特殊熱處理技術(shù)24學(xué)時-1

1、特殊熱處理技術(shù)特殊熱處理技術(shù)碩士研究生專業(yè)基礎(chǔ)課碩士研究生專業(yè)基礎(chǔ)課2現(xiàn)代熱處理技術(shù)概況現(xiàn)代熱處理技術(shù)概況v主要現(xiàn)代熱處理技術(shù)主要現(xiàn)代熱處理技術(shù)v熱處理冷卻技術(shù)進(jìn)展熱處理冷卻技術(shù)進(jìn)展v未來熱處理的發(fā)展點未來熱處理的發(fā)展點3主要現(xiàn)代熱處理技術(shù)主要現(xiàn)代熱處理技術(shù)v真空熱處理的發(fā)展真空熱處理的發(fā)展v可控氣氛熱處理的發(fā)展及重要方面可控氣氛熱處理的發(fā)展及重要方面v計算機(jī)熱處理控制技術(shù)計算機(jī)熱處理控制技術(shù)v感應(yīng)熱處理及表面熱處理感應(yīng)熱處理及表面熱處理可控氣氛熱處理主要發(fā)展可控氣氛熱處理主要發(fā)展v制備氣氛的氣源制備氣氛的氣源v能源消耗能源消耗v爐溫及氣氛的均勻性爐溫及氣氛的均勻性v設(shè)備可靠性設(shè)備可靠性v高溫

2、滲碳及碳氮高溫滲碳及碳氮45熱處理冷卻技術(shù)進(jìn)展熱處理冷卻技術(shù)進(jìn)展v熱處理產(chǎn)生的應(yīng)力熱處理產(chǎn)生的應(yīng)力熱應(yīng)力及相變應(yīng)力熱應(yīng)力及相變應(yīng)力v冷卻介質(zhì)的應(yīng)用發(fā)展冷卻介質(zhì)的應(yīng)用發(fā)展液體介質(zhì)液體介質(zhì)氣體介質(zhì)氣體介質(zhì)氣液混合介質(zhì)氣液混合介質(zhì)6未來熱處理技術(shù)的發(fā)展點未來熱處理技術(shù)的發(fā)展點v氣氛和真空熱處理動向氣氛和真空熱處理動向v精密熱處理技術(shù)精密熱處理技術(shù)v節(jié)能熱處理技術(shù)節(jié)能熱處理技術(shù)v復(fù)合熱處理技術(shù)復(fù)合熱處理技術(shù)v修復(fù)熱處理技術(shù)修復(fù)熱處理技術(shù)v流態(tài)床熱處理技術(shù)流態(tài)床熱處理技術(shù)7特殊熱處理技術(shù)特殊熱處理技術(shù)v真空熱處理真空熱處理 （1618課時）課時）v特殊氣氛熱處理特殊氣氛熱處理 （24課時）課時）v有色金

3、屬熱處理有色金屬熱處理 （24課時）課時）真空熱處理技術(shù)真空熱處理技術(shù) 原理原理9真空熱處理的發(fā)展（真空熱處理的發(fā)展（1）v 50年代末年代末-70年代末年代末v 需求動力：需求動力： 隨著航空工業(yè)的發(fā)展隨著航空工業(yè)的發(fā)展,要求零部件具有高精度、高質(zhì)量和可要求零部件具有高精度、高質(zhì)量和可靠性靠性,一般傳統(tǒng)熱處理已不能滿足要求一般傳統(tǒng)熱處理已不能滿足要求, 發(fā)展真空熱處理。發(fā)展真空熱處理。v 主要特點：主要特點： 主要有低壓真空氣淬、真空油淬、真空退火等主要有低壓真空氣淬、真空油淬、真空退火等, 廣泛用于多廣泛用于多種材料和零件的熱處理。真空爐均為冷壁單室真空爐。種材料和零件的熱處理。真空爐均為

