防靜電基礎(chǔ)教材ppt課件

1、提示：請封鎖您的手機或?qū)⒛氖謾C設(shè)為振動形狀防靜電知識根底培訓(xùn)教材大綱1靜電的根本概念與產(chǎn)生原理2靜電的利益與危害3靜電的防護與控制4防靜電的檢測及儀器的操作5防靜電的實踐運用舉例靜電的根本概念靜電Electrostatic就是物體外表過剩和缺乏的靜止電荷，靜電是一種電能，它留存與物體外表；靜電是正電荷和負(fù)電荷在部分范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果；靜電是經(jīng)過電子和離子的轉(zhuǎn)移而構(gòu)成的。靜電放電ESD Electrostatic Discharge：帶有不同靜電電勢的物體或外表之間的靜電電荷轉(zhuǎn)移。有兩種方式：接觸放電，電場擊穿放電。靜電敏感度(ESDS Electrostatic Discharge Sen

2、sitivity)靜電敏感器件(ESSD Electrostatic Sensitive Devices)EPA:ESD Protect Area(ESD防護區(qū)域)ECA:ESD Control Area(ESD控制區(qū)域) -+靜電的根本概念人體的充電過程剝離帶電摩擦帶電靜電問題依靠于物體氣、液、固體而存在。假設(shè)物體帶有過剩的電荷那么成為帶電體。物體間的電荷轉(zhuǎn)移過程就是起電過程。靜電產(chǎn)生的方式很多，接觸、摩擦、沖流、冷凍、電解、壓電、溫差等都可以產(chǎn)生靜電。但根本過程可歸納為：接觸-電荷轉(zhuǎn)移 -偶電層的構(gòu)成 -電荷分別。靜電的根本概念 影響靜電產(chǎn)生和大小的要素 靜電的產(chǎn)生及其大小與環(huán)境濕度和空氣

3、中的離子濃度有親密的關(guān)系。在高濕度環(huán)境中由于物體外表吸附有一定數(shù)量雜質(zhì)離子的水分子，構(gòu)成弱導(dǎo)電的濕氣薄層，提高了絕緣體的外表電導(dǎo)率，可將靜電荷散逸到整個資料的外表，從而使靜電勢降低。所以，在相對濕度高的場所，如海洋性氣候地域(如我國的東南沿海地域)或潮濕的梅雨季節(jié)，靜電勢較低。在相對濕度低的場所，如大陸性氣候地域(如我國的北方地域)或枯燥的冬季，靜電勢就高。與普通場所相比，在空氣純真的場所(如超凈車間)內(nèi)，因空氣中的離子濃度低，所以靜電更加容易產(chǎn)生。靜電的根本概念靜電的根本概念靜電具有以下特點1從防靜電危害的角度思索，GJB300797分3類: 面電阻率105及以下為導(dǎo)靜電資料10 51011

4、為靜電散逸資料1012以上為絕緣資料靜電的根本概念在普通工業(yè)消費中，靜電具有高電位、低電量、小電流脈沖電流，有爭議和作用時間短的特點，設(shè)備或人體的靜電位最高可達(dá)數(shù)萬伏以致數(shù)十萬伏；這要比市電220v、380v高得多。但所積累的靜電量卻很低，通常為微庫侖級；靜電電流多為毫安級；作用時間多為毫秒級。靜電通世界上任何事物一樣具有兩重性：既能為人類造福，如靜電復(fù)印、靜電涂敷、靜電除塵等靜電運用技術(shù)；亦會帶來許多危害，諸如石化、電子及電工領(lǐng)域。就電子元器件的消費及電子設(shè)備的裝聯(lián)、調(diào)試作業(yè)而言，因接觸摩擦起電、人體靜電與接地問題能呵斥很大經(jīng)濟損失。初步研討發(fā)現(xiàn)，摩擦起電、人體靜電乃是電子。微電子工業(yè)中之間

5、兩大危害源。靜電的根本概念靜電放電的三種方式 帶電人體的放電方式(HBM) 由于人領(lǐng)會與各種物體間發(fā)生接觸和磨擦，又與元器件接觸，所以人體易帶靜電，也容易對元器件呵斥靜電損傷。普遍以為大部分元器件靜電損傷是由人體靜電呵斥的。 帶電機器的放電方式MM 機器由于摩擦或感應(yīng)也會帶電。帶電機器經(jīng)過電子元器件放電也會呵斥損傷。這類就叫做：機器放電的模型Machine Model 充電器件的放電模型 CDM在元器件裝配、傳送、實驗、測試、運輸和儲存的過程中由于殼體與其它資料磨擦，殼領(lǐng)會帶靜電。一旦元器件引出腿接地時，殼體將經(jīng)過芯體和引出腿對地放電。這種方式的放電可用所謂帶電器件模型(Charged-Dev

6、ice Model，CDM)來描畫。 靜電的根本概念靜電的危害ESD是英文Electrostatic Discharge的縮寫，即靜電放電的意思。當(dāng)某些電介質(zhì)、導(dǎo)體帶上靜電荷后，雖然所帶電荷量不多，但由于本身對大地分布電容非常小，使得靜電電位較高。當(dāng)垂直于帶電物體外表的靜電電位到達(dá)2000伏時，就會向空氣放電。在日常生活中，許多ESD景象，我們都親身閱歷過。譬如，在冬季一間暖和的房間里，走在覆蓋地毯的地面時，當(dāng)他伸手接觸門的把手時，就會有電擊的覺得；脫下合成纖維衣服時產(chǎn)生噼啪聲，夜間還可以看到火花空氣的擊穿場強為30kv/cm；天氣枯燥時，用塑料梳子梳頭時會產(chǎn)生放電聲。對于人體而言，這種靜電的

