影響到光阻膜厚。光阻PGMEA廢液脫泡器Sub tankSub tank壓力光阻桶壓力PGMEA桶壓力光阻自動(dòng)補(bǔ)給Sub-tank液位廢液回收PUMP1、Point Move畫面將刀頭移至Dummy Release Point，取出光阻桶。2、手動(dòng)畫面電磁閥手動(dòng)操作(Head/Valve)開(kāi)啟Coating Release Valve,關(guān)閉Tank/PUMP畫面Sub-Tank Au

11、to Supply,開(kāi)啟Process PUMP,開(kāi)啟Sub-Tank Pressure。直至將sub tank及管道中所有光阻排空。3、光阻桶內(nèi)放入PGMEA，開(kāi)啟Tank/PUMP畫面Sub-Tank Auto Supply將PMGEA注入sub tank，至高液位后關(guān)閉自動(dòng)補(bǔ)給，手動(dòng)開(kāi)啟Sub-Tank Pressure，將sub tank內(nèi)的PGMEA通過(guò)管道至刀頭流出，起到清理管道的效果。4、重復(fù)步驟3，將PGMEA一次次注入sub tank重復(fù)清理管道，直至管道內(nèi)無(wú)光阻。5、取出PGMEA，重復(fù)步驟2將管道內(nèi)PGMEA排空。6、光阻桶內(nèi)放入新光阻，開(kāi)啟Tank/PUMP畫面Sub-

12、Tank Auto Supply將光阻注入sub tank，至高液位后關(guān)閉自動(dòng)補(bǔ)給，手動(dòng)開(kāi)啟Sub-Tank Pressure，將sub tank內(nèi)的光阻通過(guò)管道至刀頭流出，直至脫泡器出來(lái)的光阻無(wú)氣泡存在。7、切換到Motion Menu畫面，導(dǎo)入光阻Chemical loading，然后清洗刀頭Head Cleaning。更換光阻完成。更換濾芯確認(rèn)：1.EPL358 IP100 EOC220B PF383A3 光阻跟換頻率為(濾芯為0.2m濾芯） 1次/月 BM黑光阻更換頻率為(濾芯為2m濾芯） 1次/7天 2.任何光阻切換時(shí)必須更換濾芯（IP100與EPL358切換不包括） 3.轉(zhuǎn)型光阻切

13、換注意事項(xiàng)： (1).EPL358切換成 IP100時(shí)將管道及濾芯倒空后使用2瓶PGMEA清洗管道及濾芯 （反之相同） (2).所有不同光阻切換時(shí)將所有管道排空使用3瓶PGMEA清洗管道更換濾芯后在使用3瓶PGMEA清洗（即前三瓶后三瓶）備注：（BM切換其他光阻和EPL358切換成IP100不包括 ） (3).EPL358 IP100 EOC220B PF383A3 切換BM光阻時(shí)與上述切換方式一樣 (4).BM光阻切換成EPL358 IP100 EOC220B PF383A3 切換時(shí)將所有管道排空使用10瓶PGMEA清洗管道更換濾芯后在使用5瓶PGMEA清洗（即前十瓶后五瓶）12BACD43

14、濾芯濾芯A A、B B、C C、D D四個(gè)接口及箭頭說(shuō)明：四個(gè)接口及箭頭說(shuō)明： ：箭頭所指方向應(yīng)為光阻流出方向；A ：光阻流入濾芯；B ：濾芯排氣（正常情況下，濾芯內(nèi)應(yīng)充滿光 阻，不能有氣體）；C ：濾芯內(nèi)光阻直排（將濾芯內(nèi)光阻直接排出）；D ：光阻流出濾芯。編號(hào)編號(hào)1 1、2 2、3 3、4 4四根管道說(shuō)明：四根管道說(shuō)明：1，此為光阻流入管道（Sub-tank流出）， 接口處螺絲較大，與A匹配；2，此為排氣管道，接口處螺絲相對(duì)較小，與B匹配；3，此為光阻直排管道，接口處螺絲較小，與C匹配；4，此為光阻流出管道（流向消泡器）， 接口處螺絲較大，與A匹配；安裝步驟說(shuō)明：安裝步驟說(shuō)明：，確認(rèn)濾芯規(guī)

15、格（0.2um、0.5um、2.0um）；，確認(rèn)濾芯內(nèi)光阻流向（即四個(gè)接口對(duì)應(yīng)功能）；，對(duì)四個(gè)接口螺紋纏生料帶；，確認(rèn)管道與接口匹配（注意管道與螺絲是否匹配）；，將接口與管道進(jìn)行連接（注意接口段是否漏液）；，對(duì)Sub-tank加壓，排除濾芯內(nèi)氣體 （標(biāo)準(zhǔn)：管道2內(nèi)充滿光阻，無(wú)氣泡）。1、原點(diǎn)設(shè)置原理臺(tái)面使用治具，將臺(tái)面水平面與sensor水平面保持一致，將臺(tái)面水平位置定為臺(tái)面原點(diǎn)。刀頭原點(diǎn)以臺(tái)面原點(diǎn)為零點(diǎn)，距臺(tái)面高度2mm時(shí)為刀頭原點(diǎn)。刀頭臺(tái)面原點(diǎn)刀頭原點(diǎn)2mm移動(dòng)刀頭至臺(tái)面外，治具放置在臺(tái)面邊緣，將sensor上升至頂?shù)街尉撸瑢⒋藭r(shí)sensor位置定義為臺(tái)面原點(diǎn)位置。2、臺(tái)面原點(diǎn)設(shè)置操作停機(jī)