4、冷壁單室真空爐。v 典型成果典型成果: 低壓真空氣冷爐低壓真空氣冷爐(如美國易卜生公司的如美國易卜生公司的VFC型型)、真空油淬爐、真空油淬爐、真空退火爐等。真空退火爐等。10真空熱處理的發(fā)展（真空熱處理的發(fā)展（2）v 80年代初年代初-至今至今v 需求動力：航空和航天工業(yè)迅速發(fā)展需求動力：航空和航天工業(yè)迅速發(fā)展,對各種零件如齒輪、對各種零件如齒輪、軸等提出更高的要求軸等提出更高的要求,真空滲碳工藝應(yīng)運(yùn)而生。真空淬火介真空滲碳工藝應(yīng)運(yùn)而生。真空淬火介質(zhì)和高壓氣體的發(fā)展質(zhì)和高壓氣體的發(fā)展,促進(jìn)了真空氣淬工藝發(fā)展。促進(jìn)了真空氣淬工藝發(fā)展。v 主要特點：主要特點： 發(fā)展了真空化學(xué)熱處理和真空氣淬熱處

5、理。真發(fā)展了真空化學(xué)熱處理和真空氣淬熱處理。真空化學(xué)熱處理達(dá)到了實用水平。真空氣淬工藝受到重視空化學(xué)熱處理達(dá)到了實用水平。真空氣淬工藝受到重視,相相繼研制出了一些新爐型。真空氣淬工藝?yán)鋮s速度快。繼研制出了一些新爐型。真空氣淬工藝?yán)鋮s速度快。v 典型成果：典型成果： 高壓真空氣淬爐高壓真空氣淬爐:美國美國Abar-Ipsen公司的公司的VTTC型、型、CTL型型,德國德國Degussa公司的公司的VKSQ型型; 高流率氣淬爐高流率氣淬爐:美國美國Abar-Ipsen公司的公司的HFQ型、型、VTL型和型和Turbo-Treater型型; 高壓高流率氣淬爐高壓高流率氣淬爐:美國美國Abar-Ips

6、en公司的公司的Turbo-Treater型型。 11真空熱處理原理真空熱處理原理v真空的基礎(chǔ)知識真空的基礎(chǔ)知識v低壓下的氣體低壓下的氣體v真空的獲得與度量真空的獲得與度量v真空系統(tǒng)及設(shè)計簡介真空系統(tǒng)及設(shè)計簡介12真空基礎(chǔ)知識真空基礎(chǔ)知識v真空的概念真空的概念v真空的度量單位真空的度量單位v真空區(qū)域的劃分真空區(qū)域的劃分v真空是熱處理的一種氣氛真空是熱處理的一種氣氛v真空熱處理爐中殘存的氣體成分真空熱處理爐中殘存的氣體成分13真空簡介真空簡介v絕對真空：絕對真空： 完全不存在氣體和蒸汽分子的空間。完全不存在氣體和蒸汽分子的空間。v工程真空：存在一定量的氣體或蒸汽、低于工程真空：存在一定量的氣體或

7、蒸汽、低于一個大氣壓的稀薄氣體狀態(tài)。一個大氣壓的稀薄氣體狀態(tài)。 14真空度單位及區(qū)域的劃分真空度單位及區(qū)域的劃分v 真空度：真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度。真空度：真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度。v 以真空容器中殘存的氣體的絕對壓力來定量以真空容器中殘存的氣體的絕對壓力來定量表示真空度的高低。表示真空度的高低。v 區(qū)域的劃分（區(qū)域的劃分（Pa）：）：v低真空：低真空：105102v中真空：中真空：10210-1 v高真空：高真空：10-110-51.超高真空：超高真空：66.7Pacm or /d1.995Pacm or /d1/3v粘滯粘滯-分子流分子流v流量、流導(dǎo)和流阻流量、流導(dǎo)和流阻Q=c(p1-p

