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1、叉指電極引發(fā)的思考Ydeng2013-03-12叉指狀的出現(xiàn)叉指狀的出現(xiàn)IDT叉指換能器(構(gòu)成SAW最基本的單元)聲表濾波器的作用是將射頻訊號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波訊號(hào),經(jīng)過(guò)一段距離傳遞之后,再將接收之聲波訊號(hào)轉(zhuǎn)換成所需的射頻訊號(hào)。SAW是SURFACE ACOUSTIC WAVE(聲表面波)的簡(jiǎn)稱,聲表面波器件是利用聲表面波對(duì)電信號(hào)進(jìn)行模擬處理的器件,其頻率范圍約在107109赫。產(chǎn)生表面聲波最簡(jiǎn)單的方式,就是利用叉能換能器,來(lái)直接激發(fā)表面聲波,基本上,叉指換能器分為輸入及輸出兩個(gè)部份,它們是一層厚度約2000 至3500 的鋁薄膜,經(jīng)由光蝕刻技術(shù)成型在壓電單晶材料之基板表面。當(dāng)一個(gè)訊號(hào)電壓外加到輸入換
2、能器的正負(fù)電極上時(shí),在每對(duì)叉指之間就會(huì)建立電場(chǎng),壓電基板表面一受到電聲的作用,便產(chǎn)生同步耦合之上下振動(dòng),而激發(fā)出表面聲波,當(dāng)同極叉指間的距離等于表面聲波波長(zhǎng)時(shí),所激發(fā)的聲面表效率最大,一般常用的壓電基板材料有石英,鉭酸鋰,及鈮酸鋰等。NATURE COMMUNICATIONS | 3:763 | DoI: 10.1038/ncomms1767 | Chem. Sci., 2013, 4, 16631667 | 1663叉指電極引入叉指電極引入超級(jí)電容器超級(jí)電容器SAW器件或其中的IDT引入NG,將使此領(lǐng)域翻向又一篇章! Ydeng 2013-03-12 NG的結(jié)合方式:成為源;和SAW材料間組合。 叉指型電極除做IDT外,作為電極都是應(yīng)用到微加工中,一定還有個(gè)作用,是啥? 有必要開(kāi)展微加工方面的研究。(IDT微加工)半導(dǎo)體集成電路微加工工藝步驟 聲表濾波器的作用是將射頻訊號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波訊號(hào),經(jīng)過(guò)一距離傳遞之后,再將接收的之聲波訊中與轉(zhuǎn)換成所需要的射頻訊號(hào),通常下列參數(shù)均可決定SAW 元件的特性,包括:指狀電極圖形與數(shù)目,柵狀電極圖形與數(shù)目,金
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