宋春艷——降低PECVD工序產(chǎn)生的不良

1、降低降低PECVDPECVD工序產(chǎn)生的不良工序產(chǎn)生的不良部門：生產(chǎn)制造部部門：生產(chǎn)制造部組長(zhǎng)：孟小龍組長(zhǎng)：孟小龍小組成員：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李剛、高東崗小組成員：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李剛、高東崗日期：日期：2010.07.052010.07.05目錄目錄 1、小組信息 2、問題定義/ 改善主題和目標(biāo)設(shè)定 3、現(xiàn)狀分析 4、真因分析及驗(yàn)證 5、對(duì)策擬定與實(shí)施 6、效果確認(rèn) 7、持續(xù)改善及效果評(píng)估 8、防止再發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)化與認(rèn)知 9、殘余及潛在問題1、小組信息、小組信息組名：PE之星組長(zhǎng)： 孟小龍小組成員：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李剛、高東崗。小組目標(biāo)：將PE碎片率降低到0.13%以內(nèi)，PE

2、崩邊降低到0.02%。部門：生產(chǎn)制造部起止日期：2010.4.14-2010.6.252. 問題定義問題定義/ 改善主題和目標(biāo)設(shè)定改善主題和目標(biāo)設(shè)定問題描述及目標(biāo)：?jiǎn)栴}描述及目標(biāo)：分類分類描述描述問題描問題描述述PE會(huì)產(chǎn)成大量碎片和隱裂，到絲印第一道就會(huì)形成碎片導(dǎo)致絲印碎片率升高，后檢測(cè)同樣產(chǎn)生大量的PE崩邊影響整體合格率?，F(xiàn)狀現(xiàn)狀三月份碎片率0.35%0.35%，崩邊率0.14%0.14%，與目標(biāo)碎片率0.13%0.13%、崩邊率0.02%差距很大。目標(biāo)目標(biāo)六月份結(jié)束要達(dá)到碎片率降到0.13%0.13%，PE崩邊降低到0.02%0.02%。差距差距達(dá)到理想碎片還需要降低降低0.22%0.22

3、%，崩邊率降低0.11%0.11%2. 問題定義問題定義/ 改善主題和目標(biāo)設(shè)定改善主題和目標(biāo)設(shè)定問題定義：5W2H分析所要改善主題的描述（所要改善主題的描述（5W2H）What？降低PECVD工序產(chǎn)生的不良Who？組長(zhǎng)：孟小龍。組員：杜延朝、宋春燕、姚立彬、高東崗When？2010.04-2010.06Where？PE工序Why？改善效益、提升品質(zhì)How？制定標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程，改善設(shè)備狀況How much？0.13%3. 現(xiàn)狀分析現(xiàn)狀分析數(shù)據(jù)分析：數(shù)據(jù)分析：PE碎片率0.35%（2.25-3.25）PE崩邊率0.16%（3.25-4.13）PE崩邊絲印碎片率0.60%（3.25-4.14）數(shù)據(jù)分析

4、：數(shù)據(jù)分析：3. 現(xiàn)狀分析現(xiàn)狀分析絲印上料臺(tái)3. 現(xiàn)狀分析現(xiàn)狀分析現(xiàn)狀分析：5W2H分析PE產(chǎn)生不良高（產(chǎn)生不良高（5W2H）When？PE工序生產(chǎn)時(shí)，包括插片、卸片Where？PE工序What？PE工序生產(chǎn)時(shí)造成的碎片，PE崩邊Why？動(dòng)作不規(guī)范、石墨舟清洗不及時(shí)卡點(diǎn)換的不合格。Which？觀察員工動(dòng)作、收集數(shù)據(jù)How？從規(guī)范PE工序內(nèi)工的動(dòng)作著手，制定石墨舟的合理清洗流程How much？三月碎片率0.35%，崩邊率0.14%4. 真因分析及驗(yàn)證真因分析及驗(yàn)證碎片種類定義產(chǎn)生原因 吸片掉片插片、卸片及其他需要吸筆移動(dòng)硅片的過程中，操作不當(dāng)導(dǎo)致的掉片人工碎片插片碎片插片時(shí)動(dòng)作不穩(wěn)定，用力不當(dāng)