8、2); R=1/c圓斷面長導(dǎo)管的流導(dǎo)圓斷面長導(dǎo)管的流導(dǎo)管道并聯(lián)與串聯(lián)時的總流導(dǎo)管道并聯(lián)與串聯(lián)時的總流導(dǎo)Da粘滯態(tài)層流粘滯態(tài)層流分子態(tài)流動分子態(tài)流動37真空的獲得真空的獲得v真空是由真空泵及其他真空元件、真空管路構(gòu)成真空是由真空泵及其他真空元件、真空管路構(gòu)成的泵送系統(tǒng)獲得的。的泵送系統(tǒng)獲得的。v泵的性能參數(shù)：泵的性能參數(shù)： 抽氣速率抽氣速率s，氣體流量，氣體流量Q，極限真空；，極限真空；v泵的分類泵的分類v 變?nèi)荼妙?；變?nèi)荼妙悾?. 蒸汽流泵。蒸汽流泵。38旋片式真空泵旋片式真空泵旋片式真空泵工作過程旋片式真空泵工作過程旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵工作原理39旋片式真空泵旋片式真空泵40羅茨

9、泵羅茨泵41擴(kuò)散泵擴(kuò)散泵擴(kuò)散真空泵工作原理擴(kuò)散真空泵工作原理多級噴嘴擴(kuò)散真空泵工作原理多級噴嘴擴(kuò)散真空泵工作原理42真空的度量真空的度量v 以真空規(guī)或真空計度量以真空規(guī)或真空計度量v利用氣體壓力進(jìn)行度量：機(jī)械力式、液柱利用氣體壓力進(jìn)行度量：機(jī)械力式、液柱式、壓縮式式、壓縮式;v據(jù)熱傳導(dǎo)原理設(shè)計據(jù)熱傳導(dǎo)原理設(shè)計;v放射能電離真空計；放射能電離真空計；v熱陰極電離真空計；熱陰極電離真空計；1.復(fù)合真空計。復(fù)合真空計。43真空計工作范圍真空計工作范圍1200652994911643.pdf44利用氣體壓力度量的真空計利用氣體壓力度量的真空計v 靜靜態(tài)變形（態(tài)變形（BourdonBourdon）真空計

10、）真空計v 截面為橢圓形的薄壁金屬彎管，一端封閉，另一截面為橢圓形的薄壁金屬彎管，一端封閉，另一端與真空室相通，當(dāng)管內(nèi)壓強(qiáng)變化時，該彎管在端與真空室相通，當(dāng)管內(nèi)壓強(qiáng)變化時，該彎管在內(nèi)外壓強(qiáng)差作用下發(fā)生彈性變形，這一變形傳送內(nèi)外壓強(qiáng)差作用下發(fā)生彈性變形，這一變形傳送給指示器，由刻度讀出。如指針式壓力真空表，給指示器，由刻度讀出。如指針式壓力真空表，這一類真空計適用于測量粗真空。這一類真空計適用于測量粗真空。v 靜態(tài)液體真空計靜態(tài)液體真空計v 如所示，也稱如所示，也稱“U”形管壓差計，它一端通大氣，形管壓差計，它一端通大氣，一端通真空系統(tǒng)，利用兩管液面（如擴(kuò)散泵油等）一端通真空系統(tǒng)，利用兩管液面（

11、如擴(kuò)散泵油等）高度差表示系統(tǒng)的壓強(qiáng)。若用汞高度差表示系統(tǒng)的壓強(qiáng)。若用汞 0 - - h (毫毫米汞氣壓柱米汞氣壓柱), 0為大氣壓強(qiáng)；若用低蒸汽壓油，為大氣壓強(qiáng)；若用低蒸汽壓油，則則: 0 ( 油油/ 汞汞 ） h，油、油、汞汞分別為分別為油和汞的密度。油和汞的密度。45壓縮式真空計壓縮式真空計v 壓縮式真空計壓縮式真空計麥克勞壓強(qiáng)計麥克勞壓強(qiáng)計v A、B 兩部分在兩部分在N 處連通，當(dāng)水銀杯處連通，當(dāng)水銀杯R升高，水銀升高，水銀上升越過刻線上升越過刻線N 后，原后，原B、C中的氣體全被壓入測中的氣體全被壓入測量毛細(xì)管量毛細(xì)管C中。在壓縮過程中氣體溫度可視為不變；中。在壓縮過程中氣體溫度可視為

