四探針法高溫電阻率測試系統(tǒng)

1、四探針法高溫電阻率測試系統(tǒng)一、 概述：采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置專用的高溫測試探針治具，滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求，通過先進的測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。二、 適用行業(yè)：廣泛用于：生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).三、 功能介紹：液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測

2、量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運輸安全、使用方便；配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進

3、行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。四、 技術(shù)參數(shù)資料1.方塊電阻范圍：10-52×105/2.電阻率范圍：10-5×106cm3.測試電流范圍：0.1A ，1A，10A，100µA，1mA，10mA，100 mA4.電流精度：±0.1%讀數(shù)5.電阻精度：0.3%6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率7.測試方式: 雙電測量8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W9.整機不確定性誤差: 4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）10. 最高溫度： 1200可調(diào)節(jié)；沖溫值：1-3；控溫精度：±1°C11、升溫速度：9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900；功率：3kw.12、爐膛材料：采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征。13.專用測試PC軟件一套，