超純水系統(tǒng)工藝流程圖_第1頁
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文檔簡介

1、圖3常用的一級(jí)RO-+2級(jí)EDI+MB電子I級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度高，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率高（小于lOOOs/cm）,要求產(chǎn)水電阻率18cm的超純水系統(tǒng)圖4常用的一級(jí)ROE級(jí)EDI電子H級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度高，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率（小于1000ws/cm）,要求產(chǎn)水電阻率1518MQcm的超純水系統(tǒng)自來水進(jìn)水快速過濾器TPT原水箱原水泵超濾裝置紫外線殺菌燈甲L%、ZV用水點(diǎn)0.1um過濾器不合格儲(chǔ)Fk.濃水回流或排放拋光混床超純水泵氮封超純水箱符號(hào)說明:電磁閥球閥3T反洗排放水純水出口調(diào)壓閥極水排放二級(jí)EDI膜堆Pc止回閥化學(xué)計(jì)量泵0.2um過濾器純水泵循環(huán)泵空器

2、純水箱不合格排放壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表流變控制開關(guān)圖5常用的一級(jí)ROE級(jí)EDI電子+MB電子I級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度低，有機(jī)物含量低，電導(dǎo)率高（小于1000（is/cm）,要求產(chǎn)水電阻率18-cm的超純水系統(tǒng)圖6常用的一級(jí)ROE級(jí)EDI電子H級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度低，有機(jī)物含量低，電導(dǎo)率高（小于1000ws/cm）,要求產(chǎn)水電阻率1518MDcm的超純水系統(tǒng)圖7是常用的一級(jí)EDI全系統(tǒng)組成圖。圖7常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級(jí)ROh級(jí)EDI+MB電子I級(jí)超純水系統(tǒng)組成圖適合于源水硬度低，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率1000s/cm,即TDS500Ppm時(shí)，要求產(chǎn)水電阻率18-cm的純水系統(tǒng)圖8常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級(jí)RO1級(jí)EDI電子H級(jí)超純水系統(tǒng)組成圖適合于源水硬度低，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率1000

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