5、或碰撞導(dǎo)致碎片卸片碎片卸片時(shí)動(dòng)作不穩(wěn)定，用力不當(dāng)或碰撞導(dǎo)致碎片卸片隱裂運(yùn)行工藝之前，有損傷的硅片，經(jīng)爐內(nèi)高溫后，成為隱裂或碎片，直到卸片時(shí)被發(fā)現(xiàn)測(cè)試膜厚碎片測(cè)試過程中，動(dòng)作不穩(wěn)定，導(dǎo)致碎片上/下料掉片由于人為原因，未將硅片固定于卡槽內(nèi)，導(dǎo)致上、下料時(shí)硅片被設(shè)備凈化風(fēng)和熱排風(fēng)吹落花片無(wú)法返工的鍍膜不良設(shè)備碎片吸筆掉片吸筆故障，吸力不足導(dǎo)致掉片卡點(diǎn)掉片石墨舟卡點(diǎn)安裝不標(biāo)準(zhǔn)或卡點(diǎn)松動(dòng)，硅片無(wú)法在石墨舟內(nèi)固定卡點(diǎn)碎片石墨舟卡點(diǎn)磨損變深（表現(xiàn)為卡點(diǎn)過大），導(dǎo)致插片或卸片時(shí)，硅片與卡點(diǎn)之間摩擦力過大而導(dǎo)致碎片舟硅片出爐后發(fā)現(xiàn)的碎片（硅片尚未受到卸片操作的外力作用）按碎片原因分類按碎片原因分類：碎片分類碎片

6、分類按碎片原因分類按碎片原因分類數(shù)量數(shù)量比例比例總計(jì)總計(jì)所占比例所占比例來(lái)料來(lái)料隱裂隱裂8424.56%8424.56%人為人為吸片掉片吸片掉片19657.31%73.57%插片插片7236.73%卸片卸片9950.51%測(cè)試膜厚測(cè)試膜厚52.55%上上/ /下料掉片下料掉片73.57%花片花片63.06%設(shè)備設(shè)備吸筆掉片吸筆掉片6218.13%34.83%卡點(diǎn)掉片卡點(diǎn)掉片2219.35%卡點(diǎn)碎片卡點(diǎn)碎片2829.03%舟舟946.77%4. 真因分析及驗(yàn)證真因分析及驗(yàn)證碎片統(tǒng)計(jì)（碎片統(tǒng)計(jì)（4.21-5.04）：PE碎片構(gòu)成碎片構(gòu)成4. 真因分析及驗(yàn)證真因分析及驗(yàn)證卡點(diǎn)未及時(shí)更換或者更換不合格

7、設(shè)備碎片高員工動(dòng)作不標(biāo)準(zhǔn)人為碎片高不標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)作4. 真因分析及驗(yàn)證真因分析及驗(yàn)證PE不良不良人人法法物物.料料機(jī)機(jī)動(dòng)作不標(biāo)準(zhǔn)厚薄不均石墨舟卡點(diǎn)更換不標(biāo)準(zhǔn)隱裂多速度過快沒有標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程石墨舟使用次數(shù)過多地面不平安排不合理吸筆吸力不足疲勞原原 因因分分 析析人人動(dòng)作不標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)作不標(biāo)準(zhǔn)觀察動(dòng)作，確定合理動(dòng)作觀察動(dòng)作，確定合理動(dòng)作速度過快速度過快實(shí)行標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)插片時(shí)間不得低于實(shí)行標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)插片時(shí)間不得低于10min/批，批，卸片不得低于卸片不得低于4min/批，嚴(yán)格執(zhí)行批，嚴(yán)格執(zhí)行疲勞合理安排，杜絕浪費(fèi)機(jī)機(jī)吸筆吸力不足建立吸筆磨損筆記，定時(shí)更換卡點(diǎn)更換不合格卡點(diǎn)更換不合格跟蹤卡點(diǎn)磨損程度，跟蹤卡點(diǎn)磨損程度，2