7、忽然放電不會呵斥任何損傷；可是，對于ESDS靜電放電敏感器件器件，靜電放電就能夠損害電子器件。ESD對電子器件的損害是人體覺察不到的，具有隱蔽性，需經(jīng)過儀器才干檢測出電子器件發(fā)生ESD事件，主要是各種靜電源人體、任務(wù)臺等對電子器件放電所致。在集成電路integrated circuit工業(yè)中，靜電放電可以使集成電路芯片介質(zhì)擊穿，芯線熔斷、漏電流增大加速老化、電性能參數(shù)改動等等。靜電放電對電子器件損害具有潛在和緩慢失效性，這種情況危害更大。通常，ESDS靜電放電敏感器件器件易發(fā)生靜電放電，所以，受ESD的危害更大。靜電的危害今天，大多數(shù)電子器件采用對靜電極為敏感的MOS工藝制造，因此，無論從器件

8、的開展還是器件的運用出發(fā)，為了防止ESD對電子器件的危害，有必要對電子器件受靜電危害的機理以及相應(yīng)的防護措施進(jìn)展討論。試圖闡明電子器件ESD產(chǎn)生的緣由，并對IC的ESD維護提供指點。靜電具有以下特性：隱蔽性 ：除非發(fā)生靜電放電，人體不能直接感知靜電，但發(fā)生靜電放電人體也不一定能有電擊的覺得，這是由于人體感知的靜電放電電壓為23kv，所以靜電具有隱蔽性。 潛在性 ：有些會遭到靜電損傷后的性能沒有明顯的下降，但多次累加放電會給IC器件呵斥內(nèi)傷而構(gòu)成隱患。因此靜電對IC的損傷具有潛在性。隨機性 ：IC什么情況下會蒙受靜電破壞呢?可以這么說，從一個IC芯片產(chǎn)生以后不斷到它損壞以前，一切的過程都遭到靜電

9、的要挾，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機性，其損壞也具有隨機性復(fù)雜性 ：靜電放電損傷的失效分析任務(wù)，因微電子IC產(chǎn)品的精、細(xì)、微小的構(gòu)造特點而費時、費事、費財，要求較高的技術(shù)并往往需求運用高度精細(xì)儀器，即使如此，有些靜電損傷景象也難以與其它緣由呵斥的損傷加以區(qū)別；使人誤把靜電放電損傷的失效當(dāng)作其它失效，這在對靜電放電損害未充分認(rèn)識之前，經(jīng)常歸因于早期失效或情況不明的失效，從而不自覺地掩蓋了失效的真正緣由。所以分析靜電對IC的損傷具有復(fù)雜性。靜電的危害ESDESD對電子器件損害方式對電子器件損害方式ESDESD對電子器件損害方式主要有三種：靜電源直接對電子器件放電；帶對電子器件損害方式主要有三種：靜電

10、源直接對電子器件放電；帶電器件對其他導(dǎo)體的靜電放電；電場感應(yīng)放電。電器件對其他導(dǎo)體的靜電放電；電場感應(yīng)放電。、靜電源直接對電子器件放電、靜電源直接對電子器件放電 ESD ESD事件經(jīng)常發(fā)生在帶電導(dǎo)體包括人體對事件經(jīng)常發(fā)生在帶電導(dǎo)體包括人體對ESDSESDS的放電過程中。普通的靜的放電過程中。普通的靜電危害是人體或帶電導(dǎo)體直接對電危害是人體或帶電導(dǎo)體直接對ESDSESDS放電呵斥。放電呵斥。、帶電器件對其他導(dǎo)體的靜電放電、帶電器件對其他導(dǎo)體的靜電放電當(dāng)靜電放電敏感器件在操作過程中，或者與包裝資料、機器外表接觸后，就當(dāng)靜電放電敏感器件在操作過程中，或者與包裝資料、機器外表接觸后，就會積累靜電荷。當(dāng)

11、器件在包裝盒挪動或震動時就會發(fā)生靜電放電。這種放電會積累靜電荷。當(dāng)器件在包裝盒挪動或震動時就會發(fā)生靜電放電。這種放電情況，涉及的電容和能量不同于人體對情況，涉及的電容和能量不同于人體對ESDSESDS器件的放電情況。在某些情況下器件的放電情況。在某些情況下，CDMCDM事件比事件比HBNHBN事件所呵斥的危害更大。事件所呵斥的危害更大。、電場感應(yīng)放電、電場感應(yīng)放電感應(yīng)場可以直接或間接對地呵斥危害。由于任何帶電體周圍都存在靜電場。感應(yīng)場可以直接或間接對地呵斥危害。由于任何帶電體周圍都存在靜電場。假設(shè)假設(shè)ESDSESDS器件進(jìn)入靜電場范圍，就會由于感應(yīng)而帶電。假設(shè)器件在電場區(qū)域器件進(jìn)入靜電場范圍，

