掃描拍照操作過程

1、掃描拍照操作過程1、 接通電源，打開電鏡主機(jī)上的開關(guān)（開關(guān)有三個檔，第一檔為關(guān)閉，第二檔開啟，第三檔為啟動）啟動的時候把鑰匙放在第三檔大約兩秒鐘松手，電鏡啟動，鑰匙自動回到第二檔（回到第二檔的原因是防止突然斷電，又突然來電）。2、 打開電腦。3、 打開電腦桌面上的電鏡操作軟件（打開軟件電鏡真空泵會自動工作，開始抽電子槍與樣品室內(nèi)的空氣。此時軟件上的“HT”為灰色，真空抽完之后，“HT”會變成藍(lán)色）4、 點操作界面的Sample，選擇“Vent”（此時電鏡主機(jī)上的“放氣”指示燈開始閃爍，停止閃爍為工作完成），調(diào)正“Staqe”中的“Z”軸為40mm以上（“Z”軸最大位置為80mm），打開樣品室，

2、取出樣品臺（注意：在取樣品臺時手不得接觸二次電子探頭和背散射探頭），固定樣品（樣品要確保良好的導(dǎo)電性），完成后再抽真空，點擊Sample中的“Evac”，真空泵開始工作，當(dāng)“HT”變?yōu)樗{(lán)色，抽真空完成。5、 確定工作電壓與工作距離（工作電壓“Acc.volt”一般為30KV，工作距離“WD”一般為10mm，束斑Spotsize一般為30，工作模式Signal：二次電子SEI和背散射BEW，真空模式Vac.mode：HV和LV）在確定工作電壓和工作距離時，不用看原來的數(shù)值是多少都要重新指定。6、 點擊“HT”打開高壓，“HT”變?yōu)榫G色。7、 打開“Staqe”通過調(diào)正“X、Y、T、R”四個軸向找

3、到樣品的位置，再調(diào)正“Z”軸確定樣品臺的位置（注意：在確定工作位置的時候要確定樣品的高度。如：樣品為2mm，那么Z軸的數(shù)值應(yīng)調(diào)正為15mm），放大樣品到模糊看不清的倍數(shù)，通過對“Z”軸的上、下位置調(diào)正樣品為最清淅的位置，再放大樣品到模糊看不清的倍數(shù)，再用同樣的方法調(diào)正到最清淅的位置。8、 點擊“Vlew”使放大倍數(shù)回到30X，9、 先放大到一個合適選擇最佳拍照位置的倍數(shù)，選擇一個最佳的拍照位置（樣品表面盡量平整）10、 旋轉(zhuǎn)操作臺上的放大旋鈕到樣品合適的放大倍數(shù)（此數(shù)值的確定跟據(jù)樣品的不同而不同），氧化鋅的適合放大倍數(shù)為15000X，軟件上操作窗口的Soan2為被選擇狀態(tài)。11、 左右旋轉(zhuǎn)操作

4、臺上的聚焦旋鈕，使圖像到最清楚的聚焦?fàn)顟B(tài)。12、 點擊軟件上操作窗口的Soan1，此時在觀查窗口中會出現(xiàn)一個新窗口，此窗口中的圖像同樣是放大15000倍的圖數(shù)（消像散調(diào)正的原側(cè)是高倍調(diào)正，低倍拍照）在新的窗口中把圖像放大到30000X（消像散放大的倍數(shù)最少是拍照倍數(shù)的2倍）。13、 按操作臺上的消像散與對比度和亮度的切換按鈕，切換到消像散的位置。14、 通過旋轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)正X、Y軸上的像散（先調(diào)一個向方再調(diào)另一個方向），使圖像調(diào)正為X、Y都是最清楚的位置。如像散無法調(diào)正到最清楚的位置，是因為像散已經(jīng)調(diào)亂了，此時可以點軟件上操作窗口的“Rest”按鈕恢復(fù)到開始的位置重新校正。校正完畢后把新窗口中的圖

5、像回到拍照放大倍數(shù)。再進(jìn)行聚焦調(diào)正（此時是微調(diào)）。15、 按操作臺上的消像散與對比度和亮度的切換按鈕，切換到對比度與亮度調(diào)正位置。16、 點擊軟件上操作窗口的Soan3，大約10秒鐘觀查窗口出現(xiàn)掃描圖像，在此圖像中調(diào)正對比度與亮度。如果需要觀察某一個亮度下的圖像，可以就擊操作窗口上的：Sanp1、或Sanp2 。（對比度與亮度的最佳狀態(tài)為突起的位置不刺眼，凹的位置不能太暗看不清）。17、 點擊軟件上操作窗口的Soan4 。80秒后圖像處理完畢。18、 點擊圖像上向的“Save”保存圖像。（在保存圖像的時候可以選擇圖像顯示信息和不顯示）更換燈絲及槍對中操作一、更換燈絲：1、 點操作界面的Samp

6、le，選擇“Vent”（此時電鏡主機(jī)上的“放氣”指示燈開始閃爍，停止閃爍為工作完成）2、 取下燈座外面的帽子，打開燈座。3、 用專用工具套上山級帽，用螺絲刀螺緊專用工具外面的螺絲（用力不要太大）。4、 用力向外拔出山級帽（注意：在放置山級帽的時候要輕拿輕放）5、 用螺絲刀螺松山級帽上的螺釘。6、 取出舊燈絲。7、 用棉簽帶金屬拋光膏擦拭山級帽內(nèi)部。8、 更換新燈絲（注意：更換時要注意燈絲的正負(fù)級，在山級帽的內(nèi)側(cè)有一個突起，燈絲座有一個凹，在裝入燈絲的時候一定要小心，不能使燈絲與其它物質(zhì)發(fā)生碰撞）9、 固定山級帽上的螺釘。10、 將山級帽安裝到燈座上。11、 蓋上燈座帽。12、 點擊Sample中的“Evac”，真空泵開始工作，當(dāng)“HT”變?yōu)樗{(lán)色，抽真空完成。二、槍對中1、點擊操作窗口上的“Gun”，打開槍對中操作界面。2、點擊槍對中操作界面上的“AUTO”（全自動調(diào)整）3、調(diào)整完畢后，再調(diào)整燈