12、不變；又又A、D 部分和真空系統(tǒng)連通，系統(tǒng)容積遠(yuǎn)大于部分和真空系統(tǒng)連通，系統(tǒng)容積遠(yuǎn)大于A、D 部分，故壓縮時可認(rèn)為系統(tǒng)內(nèi)壓強(qiáng)不變。部分，故壓縮時可認(rèn)為系統(tǒng)內(nèi)壓強(qiáng)不變。A、D；B、C兩部分氣體的壓強(qiáng)差可由毛細(xì)管兩部分氣體的壓強(qiáng)差可由毛細(xì)管C、D 水銀水銀柱的高度差柱的高度差h表示。以表示。以V表示表示N 以上以上BC 的總體積，的總體積，VC為為C 管中壓縮后氣體的體積，管中壓縮后氣體的體積，v 根據(jù)玻義耳定律根據(jù)玻義耳定律PV ( P h ) Vc則則P Vc/ (V-Vc)h因因VcV故近似可得到故近似可得到PhVc /V 這樣這樣就把壓強(qiáng)轉(zhuǎn)化為毛細(xì)管水銀柱高度差，由于待測壓就把壓強(qiáng)轉(zhuǎn)化為毛

13、細(xì)管水銀柱高度差，由于待測壓強(qiáng)只和儀器的體積和壓縮后水銀柱高度差有關(guān)，故強(qiáng)只和儀器的體積和壓縮后水銀柱高度差有關(guān)，故這種真空計是一種絕對真空計，可用它來校準(zhǔn)其它這種真空計是一種絕對真空計，可用它來校準(zhǔn)其它真空計。麥克勞壓強(qiáng)計測量范圍為真空計。麥克勞壓強(qiáng)計測量范圍為10 10 - - 6 mmHg，它的缺點是不能連續(xù)測量，使用水銀也，它的缺點是不能連續(xù)測量，使用水銀也帶來諸多不便。帶來諸多不便。麥克勞壓強(qiáng)計麥克勞壓強(qiáng)計46熱偶真空計熱偶真空計v 熱偶真空計使用的測壓元件為熱偶規(guī)。熱偶真空計使用的測壓元件為熱偶規(guī)。v 1-2 為加熱絲為加熱絲,3-4 為熱電偶，留有管口與為熱電偶，留有管口與真空系

14、統(tǒng)相連接。加熱絲中通以恒定電流時，真空系統(tǒng)相連接。加熱絲中通以恒定電流時，其溫度取決于周圍的散熱條件。由于氣體熱其溫度取決于周圍的散熱條件。由于氣體熱導(dǎo)率隨壓強(qiáng)變化，所以熱絲的溫度也隨壓強(qiáng)導(dǎo)率隨壓強(qiáng)變化，所以熱絲的溫度也隨壓強(qiáng)而變，與加熱絲連接的熱電偶也將具有不同而變，與加熱絲連接的熱電偶也將具有不同的熱電勢，從而建立起規(guī)管內(nèi)壓強(qiáng)與熱電勢的熱電勢，從而建立起規(guī)管內(nèi)壓強(qiáng)與熱電勢之間的關(guān)系。經(jīng)校準(zhǔn)定標(biāo)后，就可通過測量之間的關(guān)系。經(jīng)校準(zhǔn)定標(biāo)后，就可通過測量熱電勢來指示測量的壓強(qiáng)值。熱電勢來指示測量的壓強(qiáng)值。v 熱偶真空計的測量范圍為熱偶真空計的測量范圍為20 10 - - 1 帕。帕。使用時必須按規(guī)