12、就會由于感應(yīng)而帶電。假設(shè)器件在電場區(qū)域內(nèi)接地，電荷轉(zhuǎn)移到地的過程稱為內(nèi)接地，電荷轉(zhuǎn)移到地的過程稱為CDMCDM事件。事件。靜電的危害人體帶電電壓人體帶電電壓電沖擊程度電沖擊程度備注備注1,000 V 幾乎覺得不到.微小的放電聲音發(fā)生看到發(fā)光手指頭放電發(fā)光.2,000 V 用手指頭接觸略微覺得到.2,500 V 放電部分覺得被針扎到3,000 V 覺得略微疼，覺得到被針扎的覺得4,000 V 覺得是手指頭被針扎的比較深.5,000 V 手心和手腕也覺得到電沖擊6,000 V 手指頭及胳膊覺得到很強的電沖擊。7,000 V 手指頭，手心覺得到很強的疼痛及麻木的覺得8,000 V 手心到手腕感到麻木

13、9,000 V 手腕和胳膊覺得到疼痛和感到麻木.10,000 V 手全部疼痛和覺得到通電。11,000 V 手指頭感到麻木和手遭到強的電沖擊12,000 V 因受很強的沖擊全身感到疼痛.靜電的危害靜電損傷的兩種失效方式靜電損傷的兩種失效方式1. 1. 硬損傷：又稱硬損傷：又稱“突發(fā)性完全失效、突發(fā)性完全失效、“一次性損壞，約占一次性損壞，約占10%10%表現(xiàn)為器件電參數(shù)忽然劣化，失去原有功能。主要緣由是靜電放電呵斥過壓表現(xiàn)為器件電參數(shù)忽然劣化，失去原有功能。主要緣由是靜電放電呵斥過壓使得介質(zhì)被擊穿，或過流使得內(nèi)部電路金屬導(dǎo)線熔斷、硅片部分融化等。使得介質(zhì)被擊穿，或過流使得內(nèi)部電路金屬導(dǎo)線熔斷、

14、硅片部分融化等。硬損傷可經(jīng)過常規(guī)的性能測試手段及時發(fā)現(xiàn)，相對軟失效而言危害要小得多硬損傷可經(jīng)過常規(guī)的性能測試手段及時發(fā)現(xiàn)，相對軟失效而言危害要小得多。2. 2. 軟損傷：又稱軟損傷：又稱“潛在性緩慢失效、潛在性緩慢失效、“多次損傷累積后失效，約占多次損傷累積后失效，約占90%90%遭到軟損傷的器件，雖然當(dāng)時各類電參數(shù)仍合格，然而其運用壽命卻大大縮遭到軟損傷的器件，雖然當(dāng)時各類電參數(shù)仍合格，然而其運用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng)，可靠性變差，能夠會在后續(xù)過程中直短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng)，可靠性變差，能夠會在后續(xù)過程中直至最終用戶繼續(xù)蒙受至最終用戶繼續(xù)蒙受ESDESD軟損傷或其

15、它過應(yīng)力損傷積累而過早地失效。軟損傷或其它過應(yīng)力損傷積累而過早地失效。由于軟損傷是潛在的，運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來，特別是器件由于軟損傷是潛在的，運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來，特別是器件被裝入整機產(chǎn)品之后，因此具有更大的危害性。這些產(chǎn)品流入市場后的維護被裝入整機產(chǎn)品之后，因此具有更大的危害性。這些產(chǎn)品流入市場后的維護本錢和呵斥的其它損失，將比在消費中發(fā)生的直接損失要放大幾十甚至上百本錢和呵斥的其它損失，將比在消費中發(fā)生的直接損失要放大幾十甚至上百倍！倍！ 靜電的危害蓄積在導(dǎo)體上的電荷，會在一次放電中將能 量完全釋放，是常見靜電危害產(chǎn)生的緣由。靜電放電可概分為火花放電、電暈放電、

16、刷 狀放電、射狀放電等方式。不同放電方式的發(fā)生，與放電的電極外形、 材質(zhì)間隔、阻抗、數(shù)量有親密的關(guān)系，同時 亦會產(chǎn)生不同的危害。靜電的危害多數(shù)未采取維護措施的元器件靜電放電敏感度都是很低，很多在幾百伏的范圍，如MOS單管在100-200V之間，GaAs FET在100300V之間，而且這些單管是不能添加維護電路的；一些電路尤其是CMOS IC采取了靜電維護設(shè)計，可雖然以明顯的提高抗ESD程度，但大多數(shù)也只能到達(dá)20004000V，而在實踐環(huán)境中產(chǎn)生的靜電電壓那么能夠到達(dá)上萬伏。因此，沒有防護的元器件很容易遭到靜電損傷。而且隨著元器件尺寸的越來減小，這種損傷就會越來越多。所以我們說，絕大多數(shù)元器

17、件是靜電敏感器件，需求在制造、運輸和運用過程中采取防靜電維護措施。下表列出了一些沒有靜電維護設(shè)計器件的靜電放電敏感度。靜電的危害 器件類型實例靜電敏感度(單位kV)MOSFET3CO、3DO系列0.1-0.2JFET3CT系列0.14-1.0GaAs FET 0.1-0.3CMOSCO00、CD400系列0.25-2.0HMOS6800系列0.05-0.5E/D MOS Z80系列0.2-1.0VMOS 0.03-1.8ECL電路EOOO系列0.3-2.5SCL(可控硅) 0.68-1.0S-TTL54S、74S系列0.3-2.5DTL7400、5400系列0.38-7.0石英及壓電晶體 10

