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文檔簡介

1、R面板(右手)R面板按鈕1.BEAM:電子束閥開關:按下開關,打開V1 閥,開始TEM觀察。2.光闌控制:未安裝相應附件,不能工作。3.模式切換:1.TEM模式;2.EDS模式:高電流密度、微區(qū)照明模式,可用于能譜分析;3.NBD模式:小會聚焦、微區(qū)照明模式,用于納米束衍射;4.CBD模式:大會聚焦、微區(qū)照明模式,用于會聚束衍射;5.a角選擇鈕:保持束斑尺寸不變的情況下,改變會聚角;6.束斑大小選擇鈕:改變束斑尺寸。4.房間燈開關:打開、關閉房間壁燈。R面板按鈕5.DEF/STIG 開關:按下這些開關中的一個,開關內(nèi)置的燈亮,利用DEF/STIG X(L-10) 和DEF/STIG Y(R-4

2、) 旋鈕調(diào)節(jié)相應的線圈電流。再次按下開關,開關內(nèi)置燈滅,關閉開關。IMAGE SHIFT switch: 在高的放大倍數(shù)下,打開IMAGE SHIFT 開關, 調(diào)節(jié)DEF/STIG(L-10,R-4)旋鈕,平移圖像;PLA switch: :在衍射模式下,打開PLA 開關,調(diào)節(jié)DEF/STIG(L-10,R-4)旋鈕,改變投影鏡偏轉線圈電流,平移衍射斑點;COND STG switch: 打開COND STG 開關,調(diào)節(jié)DEF/STIG(L1-10,R1-4)旋鈕,改變聚光鏡像散線圈電流,校正聚光像散;OBJ STIG switch: 打開OBJ STIG開關,調(diào)節(jié)DEF/STIG(L1-10

3、,R1-4)旋鈕,改變改變物鏡像散線圈電流,校正物鏡像散;DARK TILT switch: 打開DARK TILT 開關,調(diào)節(jié)DEF/STIG(L1-10,R1-4)旋鈕,改變聚光鏡束流偏轉線圈電流值并記錄在選擇的內(nèi)存,用于傾斜電子束,觀測暗場像;BRIGHT TILT switch: 打開BRIGHT TILT 開關,調(diào)節(jié)DEF/STG(L1-10,R1-4)旋鈕,改變聚光鏡束流偏轉線圈電流值并記錄在選擇的內(nèi)存,用于傾斜電子束,觀測明場像;NTRLswitch: 按下這個開關,清除所選擇開關的內(nèi)存記錄。R面板按鈕6.BRIGHTNESS旋鈕:散開和收縮電子束,改變電子束的亮度。7.BRIG

4、HTNESS CRS開關:打開這個開關,BRIGHTNESS旋鈕的每個步進增加16倍。8.SHIFT X旋鈕:通過調(diào)節(jié)聚光鏡偏轉線圈電流,沿X方向平移電子束。9.SHIFT CRS開關:打開這個開關,SHIFT X旋鈕的每個步進增加16倍10. DEF/STIG X旋鈕(L-10):選擇DEF/STIG開關,調(diào)節(jié)相應偏轉線圈電流。11. DEF-STIG CRS開關:打開這個開關,DEF/STIG X旋鈕的每個步進增加16倍。L面板(左手)L面板1.Wobbler switchesIMAGE WOBB X:用于聚焦。當開關打開,第一和第二束流偏轉線圈周期性變化,如果圖像遠離焦平面,則圖像沿X

5、方向抖動;IMAGE WOBB Y:用于聚焦。當開關打開,第一和第二束流偏轉線圈周期性變化,如果圖像遠離焦平面,則圖像沿Y 方向抖動;HT WOBB:用于電壓中心合軸。當開關打開,電壓周期性變化。2.Function switches:用于選擇成像模式。選擇模式下的放大倍數(shù)和相機長度可通過MAG-CAM L 旋鈕改變。MAG 1開關:選擇正常的放大模式:6000150000 倍;MAG 2開關:未設定;LOW MAG開關:選擇低倍放大模式:802000倍;SA MAG開關:未設定;SA DIFF開關:選區(qū)衍射模式。L面板3.SHIFT Y旋鈕:通過調(diào)節(jié)聚光鏡偏轉線圈電流,沿Y方向平移電子束。4

6、.DEF/STIG Y旋鈕(R-4):選擇DEF/STIG開關,調(diào)節(jié)相應偏轉線圈電流。5.MAG/CAM L旋鈕:打開MAG 1 開關或LOW MAG 開關,調(diào)節(jié)旋鈕改變放大倍數(shù);打開SA DIFF 開關,調(diào)節(jié)旋鈕改變相機長度。順時針轉動旋鈕,增加放大倍數(shù)或相機長度,逆時針轉動旋鈕減小放大倍數(shù)或相機長度。6.OBJ FOCUS 旋鈕FINE旋鈕:精細調(diào)焦;CORASE旋鈕:粗調(diào)焦,是精細調(diào)焦步進的16 倍;CRS switch:打開這個開關,精細調(diào)焦和粗調(diào)焦的步進增加16 倍。7.DIFF FOCUS旋鈕:在SA DIFF 開關打開時,衍射斑點聚焦;CRS switch:打開這個開關,旋轉DI