15、定調(diào)節(jié)到確定的加熱電流值。使用時必須按規(guī)定調(diào)節(jié)到確定的加熱電流值。熱偶真空計熱偶真空計47電阻式真空規(guī)電阻式真空規(guī)v 皮拉尼規(guī)利用電熱絲的電阻皮拉尼規(guī)利用電熱絲的電阻溫度特性和溫度隨壓強(qiáng)變化溫度特性和溫度隨壓強(qiáng)變化關(guān)系，將壓強(qiáng)變換為電阻測關(guān)系，將壓強(qiáng)變換為電阻測量。量。v 用電橋測出待測電阻。圖中用電橋測出待測電阻。圖中Rx 為電阻式規(guī)管，接入待為電阻式規(guī)管，接入待測真空系統(tǒng)。測真空系統(tǒng)。R為與為與Rx結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)相同的補(bǔ)償管，用來抵消環(huán)相同的補(bǔ)償管，用來抵消環(huán)境溫度的影響。境溫度的影響。Ro用于調(diào)用于調(diào)節(jié)零點，即調(diào)電橋平衡。節(jié)零點，即調(diào)電橋平衡。電阻式真空規(guī)電阻式真空規(guī)48冷陰極電離真空計冷陰極

16、電離真空計v 潘寧規(guī)潘寧規(guī) 1937 年潘寧（年潘寧（Penning）首先利用磁場和電場中的冷陰）首先利用磁場和電場中的冷陰極放電現(xiàn)象來測量低壓強(qiáng)。中間電極為陽極，加電壓極放電現(xiàn)象來測量低壓強(qiáng)。中間電極為陽極，加電壓2Kv，兩塊平行圓板為陰極。外加兩塊平行圓板為陰極。外加400 高斯的磁場，方向基本與高斯的磁場，方向基本與電場方向平行。電場方向平行。v 優(yōu)點：靈敏度高，沒有熱陰極，壽命長，結(jié)構(gòu)堅固，操作簡優(yōu)點：靈敏度高，沒有熱陰極，壽命長，結(jié)構(gòu)堅固，操作簡便，適于工業(yè)應(yīng)用。缺點：非線性，穩(wěn)定性較差，電極抽氣便，適于工業(yè)應(yīng)用。缺點：非線性，穩(wěn)定性較差，電極抽氣作用大，精度差，陰極要保持清潔，如被

17、油污染，將影響工作用大，精度差，陰極要保持清潔，如被油污染，將影響工作性能作性能v 量程：量程：1 10 - - 3 帕。帕。 。潘寧規(guī)潘寧規(guī)49潘寧規(guī)工作原理潘寧規(guī)工作原理v 由宇宙射線或場致發(fā)射所產(chǎn)生的初始電子在強(qiáng)電場和磁由宇宙射線或場致發(fā)射所產(chǎn)生的初始電子在強(qiáng)電場和磁場作用下，在兩片陰極之間作螺旋形運(yùn)動，不斷和氣體場作用下，在兩片陰極之間作螺旋形運(yùn)動，不斷和氣體分子碰撞并使其電離。電子與氣體分子經(jīng)過多次碰撞后，分子碰撞并使其電離。電子與氣體分子經(jīng)過多次碰撞后，再被陽極吸收；離子質(zhì)量大，基本上沿直線達(dá)到陰極上，再被陽極吸收；離子質(zhì)量大，基本上沿直線達(dá)到陰極上，并使陰極發(fā)射出二次電子。電離過

18、程中所產(chǎn)生的二次電并使陰極發(fā)射出二次電子。電離過程中所產(chǎn)生的二次電子和陰極發(fā)射的二次電子又參加到電離氣體分子的過程子和陰極發(fā)射的二次電子又參加到電離氣體分子的過程中來。如此不斷發(fā)展，建立起一定壓強(qiáng)下的自持放電。中來。如此不斷發(fā)展，建立起一定壓強(qiáng)下的自持放電。v 測量回路中的電流測量回路中的電流I為離子流為離子流I 和陰極二次電子流和陰極二次電子流Is 之和：之和：I I I s Cp n 式中：式中：C 為常數(shù)，為常數(shù)，n在在12 間（與電極結(jié)構(gòu)有關(guān)），間（與電極結(jié)構(gòu)有關(guān)），可看出潘寧規(guī)是非線性的?？煽闯雠藢幰?guī)是非線性的。潘寧規(guī)潘寧規(guī)50電離真空計電離真空計v 電離規(guī)電離規(guī) 陰極發(fā)射的電子在柵