18、.0靜電的危害電子行業(yè)如微電子、光電子的制造和運用廠商由于靜電呵斥的損失和危害是相當(dāng)嚴(yán)重的。據(jù)美國1988年的報道，它們的電子行業(yè)中，由于ESD的影響，每年的損失達(dá)億美圓之多；據(jù)日本統(tǒng)計，它們不合格的電子器件中有45是由于靜電而引起的；我國每年因靜電危害呵斥的損失也至少有幾千萬。下左圖是美國Ti公司對某一年對客戶失效器件緣由進(jìn)展分析統(tǒng)計的結(jié)果，從中可以看到由EOS/ESD引起的失效占總數(shù)的47%下；以下圖是美國半導(dǎo)體可靠性新聞對1993年從制造商、測試方和運用現(xiàn)場得到的3400例失效案例進(jìn)展的統(tǒng)計，從中可以看到,EOS/ESD呵斥的失效也到達(dá)20%。 靜電的危害EOS/ESD裝 聯(lián)設(shè) 計 未

19、解 決 的未 證 實 的晶 片 制 造公司某一年客戶失效器件緣由的分析統(tǒng)計ESD/EOS未知原因金絲球焊未證實的見切力其他14種其他原因，每種小于4%1993年從制造商、測試方和運用現(xiàn)場得到的3400例失效案例統(tǒng)計CC4069 4.0kV JF709 2.0kV 電路受ESD損傷后的形貌像靜電的防護與控制wESDESD控制的根本原那么控制的根本原那么w. .做好做好ESDESD防護設(shè)計：器件選型、合理布線、設(shè)計維護電路等防護設(shè)計：器件選型、合理布線、設(shè)計維護電路等w. .消除和減少靜電的產(chǎn)生：減少或消除靜電產(chǎn)生的過程、維持過程和資料處于等消除和減少靜電的產(chǎn)生：減少或消除靜電產(chǎn)生的過程、維持過程

20、和資料處于等電勢等電勢等w. .使靜電荷瀉放與中和：運用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來瀉放與中和靜電使靜電荷瀉放與中和：運用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來瀉放與中和靜電w. .維護產(chǎn)品免遭維護產(chǎn)品免遭ESDESD損傷：運用防靜電資料包裝和儲運損傷：運用防靜電資料包裝和儲運w. .防靜電區(qū)設(shè)計原那么防靜電區(qū)設(shè)計原那么w. .抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不運用塑料、有機玻抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不運用塑料、有機玻璃、普通塑料袋。璃、普通塑料袋。w. .平安、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，運用有繩防靜電腕帶、防靜電椅、平安、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，運用有

21、繩防靜電腕帶、防靜電椅、防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)箱。防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)箱。w. .保證靜電壓小于保證靜電壓小于100V100V。靜電的防護與控制防靜電系統(tǒng)要素防靜電系統(tǒng)要素1.1.地面地面防靜電地面防靜電水磨石，防靜電地板體電阻防靜電地面防靜電水磨石，防靜電地板體電阻105105109109，敷設(shè)地線網(wǎng)。，敷設(shè)地線網(wǎng)。2. 2. 工位見附圖工位見附圖3 3、接地、接地a a、防靜電任務(wù)區(qū)必需有平安可靠的防靜電接地安裝，地電阻小于、防靜電任務(wù)區(qū)必需有平安可靠的防靜電接地安裝，地電阻小于44。防靜電地線不得與電。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，運用三相五線制供電時，其地線可

22、以作防靜電地線。源零線相接，不得與防雷地線共用，運用三相五線制供電時，其地線可以作防靜電地線。b b、任務(wù)臺面、地墊、坐椅和其它導(dǎo)靜電的、任務(wù)臺面、地墊、坐椅和其它導(dǎo)靜電的ESDESD維護設(shè)備均應(yīng)經(jīng)過限流電阻接入地線，腕帶等維護設(shè)備均應(yīng)經(jīng)過限流電阻接入地線，腕帶等應(yīng)經(jīng)過任務(wù)臺頂面接地點與地線銜接，任務(wù)臺不可相互串聯(lián)接地。應(yīng)經(jīng)過任務(wù)臺頂面接地點與地線銜接，任務(wù)臺不可相互串聯(lián)接地。c c、防靜電任務(wù)區(qū)接地系統(tǒng)，包括限流電阻和銜接端子應(yīng)銜接可靠并具有一定載流才干，限、防靜電任務(wù)區(qū)接地系統(tǒng)，包括限流電阻和銜接端子應(yīng)銜接可靠并具有一定載流才干，限流電阻阻值選擇應(yīng)保證漏泄電流不超越流電阻阻值選擇應(yīng)保證漏泄

23、電流不超越5mA5mA，下限值取為，下限值取為1M 1M 。4 4、溫濕度、溫濕度20302030，相對濕度，相對濕度3070%3070%。5 5、增濕、增濕增濕器使空氣潮濕，防止靜電荷積累，此法不適于增濕后會產(chǎn)生有害影響的場地。增濕器使空氣潮濕，防止靜電荷積累，此法不適于增濕后會產(chǎn)生有害影響的場地。靜電的防護與控制7、人體穿防靜電任務(wù)服、任務(wù)鞋，戴有繩防靜電腕帶、手套、指套等。8、包裝靜電敏感器件應(yīng)采取防靜電維護性包裝，如防靜電袋、防靜電盒等。9、儲存、運輸靜電敏感器件必需存放在防靜電容器箱、袋內(nèi)，并用防靜電運輸工具箱、車周轉(zhuǎn)。貯運中要遠(yuǎn)離靜電場、電磁場或放射場，如電腦顯示器頂部。靜電的防護