7、FF FOCUS,步進增加16倍。L面板8.EXP TIME/PHOTO:照相機照相時的參數(shù)調(diào)節(jié),現(xiàn)在使用gatan 公司的CCD,該項功能不能使用。9.STD FOCUS switch:按下這個開關,物鏡電流恢復到原始參考值。10. F switches:只有F1 鍵用于打開蓋板,用CCD 采集圖像,其他鍵禁用。11. Z switches:調(diào)解樣品的垂直高度?;緫貌僮饕c基本應用操作要點 選區(qū)衍射 明場像 暗場象 高分辨像 槍對中 電壓對中 聚光鏡消像散 聚光鏡光闌對中 物鏡消像散選區(qū)衍射選區(qū)衍射1、確定合軸完成2、TEM 、MAG1模式下,在適合的放大倍數(shù)下選擇感興 趣的區(qū)域,用tr

8、ackball將其移動至熒光屏中心3、選擇適合尺寸的選區(qū)光闌插入光路,套取感興趣區(qū) 域(1200nm,500nm,200nm,100nm)4、按下SA DIFF按鈕轉為衍射模式,退出物鏡光闌,熒 光屏上出現(xiàn)衍射花樣,調(diào)節(jié)MAG/CAM L旋鈕至希望的 相機長度(20cm)5、順時針旋轉BRIGHTNESS使圖像足夠暗6、調(diào)節(jié)DIFF FOUCS獲得圓銳的衍射斑點。明場像明場像1、獲得感興趣的選區(qū)衍射圖像2、在SA DIFFT模式按下BRIGHT TILT按鈕,用DEF/STIG X Y 旋鈕將透射斑點移至熒光屏中心3、選擇合適尺寸的物鏡光闌插入光路,套取透射斑點3、按下MAG1按鈕轉為MAG模

9、式,退出選區(qū)光闌,熒光屏上出現(xiàn)明場圖像4、調(diào)節(jié)放大MAG/CAM L旋鈕,獲得合適放大倍率的圖像。中心暗場像中心暗場像1、獲得感興趣的選區(qū)衍射圖像2、在SA DIFFT模式按下DARK TILT按鈕用DEF/STIG X Y 旋鈕將感興趣的衍射斑點移至熒光屏中心3、選擇合適尺寸的物鏡光闌插入光路,只套取感興趣的衍射斑點3、按下MAG1按鈕轉為MAG模式,退出選區(qū)光闌,熒光屏上出現(xiàn)中心暗場圖像4、調(diào)節(jié)放大MAG/CAM L旋鈕,獲得希望的放大倍率的暗場圖像。高分辨像高分辨像1、獲得感興趣的選區(qū)衍射圖像2、在SA DIFFT模式按下PLA按鈕,用DEF/STIG X Y旋鈕將透射斑點移至熒光屏中心

10、3、選擇合適尺寸的物鏡光闌插入光路,同時套取透射和衍射斑點3、按下MAG1按鈕轉為MAG模式,退出選區(qū)光闌,熒光屏上出現(xiàn)明場圖像4、調(diào)節(jié)放大MAG/CAM L旋鈕,獲得合適放大倍率的圖像(400K以上),選 擇洞邊非晶區(qū)域,進行物鏡消像散。5、調(diào)節(jié)OB旋鈕,獲得高分辨晶格像高分辨電子顯微像拍攝順序 電子顯微鏡的合軸 尋找試樣薄區(qū)和合適的區(qū)域 大致設定衍射條件 物鏡消像散 檢查樣品漂移 衍射條件的最終設定 設定拍攝放大倍率 設定最佳離焦量 設定合適的曝光時間 拍攝使用電鏡必須牢記的內(nèi)容使用電鏡必須牢記的內(nèi)容TEM是一臺高真空設備是一臺高真空設備TEM 總是保持在高真空狀態(tài),因此總是保持在高真空狀

11、態(tài),因此,插拔樣品桿時一定要精心插拔樣品桿時一定要精心TEM 是一臺高電壓設備是一臺高電壓設備200 kV的高電壓用于加速電子運動,任何不合適的操作都很容易通過電的高電壓用于加速電子運動,任何不合適的操作都很容易通過電子的放電損壞設備。子的放電損壞設備。場發(fā)射場發(fā)射TEM的電子槍必須保持在高真空狀態(tài)的電子槍必須保持在高真空狀態(tài)場發(fā)射場發(fā)射TEM的電子槍必須時刻保持在的電子槍必須時刻保持在10-7MPa的高真空下,否者就被損壞的高真空下,否者就被損壞.TEM 樣品桿是一個脆弱的環(huán)節(jié)樣品桿是一個脆弱的環(huán)節(jié)樣品桿頻繁的從電鏡中插入和拔出,很容易造成樣品桿的損壞,必須及時樣品桿頻繁的從電鏡中插入和拔出,很容易造成樣品桿的損壞,必須及時復位,同時還對電鏡的真空造成破壞,導致電鏡故障,維修費用昂貴。復位,同時還對電鏡的真空造成破壞,導致電鏡故障,維修費用昂貴。TEM CCD 很容易被損壞很容易被損壞強電子束強電子束的照射很容易損壞的照射很容易損壞CCD,其

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