掃描電鏡實驗報告

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上實驗報告學院： 專業(yè)： 班級：姓名學號實驗組實驗時間10/5/12指導教師成績實驗項目名稱掃描電鏡實驗目的1） 結(jié)合掃描電鏡實物，介紹其基本結(jié)構(gòu)和工作原理，加深對掃描電鏡結(jié)構(gòu)及原理的了解。2） 選用合適的樣品，通過對樣品形貌襯度和原子序數(shù)襯度的觀察，了解掃描電鏡圖像襯度原理及其應用。實驗要求1） 簡述掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)及特點。2） 舉例說明掃描電鏡表明形貌襯度和原子序數(shù)襯度的應用。實驗原理在掃描電鏡中，成象的信息主要是電子信息，根據(jù)近代的電子工業(yè)技術(shù)水平，即使高速變化的電子信息，也能毫不困難的及時接收、處理和儲存，故可進行一些動態(tài)過程的觀察，如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷

2、卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以通過電視裝置，觀察相變、斷烈等動態(tài)的變化過程。用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實的試樣表面資料。掃描電鏡主要有真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。系統(tǒng)主要包括和真空柱兩部分。電子束系統(tǒng)由和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。電磁透鏡：熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來成束，所以在用熱發(fā)射電子槍的掃描電鏡上，電磁透鏡必不可少。通常會裝配兩組：匯聚透鏡、物鏡（物鏡為真空柱中最下方的一個電磁透鏡，它負責將電子束的焦點匯聚到樣品表）。電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產(chǎn)生次級電子、背散射電子、歐

3、革電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如次級電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號以獲得所需要的信息。工作原理：右圖是掃描電鏡的原理示意圖。由最上邊電子槍發(fā)射出來的電子束，經(jīng)柵極聚 掃描電鏡原理示意圖焦后，在加速電壓作用下，經(jīng)過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統(tǒng)，電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，結(jié)果產(chǎn)生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應，也就是說，電子束打到樣品上一點時，在上就出現(xiàn)一個亮點。掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。實驗儀器電子掃描顯微鏡、試樣、導電膠實驗步驟一、 制作好試樣、打開電子掃描電鏡二、 用導電膠固定試樣在載物臺上三、 放好試樣后，抽真空，調(diào)整試樣的距離、掃描的襯度和最佳倍數(shù)四、 選擇不同倍數(shù)，照像實驗數(shù)據(jù)實驗總結(jié)可以不同程度的看到試樣的外觀形貌和表面組織，對斷裂的不同區(qū)域可以看清楚。纖維區(qū)、放射區(qū)、瞬斷區(qū)三個區(qū)域中，放射區(qū)占得