24、與控制人員防靜電接地技術(shù)要求人員防靜電接地技術(shù)要求1) 1) 人員防靜電接地應(yīng)運用腕帶、工鞋等。人員防靜電接地應(yīng)運用腕帶、工鞋等。2) 2) 一切消費操作員工進(jìn)入防靜電區(qū)域必需著裝防靜電工鞋工衣；外來人員進(jìn)一切消費操作員工進(jìn)入防靜電區(qū)域必需著裝防靜電工鞋工衣；外來人員進(jìn)入防靜電區(qū)域穿防靜電鞋套和穿防靜電大褂。入防靜電區(qū)域穿防靜電鞋套和穿防靜電大褂。3) 3) 進(jìn)入防靜電區(qū)域的一切作業(yè)人員、物料員、技術(shù)員、工段長等，及在現(xiàn)場進(jìn)入防靜電區(qū)域的一切作業(yè)人員、物料員、技術(shù)員、工段長等，及在現(xiàn)場辦公的其他人員，每天上班前應(yīng)對本身人體綜合電阻進(jìn)展測試，對有能夠要接觸辦公的其他人員，每天上班前應(yīng)對本身人體綜

25、合電阻進(jìn)展測試，對有能夠要接觸產(chǎn)品的人員，還應(yīng)進(jìn)展防靜電腕帶測試，并保管測試結(jié)果，做好測試記錄。產(chǎn)品的人員，還應(yīng)進(jìn)展防靜電腕帶測試，并保管測試結(jié)果，做好測試記錄。4) 4) 進(jìn)入防靜電區(qū)域前必需應(yīng)對人體綜合電阻進(jìn)展測試，假設(shè)外來人員有能夠進(jìn)入防靜電區(qū)域前必需應(yīng)對人體綜合電阻進(jìn)展測試，假設(shè)外來人員有能夠要接觸產(chǎn)品，也應(yīng)進(jìn)展防靜電腕帶測試，并保管測試結(jié)果做好測試記錄。要接觸產(chǎn)品，也應(yīng)進(jìn)展防靜電腕帶測試，并保管測試結(jié)果做好測試記錄。5) 5) 防靜電腕帶或人體綜合電阻測試未經(jīng)過者，不得進(jìn)入防靜電區(qū)域，更不得防靜電腕帶或人體綜合電阻測試未經(jīng)過者，不得進(jìn)入防靜電區(qū)域，更不得接觸接觸ESSDESSD靜電敏

26、感器件及組件。人體綜合電阻測試、腕帶測試未經(jīng)過的，必靜電敏感器件及組件。人體綜合電阻測試、腕帶測試未經(jīng)過的，必需立刻查找緣由并作出相應(yīng)處置，直至合格為止。需立刻查找緣由并作出相應(yīng)處置，直至合格為止。腕帶接地要求腕帶接地要求防靜電腕帶與皮膚應(yīng)保證接觸良好，并接入防靜電地線系統(tǒng)，在戴腕帶的皮膚上防靜電腕帶與皮膚應(yīng)保證接觸良好，并接入防靜電地線系統(tǒng)，在戴腕帶的皮膚上不得涂護膚油、防凍油等油性物不得涂護膚油、防凍油等油性物工鞋接地要求工鞋接地要求1) 1) 防靜電鞋內(nèi)不得墊鞋墊。防靜電鞋內(nèi)不得墊鞋墊。2) 2) 為了使人體靜電能很好的經(jīng)過工鞋、鞋跟瀉為了使人體靜電能很好的經(jīng)過工鞋、鞋跟瀉放，操作人員要

27、求穿棉襪。放，操作人員要求穿棉襪。3) 3) 堅持工鞋干凈清潔。堅持工鞋干凈清潔。靜電的防護與控制靜電的防護與控制靜電放電會對器件呵斥損害，但經(jīng)過采取正確和適當(dāng)?shù)撵o電防護和控制措施，建立靜電防護系統(tǒng)，那么就可以消除或控制靜電放電的發(fā)生，使其對元器件的損害降至最小。對靜電敏感器件進(jìn)展靜電防護和控制的根本思想有兩條：(1) 對能夠產(chǎn)生接地的地方要防止靜電的聚集，及采取一定的措施，防止或減少靜電放電的產(chǎn)生，或采取“邊產(chǎn)生邊走漏的方法到達(dá)消除電荷積聚的目的，將靜電荷控制在不致引起產(chǎn)生危害的程度。(2) 對已存在的電荷積聚，迅速可靠地消除掉。所以消費過程中靜電防護的中心是“靜電消除。為此可建立一個靜電完

28、全任務(wù)區(qū)，即經(jīng)過運用各種防靜電制品和器材，采用各種防靜電措施，使區(qū)域內(nèi)的能夠產(chǎn)生的靜電電壓堅持在對最敏感器件平安的閾值下 靜電的防護與控制靜電防護資料或防靜電資料在靜電防護和控制工程中占有重要的位置，由防靜電資料制成的靜電防護用品如容器、服裝、傳送帶等是制造過程中必不可少的。先引見一些在靜電防護和控制技術(shù)中用到的與資料有關(guān)的根本概念 電阻和電阻率：這是靜電控制技術(shù)中最關(guān)鍵的兩個概念，它們經(jīng)?；煜?，不僅被用來表示資料，還用于描畫評價資料的測試方法。 體電阻率：指某資料單位厚度上的直流壓降與單位面積上經(jīng)過的電流之比。體電阻系數(shù)是資料的根本參數(shù)之一，表示其導(dǎo)電性能，單位為歐姆/厘米。 外表電阻率：該

