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文檔簡介
1、AFM操作使用說明智能成像模式(ScanAsystMode)1. 一、開機確認實際電壓與系統設定的工作電壓相符合,確認所有的線纜都已正確連接。確保操作環(huán)境符合要求且防震臺處于正常工作狀態(tài);打開計算機主機、顯示器和光源;打開控制器。注意:對于運行WindowsXP的系統,開機順序必須是先打開計算機主機,再打開控制器。1. 二、安裝樣品和探針安裝樣品:將固定在鐵片上的樣品放入帶有磁性的樣品臺中心,使其吸住鐵片和樣品。然后通過搬動進動開關【up】/down來升起和降低探針的高度。通常應使樣品的上表面不明顯高于Head上的支點頂部,以防止安裝Holder時探針直接壓到樣品表面上而損壞探針;安裝探針:將
2、探針安裝在Holder上。安裝時,把Holder翻轉放在桌面上,輕輕下壓,使里面凹槽內的金屬片微微上翹。隨后裝入探針,并松手使金屬片壓緊探針。安裝完探針后將Holder卡在Head突出的支點上擺放平穩(wěn),然后擰緊Head背面的固定旋鈕。注意:在升降樣品臺的高度前,一定要先抬起顯微鏡鏡頭,以免在升降過程中撞到鏡頭。1. 三、啟動軟件雙擊桌面【Nanoscope軟件圖標;進入實驗選擇界面,根據實驗方案,按照界面所示進行選擇,第一步選擇實驗方案ScanAsyst,第二步選擇實驗環(huán)境【ScanAsystinAir,第三步選擇實驗具體操作模式ScanAsystinAir;結束上述步驟后,單擊界面右下方圖標
3、【LoadExperiment,進入具體實驗設置界面。四、調節(jié)激光在軟件中左側點擊【Setup】,找到圖像窗口;調節(jié)光學顯微鏡鏡頭位置,自上而下調節(jié)可分別看清探針、樣品聚焦到針尖下的樣品表面(找一個臟點聚焦;如果樣品很干凈,找樣品邊緣聚焦),使樣品成像清晰;將基座右側的【up/down】開關撥到【down】,使探針逐漸接近樣品表面,待懸臂基本清晰后停止;注意:一定不能完全清晰,否則會撞到針尖。1. 使用Head下部兩個旋鈕移動Head位置,使探針位于樣品上所要測量的區(qū)域;使用基座上的位置調節(jié)旋鈕調節(jié)顯微鏡視場,找到激光光斑;使用Head上部兩個方向的激光調節(jié)旋鈕將激光光斑打在懸臂前端。1. 五
4、、調節(jié)四象限檢測器調整Head后部反光鏡,使【SUM】值最大;將基座左側的模式選擇鍵打到【AFM&LFM】上,此時基座前面左上角的指示燈顯示紅色;調整Head上部的兩個四象限旋鈕,使基座前面LCD顯示屏上的【VERT】顯示為0,【HORZ】顯示為0。注意:偏差都要小于也,5,盡量接近于0。1. 六、初始化掃描參數將【ScanSize設置為0;將【ScanAngle】設置為0;將【Xoffset】和【Yoffset】設置為0。2. 點擊左側的【Engage】,等待探針到達樣品表面。當聽到“滴”的一聲并且電腦屏幕下方顯示Tip:theengaged,表示進針完畢。1. 七、掃描圖像調節(jié)【S
5、cansize】(掃描范圍),選擇合適的掃描范圍。對于大部分樣品來說,智能模式可以自動優(yōu)化成像參數得到質量良好的圖像。2, 調節(jié)【Scanrate】(掃描速率)。隨著【Scansize(掃描范圍)的增大,掃描速率須相應降低。最大分辨率是1024,最小分辨率是128,但是通常選擇256或512。注意:選擇范圍是要從大逐步縮減到小范圍,不要動作過大,以免使掃描管由于劇烈變化而失靈。掃描范圍:J管:125um*125um*5um;E管:10um*10um*2.5um。1. 八:保存圖像點擊軟件中Capture菜單中【Capture存圖,【Capturefile設置拍照存儲路徑。2. 九:退針點擊【W
6、ithdraw】停止掃描并使探針遠離樣品表面,至少3次點擊【Withdraw】;將【up】/down開關撥到【up使探針遠離樣品表面后取出Holder,隨后取下樣品。十:關機關閉軟件界面;關閉控制器;關閉計算機、顯示器和光源;注意:對于運行WindowsXP的系統,開機順序必須是先打開計算機主機,再打開控制器。1. 登記使用記錄。1. 輕敲模式(TappingMode)一、開機確認實際電壓與系統設定的工作電壓相符合,確認所有的線纜都已正確連接。確保操作環(huán)境符合要求且防震臺處于正常工作狀態(tài);打開計算機主機、顯示器和光源;打開控制器。注意:對于運行WindowsXP的系統,開機順序必須是先打開計算
