AOI原理簡介PPT課件

1、2021/3/91 AOI 掃描設(shè)備培訓(xùn) 2010/1/122021/3/92一、培訓(xùn)的目的和目標二、培訓(xùn)的內(nèi)容三培訓(xùn)后考核問題目錄2021/3/93第一篇原理機器以高亮度鹵素?zé)糇鳛楣庠?銅箔基材光源從上面以不同角度照射到板子上,銅面與基材產(chǎn)生不同的反光強度CCD Camera 將以上的光強分布紀錄下來,形成明暗圖像.即灰度圖如下圖2021/3/94灰度圖灰度圖機器將反光強度定義在0255之間,即全黑的反光強度為0,全白的反光強度為255.如果想讓計算機知道不同的材質(zhì),必須給計算機設(shè)定一分界線即灰階值(Threshold).機器將大於灰階值的設(shè)為全白255,小於反光強度02552021/3/9

2、5灰階值的設(shè)為全黑0,形成明暗相間的黑白圖像.0255Threshold0255這樣的灰階值,機器總共設(shè)定了三個灰階值.分別為TH max TH TH min2021/3/96由由CCD 產(chǎn)生的產(chǎn)生的灰度圖灰度圖板子實際看板子實際看起來的的形起來的的形狀狀經(jīng)過灰階值篩選經(jīng)過灰階值篩選後的黑白圖像後的黑白圖像2021/3/97222Fine pinholeB/W (bit map)333Fine shortB/W (bit map)Other AOI without MTSGray-levelTHTH maxTH max: 偵測小的針孔偵測小的針孔 缺口等缺口等TH: 偵測比較大的特征偵測比較大

3、的特征TH min: 偵測偵測Fine short 凸銅凸銅TH min0255111Copper444Laminate4Gray levelAOI with MTS為伸麼要定義三個灰階值呢?定義三個灰階值有伸麼好處?2021/3/98 從上圖中我們可以得到兩個非常重要的信 息:n要想穩(wěn)定抓到小針孔,不能將TH max 值調(diào)的太小1.要想穩(wěn)定抓到 fine short 和 凸銅,不能將TH min 值調(diào)的太高2021/3/99第二篇 邏輯篇 AOI邏輯包括兩部份:1. Type2. Rule2021/3/910第一節(jié)Type Type規(guī)定了使用的算法和算法的銘感度并通過這些算法產(chǎn)生信息進而抓缺

4、點.常用的算法包括: L T NICK CUT Open PH CMTS2021/3/911L 的形狀及作用L 的主要作用是偵測 Open Short Protrusion Nick2021/3/912ProtrusionNickShort and OpenL 生成信息的方式2021/3/913T 的形狀及作用T 的主要作用是偵測;Short Open2021/3/914ShortOpenT 生成信息的方式2021/3/915Cut 的形狀及作用CUT 的主要作用是偵測 :線寬跟線距變小的缺陷2021/3/916Space Reduction 線寬減小線距減小線寬減小CUT 生成信息的方式20

5、21/3/917Open 的形狀及作用Open 的主要作用是偵測:Open Short2021/3/918Open “White” (15 pixels) OpenShortOpen 產(chǎn)生信息的方式2021/3/919PH 的形狀及作用PH的主要作用是偵測: 針孔 殘銅2021/3/920針孔殘銅PH 產(chǎn)生信息的方式2021/3/921CMTS 的形狀及作用 CMTS全稱為 Camtek Morphologic Trace System)下面是CMTS 的形狀.Find all on laminateFind all defects2021/3/922從上圖中可以看到,CMTS沒有固定的形狀.

6、隨Cam 資料的形狀變化而變化,其實質(zhì)是圖形比較. 理論上可以抓取任何缺點.也是前面幾中算法的重要補充.有其他算法不可替代的功能.2021/3/923第二節(jié)Rule Rule 規(guī)定了機器報出缺點的原則. 首先 AOI先將Cam 資料進行學(xué)習(xí),將 Type 中規(guī)定的算法往Cam 資料上擺放,如能擺放下就會產(chǎn)生原稿信息(Reference Message),顯示為黃色小方塊 如下圖:2021/3/9242021/3/925 其次 ,AOI 在掃描中過程中將Type 中規(guī)定的算法擺放到掃描板子所產(chǎn)生的黑白圖像中.如果能擺放下就產(chǎn)生掃描信息(Inspection Message ) 顏色為藍色. 有了

7、 Reference Message 和 Insepection Message, 機器按照Rule 原則比對.如果比對無誤認為不是缺點.反之則認為是缺點并報出. 下圖為Rule的一種規(guī)則.2021/3/9262021/3/927 從上圖中我們可以看到在Rule 中規(guī)定了多種規(guī)則.這裡不一一列舉. 在這裡特別介紹一下CMTS.首先在Rule 中可以看到,在比對中必須要有Inspection Message 但是如果是下面的缺點呢?2021/3/928實際板子圖形原稿資料從上面圖片中我們可以看到,在實際的圖形中根本放不下任何 L T 等算法.根據(jù)Rule 規(guī)則當(dāng)然也就抓不到缺點.缺點就會漏失掉.

8、2021/3/929實際板子原稿資料填孔後關(guān)於鐳射孔的問題從圖片中可以看到,在鐳射孔處資料與板子的情況相反.雖然可以在做資料時可以將鐳射孔刪除,但是鐳射孔處的反光較差(見下圖),會產(chǎn)生大量假點.為消除假點,我們會填孔,其實質(zhì)是在鐳射孔處Mask,這樣就是鐳射孔的所有缺陷都不會查.2021/3/930選取灰階值後的黑白圖像機器綜合處理後的圖像綠色部份為掃描圖像與原稿資料重合區(qū)域.2021/3/931第三篇假點及對策篇 假點對AOI的影響非常大,主要表現(xiàn)在兩方面: 第一 假點會嚴重影響AOI的產(chǎn)能 第二 假點會影響AOI的良率 常見的假點主要有四種:2021/3/932第一種 Cam 與板子不符實

9、際板子原稿資料針對這種假點,只有Mask,但Mask 時,容易Mask 區(qū)域偏大,是該處的short 被Mask 掉,最好製前重新修改資料2021/3/933實際板子原稿資料針對這種缺點,只有Mask2021/3/934實際板子原稿資料針對這種假點,只有Mask2021/3/935第二種 SES 蝕刻補償不當(dāng)實際板子圖形原稿資料可以將低線寬,但會造成缺口漏檢, 建議是Mask ,最好修改資料或補償值2021/3/936實際板子原稿資料臨時措施Mask ,最好製前修改資料2021/3/937實際板子機器處理後的黑白圖像針對這種假點,AOI 臨時措施為:Mask或提昇灰階值並將低線距.2021/3/938實際板子機器處理後的黑白圖像原稿資料這對這種假點,AOI只有提昇灰階值,將低線距,並將低CUT的銘感度.這些都會將低對Fine short 的偵測力.2021/3/939第三種 機器參數(shù)設(shè)定不當(dāng) 實際板子Crpt 處理後資料針對這種假點,臨時措施Longrelearn.永久措施Crpt 重新處理資料(參數(shù)已修改,重新處理後無此類現(xiàn)象,如處理還有請製前傳底片資料)2021/3/940第