29、參數(shù)用于厚度一定的薄膜資料，其定義為外表上單位長度的直流壓降與單位寬度流過電流之比。它指正方形兩對邊之間的阻值，只需面積遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于薄膜厚度，那么該阻值與正方形的大小無關(guān)。外表電阻率的單位是歐姆。 電阻：從另一方面表示不同外形(面積和長度)和電阻率的資料對電流的妨礙作用，它同時闡明資料的外表或外表與地之間的電路連通性以及物體的放電才干，單位是歐姆。 外表電阻：根據(jù)EOS/ESD S11.11“靜電釋放平面資料的外表電阻丈量中的定義，外表電阻是指資料某個面上兩點間的直流電壓與經(jīng)過的電流之比，以歐姆表示。外表電阻值與資料的構(gòu)造無關(guān)。 體電阻：根據(jù)ESD DS11.12“靜電釋放平面資料的體電阻丈量中的

30、定義，體電阻是指資料兩端之間的直流電壓與經(jīng)過電流的比值，它的單位也是歐姆。靜電的防護與控制絕緣資料：普通指外表電阻系數(shù)在11012歐姆或體電阻系數(shù)在11011歐姆/厘米以上的資料。絕緣資料的外表或內(nèi)部根本上沒有電流流動，它的電阻很大，難于接地。這種資料內(nèi)的靜電荷會在上面保管很長時間。 導(dǎo)電資料：普通指外表電阻系數(shù)小于1105歐姆或體電阻系數(shù)小于1104歐姆/厘米的資料。這種資料電阻小，電子在其外表及內(nèi)部流動非常容易，可流向任何接觸到的其它導(dǎo)體或大地。 耗散資料：普通指外表電阻系數(shù)大于或等于1105而小于11012歐姆，或體電阻系數(shù)大于或等于1104而小于11011歐姆/厘米的資料。 屏蔽資料：

31、普通指點電層每毫米厚度的外表電阻系數(shù)小于1104歐姆，或體電阻系數(shù)小于1.0103歐姆/厘米的資料，采用這種資料制造的法拉第維護罩可防止靜電敏感器件遭到靜電的影響。 抗靜電性：通常指資料抑制磨擦起電的特性。資料的抗靜電性與其電阻或電阻率沒有必然的聯(lián)絡(luò)。如有些抗靜電資料，電阻很高，屬高絕緣型，但起電力很小，多次摩擦都不會產(chǎn)生靜電積累。了解并正確運用靜電控制中的這些根本概念，可以運用語更加準(zhǔn)確，這樣有助于有效地實施ESD控制。 注：當(dāng)防靜電制品發(fā)生損壞后需及時向設(shè)備科反響并進(jìn)展改換。不可私自免強運用及自行修補。如防靜電椅，防靜電零件盒，防靜電臺墊的損壞！靜電的防護與控制靜電資料制品的種類相當(dāng)繁多，

32、但主要可以歸為以下幾類：防靜電服裝和腕帶防靜電服裝和腕帶是消除人體防靜電系統(tǒng)的重要組成部分，可以使消除或控制人體靜電的產(chǎn)生，從而減少制造過程中最主要的靜電來源。防靜電服裝包括防靜電的套裝、大褂、鞋、帽、防靜電手套 、防靜電指套、防靜電腳束等。防靜電服裝是用不同色的防靜電布制成。布料紗線含一定比例的導(dǎo)電紗，導(dǎo)電紗又是由一定比例的不銹鋼纖維或其它導(dǎo)電纖維與普通纖維混紡而成。經(jīng)過導(dǎo)電纖維的電暈放電和走漏作用消除服裝上的靜電。由于不銹鋼纖維屬金屬類纖維，所以，由它織成的防靜電布料的導(dǎo)電性能穩(wěn)定，不隨服裝的洗滌次數(shù)而變化。 防靜電腕帶是操作人員在接觸電子元器件時最重要的靜電防護用品，經(jīng)過接地通路，可以將

33、人體所帶的靜電荷平安地謝放掉。它由防靜電松緊帶、活動按扣、彈簧軟線 維護電阻及插頭或夾頭組成。松緊帶的內(nèi)層用防靜電紗線編織，外層用普通紗線編織。靜電的防護與控制 防靜電包裝和運輸制品等。防靜電包裝制品非常多，如防靜電屏蔽袋、 防靜電包裝袋、防靜電海綿、防靜電IC包裝管 、防靜電元件盒(箱)、防靜電氣泡膜和防靜電運輸車等。這些包裝制品除靜電屏蔽用靜電導(dǎo)體外，多數(shù)是用靜電耗散資料制成的，也有些是用抗靜電資料制造。目的都是對裝入的電路或器件及印刷電路起靜電維護作用。以下圖是一些常用的靜電包裝制品。靜電的防護與控制防靜電地板和臺墊防靜電地坪和臺墊也是靜電防護工程中不可或缺的。防靜電地坪的也有多種，按時