19、極電場作用下得到加速和氣體分子陰極發(fā)射的電子在柵極電場作用下得到加速和氣體分子碰撞，并使它電離，正離子飛向帶負(fù)電位的收集極，離碰撞，并使它電離，正離子飛向帶負(fù)電位的收集極，離子流的大小和氣體壓強(qiáng)成正比。子流的大小和氣體壓強(qiáng)成正比。 I I e K P 式中式中I e 為規(guī)管工作時的陰極發(fā)射電流，為規(guī)管工作時的陰極發(fā)射電流，K 為規(guī)管常為規(guī)管常數(shù)，由規(guī)管幾何結(jié)構(gòu)和電極工作電位決定，在一定壓強(qiáng)數(shù)，由規(guī)管幾何結(jié)構(gòu)和電極工作電位決定，在一定壓強(qiáng)范圍內(nèi)，近似為常數(shù)，當(dāng)維持發(fā)射電流恒定時，離子流范圍內(nèi)，近似為常數(shù)，當(dāng)維持發(fā)射電流恒定時，離子流和壓強(qiáng)成線性關(guān)系。故每次使用時均要調(diào)節(jié)發(fā)射電流達(dá)和壓強(qiáng)成線性關(guān)系

20、。故每次使用時均要調(diào)節(jié)發(fā)射電流達(dá)到規(guī)定要求。到規(guī)定要求。v 一般電離真空計測量范圍為一般電離真空計測量范圍為10 - - 1 10 - - 5 帕，只有帕，只有系統(tǒng)真空度到達(dá)系統(tǒng)真空度到達(dá)10 - - 1 帕以后才能啟動電離規(guī)。電離帕以后才能啟動電離規(guī)。電離真空計使用中，要真空度達(dá)真空計使用中，要真空度達(dá)10 - - 2 帕以上對電極除氣。帕以上對電極除氣。v 為了使用方便，常把熱偶真空計和電離真空計組合成復(fù)為了使用方便，常把熱偶真空計和電離真空計組合成復(fù)合真空計。合真空計。電離規(guī)電離規(guī)51超高真空電離規(guī)超高真空電離規(guī)v 圓筒型電離規(guī)測量真空度的上限不可能低于圓筒型電離規(guī)測量真空度的上限不可能

21、低于5 10 - - 6 帕，因被加速的電子被柵極吸收后，會發(fā)射軟帕，因被加速的電子被柵極吸收后，會發(fā)射軟X 射線。射線。X 射線達(dá)到收集極上，產(chǎn)生光電效應(yīng)，故在收集極電路射線達(dá)到收集極上，產(chǎn)生光電效應(yīng)，故在收集極電路中形成與壓強(qiáng)無關(guān)的光電本底電流。中形成與壓強(qiáng)無關(guān)的光電本底電流。v 1950 年年Nottingham提出了上述解釋后，提出了上述解釋后，Bayard和和Albert提出了提出了B-A規(guī)的結(jié)構(gòu)，如圖所示。集電極采用規(guī)的結(jié)構(gòu)，如圖所示。集電極采用直徑為直徑為0.1mm的細(xì)鎢絲，置于柵極的中心，即管子的的細(xì)鎢絲，置于柵極的中心，即管子的中心軸，陰極在柵極外面，此結(jié)構(gòu)的特點是集電極面積