7、機主機,再打開控制器。1. 二、安裝樣品和探針安裝樣品:將固定在鐵片上的樣品放入帶有磁性的樣品臺中心,使其吸住鐵片和樣品。然后通過搬動進動開關【up】/down來升起和降低探針的高度。通常應使樣品的上表面不明顯高于Head上的支點頂部,以防止安裝Holder時探針直接壓到樣品表面上而損壞探針;安裝探針:將探針安裝在Holder上。安裝時,把Holder翻轉放在桌面上,輕輕下壓,使里面凹槽內的金屬片微微上翹。隨后裝入探針,并松手使金屬片壓緊探針。安裝完探針后將Holder卡在Head突出的支點上擺放平穩(wěn),然后擰緊Head背面的固定旋鈕。注意:在升降樣品臺的高度前,一定要先抬起顯微鏡鏡頭,以免在升
8、降過程中撞到鏡頭。1. 三、啟動軟件雙擊桌面【Nanoscope軟件圖標;進入實驗選擇界面,根據實驗方案,按照界面所示進行選擇,第一步選擇實驗方案【TapingMode】,第二步選擇實驗環(huán)境TapingmodeinAir】,第三步選擇實驗具體操作模式TapingmodeinAirstandard;結束上述步驟后,單擊界面右下方圖標【LoadExperiment,進入具體實驗設置界面。四、調節(jié)激光在軟件中左側點擊【Setup】,找到圖像窗口;調節(jié)光學顯微鏡鏡頭位置,自上而下調節(jié)可分別看清探針、樣品聚焦到針尖下的樣品表面(找一個臟點聚焦;如果樣品很干凈,找樣品邊緣聚焦),使樣品成像清晰;將基座右側
9、的【up/down】開關撥到【down】,使探針逐漸接近樣品表面,待懸臂基本清晰后停止;注意:一定不能完全清晰,否則會撞到針尖。1. 使用Head下部兩個旋鈕移動Head位置,使探針位于樣品上所要測量的區(qū)域;使用基座上的位置調節(jié)旋鈕調節(jié)顯微鏡視場,找到激光光斑;使用Head上部兩個方向的激光調節(jié)旋鈕將激光光斑打在懸臂前端。1. 五、調節(jié)四象限檢測器調整Head后部反光鏡,使【SUM】值最大;將基座左側的模式選擇鍵打到【TMAFM】上,此時基座前面左上角的指示燈顯示紅色;調整Head上部的兩個四象限旋鈕,使基座前面LCD顯示屏上的【VERT】顯示為0,【HORZ】顯示為0。注意:偏差都要小于也.
10、5,盡量接近于0。1. 六、尋峰(CantileverTune)點擊軟件左側的【Setup】;選擇【Manualtune】;進入界面后輸入【StartFrequency】和【EndFrequency(輸入值為所選用探針的探針盒上的參數f0的范圍);單擊【AutoTune】選項,等待找到共振峰后點擊【ZeroPhase】;點擊【Exit】退出tuning界面七、初始化掃描參數將【ScanSize設置為0;將【ScanAngle】設置為0;將【Xoffset】和【Yoffset】設置為0。點擊左側的【Engage】,等待探針到達樣品表面。當聽到“滴”的一聲并且電腦屏幕下方顯示Tip:theenga
11、ged,表示進針完畢。八、優(yōu)化掃描參數設置合適的掃描范圍,觀察Chanel1(DataType:Height)中Trace和Retrace兩條曲線的重合情況;減小【AmplitudeSetpoint】直到兩條掃描線基本反映同樣的形貌特征;優(yōu)化【Integralgain】和【Proportionalgain】。為了使增益與樣品表面的狀態(tài)相符,一般的調節(jié)方法為:直接增大【Integralgain,使反饋曲線開始震蕩,然后減小【Integralgain直到震蕩消失,接下來用相同的辦法來調節(jié)【Proportionalgain】。通過調節(jié)增益來使兩條掃描線基本重合并且沒有很劇烈的震蕩為止;此時amplitudeerror通道值最小。調節(jié)【Scanrate】(掃描速率)。隨著【Scansize】(掃描范圍)的增大,掃描速率須相應降低。最大分辨率是1024,最小分辨率是128,但是通常選擇256或512。注意:選擇范圍是要從大逐步縮減到小范圍,不要動作過大,以免使掃描管由于劇烈變化而失靈。掃描范圍:J管:125um*125um*5um;E管:10um*10um*2.5um。每次調節(jié)【AmplitudeSetpoint】要小于20mV,每次調節(jié)【Integralgain】要小于0.2,不要超過2。1. 九:保存圖像點擊軟件中Capture菜單中【Capture存圖,【Capturefi
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