34、效性分，有永久性的和暫時性的；按資料分有導(dǎo)電橡膠、PVC、導(dǎo)電陶瓷等；按鋪設(shè)方式分，有地面直接鋪設(shè)的和架空的活動地板?？筛鶕?jù)實踐需求和本錢決議。如需求在地面走多種電纜、渠道的環(huán)境如計算機防選擇架空鋪設(shè)的活動地板比較好下左圖是一些防靜電地板。防靜電臺墊主要是防靜電復(fù)合膠板，主要用于捕墊桌面、流水線任務(wù)臺面、貨架及制做地墊等。資料面層分為草綠色，導(dǎo)電物質(zhì)是抗靜電劑；底層為黑色，導(dǎo)電物質(zhì)是碳黑。 靜電的防護與控制上述三大類制品外，還有其他一些防靜電制品，如防靜電電烙鐵、防靜電座椅、椅套、防靜電維修包等。其中防靜電烙鐵在后工序和維修中很常用。普通的電烙鐵在焊接靜電敏感元器件時需求拔掉電源，而防靜電烙鐵

35、采用直流溫壓電源，發(fā)熱元件多項選擇器具有恒溫特性、靜電電電容小的資料，可極大地降低各種干擾雜信號。另外，烙鐵還可作靜電接地，可進(jìn)一步消除烙鐵頭上的各種信號。所以，焊接時無需拔掉電源頭。 另外還有：離子風(fēng)機： 構(gòu)成：直流高壓電源或放射源電暈放電器送風(fēng)系統(tǒng)；特點：離子風(fēng)機是一種可以提供平衡離子氣流的，寬范圍集中區(qū)域的桌上型離子消除器，可消除或中和寬范圍集中目的或不易接觸區(qū)域的靜電荷。是精細(xì)電子產(chǎn)品，電子組裝線，醫(yī)藥制程組裝線，印刷，包裝和細(xì)小產(chǎn)品成型的理想靜電消除器，風(fēng)量可以在45CFM-110CFM之間延續(xù)調(diào)理，離子平衡電壓0V+/-10V。同維公司運用SL-001臺式離子風(fēng)機所產(chǎn)生的離子風(fēng)速覆

36、蓋目的范圍，風(fēng)速覆蓋范圍在40*60CM，風(fēng)速中和靜電時間由多種要素決議，是決議離子風(fēng)機的間隔和風(fēng)速。任務(wù)區(qū)域要離子風(fēng)機覆范圍內(nèi)，離子風(fēng)機需調(diào)至最大風(fēng)速。靜電的檢測及防靜電儀器的操作靜電環(huán)日點檢方法:靜電手環(huán)佩戴在手腕處且緊貼皮膚，手帶松緊適中將靜電手環(huán)的接地引線接到靜電手環(huán)測試器的接地處，佩戴靜電手環(huán)的那只手按壓靜電環(huán)測試器之金屬圓盤，當(dāng)綠燈“GOOD指示燈)亮起并且蜂鳴器鳴叫為合格;其它指示燈(“LOW,HIGH燈亮起均判為不良能夠手帶過松或接觸不良等檢測合格者必需在上之相應(yīng)人員名字處簽名每天早上上班之前8：00之前必需將防靜電環(huán)檢測終了上晚班者必需在上班前檢測終了，每天至少檢測一次靜電手

37、環(huán)佩戴在手腕處且緊貼皮膚，手帶松緊適中，鎖扣應(yīng)扣到位，不能有接觸不良景象發(fā)現(xiàn)有接觸不良的，必需馬上改換)斷定: 1、檢測時GOOD綠色顯示燈亮,表示該靜電環(huán)符合規(guī) 格,可正常運用. 2、檢測時HIGH紅色顯示燈亮,表示該靜電環(huán)超出規(guī)格, 制止運用. 3、檢測時LOW紅色顯示燈亮,表示該靜電環(huán)超出規(guī)格, 制止運用靜電的檢測及防靜電儀器的操作靜電場測試儀特點：FMX-002可測范圍在+/-20kV，置有2LED燈確保丈量間隔在規(guī)范25mm處。外殼為防靜電材質(zhì)，并有接地扣，確保丈量結(jié)果正確可靠，顯示有數(shù)字和圖形，明晰明確.并可附有離子平衡丈量板，丈量離子產(chǎn)生器的剩余電壓，可測范圍+/-200V。電場

38、丈量范圍 +/-20kV2 LED確定25mm任務(wù)間隔可配離子平衡丈量板+/-200V單按歸零重置單按顯示鎖定閑置自動關(guān)機電池效能顯示 輸入電壓：9V，6F22 manganese battery靜電場可測：+/-(0.00-20.0kV)自動顯示調(diào)整規(guī)范測距：25mm+/-1mm離子平衡可測：+/-(0-200V)丈量間隔根據(jù)ESDSTM3.1-2000 lonization 規(guī)范反響時間：1秒LCD顯示更新：每秒5次準(zhǔn)確度：+/-10%任務(wù)溫濕度：10-40 deg C/RH:0-60%R圖形顯示：正：紅色/負(fù)：藍(lán)色數(shù)據(jù)顯示：靜電場1：+X.XX(0.00kV1.49kV)靜電場2：+/-