16、CV下降移動(dòng)刀頭至臺(tái)面外放置治具于臺(tái)面邊緣sensor上方上升sensor定義臺(tái)面原點(diǎn)Main Menu Manual Operation Conveyor/Stopper Main Menu Motion Menu Point Move Dummy Release PointMain Menu Auto Mode Cycle StopMain Menu Manual Menu Servo Motor Each Head Zero Set UP Main Menu Sub Menu Machine Data Table Zero Set Change 放置治具 步驟說(shuō)明操作畫面2、臺(tái)面原點(diǎn)設(shè)置

17、操作AB side各放置一個(gè)治具于sensor上方，上升sensor頂住治具。保持sensor上升頂住治具的狀態(tài)，長(zhǎng)按Table Zero Set 1s，sensor示數(shù)歸零。臺(tái)面原點(diǎn)設(shè)定結(jié)束。在Table Zero Set畫面點(diǎn)擊Change，進(jìn)入設(shè)置原點(diǎn)畫面。查看sensor示數(shù)是否為0.000，若有偏差需重新校正臺(tái)面原點(diǎn)。上升sensor頂住治具。查看示數(shù)是否為0.000若有偏差，重新設(shè)定臺(tái)面原點(diǎn)。保持sensor上升狀態(tài)，長(zhǎng)按此鍵進(jìn)行重新設(shè)置。3、刀頭原點(diǎn)設(shè)置操作停機(jī)CV下降移動(dòng)刀頭至原點(diǎn)sensor位置下降刀頭至高度2mm上升sensor手動(dòng)調(diào)整A/B side刀頭高度至sensor

18、示數(shù)為2mmMain Menu Manual Operation Conveyor/Stopper Main Menu Motion Menu Point Move Head Zero Set Point Main Menu Auto Mode Cycle StopMain Menu Manual Menu Servo Motor Each Head Zero Set UP Main Menu Manual Menu Servo Motor Each 手動(dòng)微調(diào)刀頭高度至2mm Main Menu Manual Menu Servo Motor Num. 下降至10mm 下降至2mm定義刀頭原點(diǎn)

19、Main Menu Sub Menu Machine Data Head Zero Set Change 步驟說(shuō)明操作畫面3、刀頭原點(diǎn)設(shè)置操作通過(guò)此鍵微調(diào)AB-side高度，使AB-side高度2mm。傳送CV下降，移動(dòng)刀頭至刀頭原點(diǎn)設(shè)置位置。保持sensor上升頂住刀頭的狀態(tài)，長(zhǎng)按Head Zero Set 1s，sensor示數(shù)歸為2.000。刀頭原點(diǎn)設(shè)定結(jié)束。在Head Zero Set畫面點(diǎn)擊Change，進(jìn)入設(shè)置原點(diǎn)畫面。查看sensor示數(shù)是否為2.000，若有偏差通過(guò)ABside高度微調(diào)使sensor示數(shù)為2.0000.002。此座標(biāo)正好使刀頭位于sensor上方。校正完刀頭原點(diǎn)

20、后至Head Zero Set畫面重新定義刀頭原點(diǎn)位置。A，保持sensor上升狀態(tài)。B,長(zhǎng)按此鍵進(jìn)行重新設(shè)置。1.超時(shí)在涂布機(jī)的人機(jī)界面對(duì)超時(shí)有兩種警報(bào)：1、信號(hào)超時(shí) 2、傳送超時(shí)信號(hào)超時(shí)：為T1/T2/T3超時(shí)，此種超時(shí)一般出現(xiàn)在人為動(dòng)作干擾了信號(hào)傳輸，造成信號(hào)誤判的時(shí)候會(huì)有這種情況，或是上下游設(shè)備的異常狀態(tài)引起其信號(hào)傳遞超時(shí)預(yù)防處理：在人為操作后，對(duì)其IF進(jìn)行Cancel設(shè)置。處理的時(shí)候?qū)ζ銲F Cancel長(zhǎng)按一秒，基本能消除本體部位的信號(hào)超時(shí)異常傳送超時(shí)：此時(shí)對(duì)其CV部位sensor進(jìn)行點(diǎn)檢是否為sensor異常、傳送導(dǎo)輪異常、傳送皮帶異常、傳送齒輪異常、以及各部件的動(dòng)作情況預(yù)防處理

21、：根據(jù)sensor來(lái)判定位置，找出原因進(jìn)行針對(duì)性的處理，平時(shí)對(duì)注意點(diǎn)檢硬體部位，注意導(dǎo)輪、皮帶、齒輪的磨損情況，磨損較嚴(yán)重的進(jìn)行及時(shí)更換2.刮傷確認(rèn)來(lái)料的同時(shí)判定刮傷的位置，以下分上下兩表面的情況分析上表面：上表面若是涂布機(jī)產(chǎn)生的一般都為刀頭位置；對(duì)其刀頭進(jìn)行清潔，確認(rèn)無(wú)異物粘著刀頭計(jì)算測(cè)量玻璃實(shí)際厚度判定recipe上面的設(shè)置是否合理，適當(dāng)?shù)睦遟ap進(jìn)行測(cè)試下表面：排查L(zhǎng)D至ULD哪段產(chǎn)生并對(duì)應(yīng)到是哪個(gè)導(dǎo)輪或是與對(duì)應(yīng)位置有接觸的地方，進(jìn)行針對(duì)性的處理3.Pump異常我司涂布機(jī)Pump異常主要為廢液Pump異常較多，其中大多數(shù)緣由為經(jīng)常性切換不同種類光阻造成粘結(jié)以及管道冗贅在保養(yǎng)的時(shí)候?qū)ζ鋸U液管道進(jìn)行整理，出現(xiàn)異常的時(shí)候判定是Pump還是管道單向閥門處堵塞，快速拆卸下來(lái)進(jìn)行灌酒精用氣槍進(jìn)行清潔后組裝上4.真空異常