22、中心軸，陰極在柵極外面，此結(jié)構(gòu)的特點是集電極面積（也就是接受（也就是接受x 射線的面積）縮小約一千倍，從而使光射線的面積）縮小約一千倍，從而使光電流降低一千倍，電流降低一千倍，B-A規(guī)的測量范圍即可延伸到規(guī)的測量范圍即可延伸到10 - - 8 帕，同時集電極和柵極構(gòu)成圓柱形電場，使柵極空間帕，同時集電極和柵極構(gòu)成圓柱形電場，使柵極空間99的范圍內(nèi)電子能產(chǎn)生電離作用，因此盡管收集極的范圍內(nèi)電子能產(chǎn)生電離作用，因此盡管收集極面積減小一千倍，但靈敏度基本上和圓筒形電離規(guī)相近，面積減小一千倍，但靈敏度基本上和圓筒形電離規(guī)相近，且因所有電極都用細(xì)絲，易加熱除氣，適用于超高真空且因所有電極都用細(xì)絲，易加熱

23、除氣，適用于超高真空測量。測量。B-A 規(guī)規(guī)52真空熱處理爐的真空系統(tǒng)簡介真空熱處理爐的真空系統(tǒng)簡介v真空系統(tǒng)用一句話來概括就是：用來獲得有真空系統(tǒng)用一句話來概括就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng).v真空系統(tǒng)設(shè)計的基本內(nèi)容：是根據(jù)被抽容器真空系統(tǒng)設(shè)計的基本內(nèi)容：是根據(jù)被抽容器對真空度的要求，選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計對真空度的要求，選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計方案，進(jìn)行選、配泵計算；確定導(dǎo)管、閥門、方案，進(jìn)行選、配泵計算；確定導(dǎo)管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進(jìn)行合理配置，捕集器、真空測量元件等，進(jìn)行合理配置，最后最后畫畫出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。出真空系統(tǒng)裝配圖和

24、零部件圖。 53真空系統(tǒng)組成元件真空系統(tǒng)組成元件v較完善真空系統(tǒng)組成元件：較完善真空系統(tǒng)組成元件： 1抽氣設(shè)備：例如各種真空泵；抽氣設(shè)備：例如各種真空泵； 2真空閥門；真空閥門； 3連接管道；連接管道； 4真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規(guī)管；真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規(guī)管； 5其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。器規(guī)頭、儲氣罐等。 54真空系統(tǒng)簡圖真空系統(tǒng)簡圖v 當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后，通常當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨(dú)加上閥門，以便高真空泵能

25、單獨(dú)保持真空。如果所串聯(lián)的高真空保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴(kuò)散泵，為了防止大泵是一個油擴(kuò)散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器，量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器，通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個捕通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個捕集器集器水冷障板水冷障板( (如圖所示如圖所示) )。根據(jù)要求，還可以在管路中加上根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。的高真空系統(tǒng)。高真空系統(tǒng)簡圖高真空系統(tǒng)簡圖55真空系統(tǒng)材料真空系統(tǒng)材料v結(jié)構(gòu)材料

26、結(jié)構(gòu)材料金屬材料應(yīng)含氣少、易于除氣，組織致密，金屬材料應(yīng)含氣少、易于除氣，組織致密， 在工作溫度下的飽和蒸氣壓在工作溫度下的飽和蒸氣壓足夠低、不易氧化腐蝕、不與有機(jī)溶劑等發(fā)生作用、有較高的熱穩(wěn)定性、足夠低、不易氧化腐蝕、不與有機(jī)溶劑等發(fā)生作用、有較高的熱穩(wěn)定性、足夠的機(jī)械強(qiáng)度、良好的焊接性能和較低的機(jī)械加工粗糙度。足夠的機(jī)械強(qiáng)度、良好的焊接性能和較低的機(jī)械加工粗糙度。較多使用的是低碳鋼并需拋光較多使用的是低碳鋼并需拋光要求高的場合可使用不銹鋼，具有抗銹、高強(qiáng)度、塑性韌性好、無磁性要求高的場合可使用不銹鋼，具有抗銹、高強(qiáng)度、塑性韌性好、無磁性等特點，等特點， 放氣率低。放氣率低。v輔助結(jié)構(gòu)材料輔助結(jié)構(gòu)材料彈性體、絕緣體（橡膠、陶瓷、塑料