39、X.XX(1.00kV20.0kV) 離 子 平 衡：+/-X.XX(0200V) 聲響報警：開機/閑置自動關(guān)機/超出可測范圍自動關(guān)機：閑置約5分鐘丈量方式切換：靜電場：單按Power掣，有一beep聲;離子平衡：請先安裝離子平衡丈量板同時按Zero和Power,有二beeps聲，并有押？每秒閃爍。分量/體積：0.13kg/11.5cm*6.5cm*2.5cm連電池靜電的檢測及防靜電儀器的操作外表電阻測試儀測試量程為1031012 ，適用于測試平面資料，經(jīng)過測試結(jié)果可以分辨被測資料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類。簡易外表電阻測試儀配有一根公用接地線，把接地線的香蕉插頭插入儀器外表的接地孔，另一度

40、端的鱷魚夾夾在接地母線上，把外表電阻測試儀平壓在防靜電臺墊上，可以測試臺墊的接地電阻。簡易外表電阻測試儀的兩測試極間距根據(jù)規(guī)范固定不變，測試時把被測資料放置在絕緣的平面上，外表電阻測試儀平置在資料外表，手指施加適當(dāng)壓力24千克力壓觸測試按鈕，使測試電極和資料外表接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為測試讀數(shù)。運用簡易外表電阻測試儀測試外表粗糙不平的軟性資料時，如泡沫板、氣珠袋等，需求加大測試壓力，可以施加到46千克力的壓力，以保證測試電極和資料外表接觸良好，測試準(zhǔn)確。靜電的檢測及防靜電儀器的操作靜電鞋/手腕帶測試器運用方法：1.丈量靜電鞋/腳筋帶;將選擇開關(guān)撥到左邊“FOOTWEAR，穿上靜電鞋后站到測試

41、板上，按住“PRESSTOTEST鍵，此時，左邊LEFT指示即為左腳穿上鞋后的對地電阻，右邊RIGHT指示為右腳穿上鞋后的對地電阻。2.丈量手腕帶;將選擇開關(guān)撥至“WRISTSTRAP檔，戴上手腕帶，將插頭或魚夾接入插座魚夾柱，按住“PRESSTOTEST鍵，右邊指示即手腕帶的電阻。稱號范圍LED顯示 靜電鞋測試FOOTWEAR手腕帶測試WRISTSTRAP報警聲HIR100MR 10M有PASSR750K R100 MR750K R10M無LOWR750 KR 750有LOWBATT電壓小于7V，請改換電池靜電的檢測及防靜電儀器的操作測試儀器：接地電阻丈量儀測試方法，下見圖。 將被測試地極用

42、導(dǎo)線接于儀器端子E； 在一樣直線方向20m、40m潮濕土地處，分別插入電位探測針及電流探測針，各接于儀器端子P、C； 設(shè)置“倍率盤倍數(shù)； 自緩至快搖動儀器手柄，到達(dá)約120r/min，調(diào)整“丈量標(biāo)度盤，指針指于零位時，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻值； 反復(fù)測試35次，取平均值。靜電的檢測及防靜電儀器的操作 防靜電臺墊、地墊的防靜電性能測試防靜電臺墊、地墊的防靜電性能測試防靜電臺墊和地墊的測試方法一樣，主要測試外表電阻和接地系統(tǒng)電阻。防靜電臺墊和地墊的測試方法一樣，主要測試外表電阻和接地系統(tǒng)電阻。隨機選定測試點，每個任務(wù)臺墊隨機選定測試點，每個任務(wù)臺墊/地墊的每個測試工程不得少于地墊的每個測試

43、工程不得少于3個測試點，取平均個測試點，取平均值。值。測試方法：測試方法：按照外表電阻測試方法測試臺墊、地墊外表電阻；按照外表電阻測試方法測試臺墊、地墊外表電阻；按圖按圖a所示，用兆歐表測試任務(wù)臺面對腕帶插孔電阻；所示，用兆歐表測試任務(wù)臺面對腕帶插孔電阻；按圖按圖b所示，用兆歐表測試任務(wù)臺面對地系統(tǒng)電阻所示，用兆歐表測試任務(wù)臺面對地系統(tǒng)電阻/接地電阻。接地電阻。靜電的檢測及防靜電儀器的操作防靜電任務(wù)椅的防靜電性能測試任務(wù)椅主要測試外表電阻、系統(tǒng)電阻和摩擦電壓。隨機選定測試點，每把任務(wù)椅每個測試工程不得少于5點，取平均值。測試方法：按左圖所示，用兆歐表測試椅面對腳輪的系統(tǒng)電阻，需求導(dǎo)電性能良好的

44、輔助金屬平板；按右圖所示，用兆歐表測試椅面與靠背之間電阻。靜電的檢測及防靜電儀器的操作工衣、工帽、手套的測試方法工衣、工帽、手套主要測試外表電阻和摩擦電壓。隨機選定測試點，每個樣品每個測試工程不得少于5點，取平均值。工衣、工帽、手套的外表電阻測試方法一樣，在絕緣平面上進(jìn)展測試。工衣需求測試袖對袖、片對片、同一片上兩點之間的外表電阻。靜電的檢測及防靜電儀器的操作工鞋、鞋跟的測試方法工鞋主要測試體積電阻和人體穿著時的系統(tǒng)電阻。按以下圖所示，用兆歐表測試鞋底體積電阻內(nèi)電極由總分量為4KG，直徑為5MM 的鋼球組成。其他參照GB4385-1995進(jìn)展檢驗。由于工鞋底面過窄或不平，電極分量有限，壓力缺乏，電極和工鞋底面不能良好接觸導(dǎo)致測試誤差較大。因此工鞋的測試可以按照人體穿著工鞋的實踐情況