一次清洗減薄量監(jiān)控作業(yè)流程

1、淅江亓眾新能源有限公司W(wǎng)豌洗減薄量監(jiān)控操作規(guī)程文件編號版本號實施日期頁次文件修訂記錄序號修改內(nèi)容修改人日期版本1首次發(fā)行謝超凡編制/日期審核/日期審批/日浙江元眾新能源有限公司=婚洗減薄量監(jiān)控操作規(guī)程文件編號版本號實施日期頁次1 .目的：對一次清洗減薄量進(jìn)行監(jiān)控，確保制絨質(zhì)量。2 .適用范圍：156多晶一次清洗工序3 .責(zé)任：本工藝說明由工藝部制定修改，生產(chǎn)人員按照要求執(zhí)行。4 .設(shè)備：電子天平5 .操作步驟：5.1 在電腦上打開“一次清洗減薄量監(jiān)控”表格，找到當(dāng)日日期及時間，在對應(yīng)表格中填寫硅片廠家、批次、硅片型號信息，為數(shù)據(jù)記錄做好準(zhǔn)備。5.2在已拆盒的原硅片中取8片，層疊整齊后置于電子天

2、平內(nèi)，待數(shù)值顯示穩(wěn)定后讀取數(shù)值，輸入到表格“清洗前”一欄中，保存數(shù)據(jù)。5.3將稱重后的硅片按每道一片進(jìn)行放片，同時通知下料人員注意收片。為了區(qū)分出稱重片，在放置這8片硅片時要與其他正常生產(chǎn)的硅片隔出一定距離，使下料人員能夠區(qū)分出這8片。5.4到設(shè)備主操作臺處讀取制絨參數(shù)，包括制絨槽設(shè)定溫度、實際溫度、滾輪速度、稱重片數(shù)的信息，將數(shù)據(jù)分別填入對應(yīng)表格中。5.5待8片稱重片傳出設(shè)備后，下料人員收集好，到電腦桌處進(jìn)行再次稱重，將讀到的數(shù)據(jù)填入“清洗后”一欄中，表格會自動算出減薄量。稱重作業(yè)完成。稱重前務(wù)必保持電子天平處于水平狀態(tài)，可觀察水平浮泡進(jìn)行調(diào)整。5.6電子天平操作說明：5.6.1電子天平定置

3、后，接通電源，調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)鈕，使水平浮泡置于中間圓心處。5.6.2待“0K指示燈常亮綠色后，按tarePOWE清零，使界面顯示0.00,此時電子天平準(zhǔn)備好，可以進(jìn)行稱重操作。6.減薄量SPE（線:6 .1控制線：一次清洗工序減薄量控制線CL=4.0控制上限UCL=4.2%控制下限LCL=3.8pm7 .2規(guī)格線：一次清洗工序減薄量規(guī)格上限USL=4.5,規(guī)格下限LSL=3.5pm6.3控制要求：6. 3.1換班后的第一次稱重，減薄量不小于3.6E時即可上片。W一次清洗減薄量監(jiān)控操作規(guī)程文件編號版本號實施日期頁次632生產(chǎn)過程中減薄量測得數(shù)據(jù)超出控制線，生產(chǎn)繼續(xù)，并及時通知工藝人員進(jìn)行確認(rèn)調(diào)整，使減薄量數(shù)據(jù)符合控制線要求。633生產(chǎn)過程中減薄量測得數(shù)據(jù)超出規(guī)格線，馬上停止生產(chǎn)，并通知工藝人員，待工藝調(diào)整正常后方可繼續(xù)生產(chǎn)。7.監(jiān)控頻率7.1換班次生產(chǎn)前要進(jìn)行本班第一次稱重，生產(chǎn)過程中每隔一個小時進(jìn)行一次稱重。7. 2生產(chǎn)中途停產(chǎn)超