8、月更換月更換石墨舟清洗不及時(shí)石墨舟清洗不及時(shí)100次清洗次清洗地面不平推車小心，地面磨平物、料物、料隱裂多追查原因，嚴(yán)抓等刻厚薄不均前檢投入嚴(yán)格控制法法沒有沒有SOP建立建立SOP安排不合理確定工作順序，杜絕工作時(shí)快時(shí)慢。4. 真因分析及驗(yàn)證真因分析及驗(yàn)證5. 對(duì)策擬定與實(shí)施對(duì)策擬定與實(shí)施實(shí)施計(jì)劃及方案實(shí)施計(jì)劃及方案： 第一步： 觀察工序內(nèi)工作時(shí)的動(dòng)作，確定最科學(xué)合理的工作動(dòng)作。統(tǒng)一操作工的操作動(dòng)作，編寫成SOP，作為以后培訓(xùn)員工的標(biāo)準(zhǔn)。 第二步：確定標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)，規(guī)定插片時(shí)間不得低于10min/批，卸片速度不得低于4min/批，并嚴(yán)格執(zhí)行。編號(hào)編號(hào)實(shí)施項(xiàng)目實(shí)施項(xiàng)目責(zé)任人責(zé)任人1規(guī)范PE插片卸片方

9、法孟小龍、杜延朝、宋春燕、姚立彬2合理的石墨舟清洗杜延朝、宋春燕、姚立彬3規(guī)定PE插片速度及卸片速度孟小龍、杜延朝、宋春燕、姚立彬4石墨舟卡點(diǎn)磨損記錄杜延朝定時(shí)更換卡點(diǎn)時(shí)間的確定跟蹤石墨舟結(jié)果：使用時(shí)間卡點(diǎn)最大磨損深度0.5個(gè)月（圖1）0.531個(gè)月（圖2）0.741.5個(gè)月（圖3）1.142個(gè)月（圖4）1.48結(jié)論：為避免卡點(diǎn)過大造成B級(jí)片，卡點(diǎn)需每?jī)蓚€(gè)月更換一次。圖一圖四圖三圖二石墨舟查檢表：石墨舟查檢表：合理的清洗程序：時(shí)間軸時(shí)間軸正常使用正常使用清洗清洗烘干烘干飽和飽和待飽和待飽和0H24000024H20400036H20040042H20002248H20402054H204000

10、60H200400每個(gè)舟飽和需要3H下班前飽和剛上班時(shí)飽和飽和舟上班3H時(shí)后可用舟舟號(hào)號(hào)12、14、16、42、3、7、19、33、1、35、39、4、應(yīng)有循環(huán)應(yīng)有循環(huán)3、班放入清洗機(jī)、班放入清洗機(jī)3、20B班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入烘干機(jī)烘干機(jī)3、20B班下班前放入班下班前放入機(jī)器完成機(jī)器完成12、14的飽的飽和和3、21C班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入機(jī)器飽和機(jī)器飽和16、423、21C班放入清洗機(jī)班放入清洗機(jī)3、21A班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入烘干機(jī)烘干機(jī)3、21A班下班前放入班下班前放入機(jī)器完成機(jī)器完成3、7飽和飽和3、22C班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入機(jī)器飽和機(jī)器飽和19、333、22C班放入清洗

11、機(jī)班放入清洗機(jī)3、22A班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入烘干機(jī)烘干機(jī)3、22A班下班前放入班下班前放入機(jī)器完成機(jī)器完成1、35飽和飽和3、23B班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入機(jī)器飽和機(jī)器飽和39、4舟舟號(hào)號(hào)10、15、32、20、22、24、38、8、 37、12、14、16應(yīng)有循環(huán)應(yīng)有循環(huán)3、23B班放入清洗機(jī)班放入清洗機(jī)3、23C班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入烘干機(jī)烘干機(jī)3、23C班下班前放入班下班前放入機(jī)器完成機(jī)器完成10、15飽和飽和3、24B班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入機(jī)器飽和機(jī)器飽和32、203、24B班放入清洗機(jī)班放入清洗機(jī)3、24C班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入烘干機(jī)烘干機(jī)3、24C班下班前放入班下班前放入

12、機(jī)器完成機(jī)器完成22、24飽和飽和3、25A班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入機(jī)器飽和機(jī)器飽和38、83、25A班放入清洗機(jī)班放入清洗機(jī)3、25B班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入烘干機(jī)烘干機(jī)3、25B班下班前放入班下班前放入機(jī)器完成機(jī)器完成37、12飽和飽和3、26A班上班時(shí)放入班上班時(shí)放入機(jī)器飽和機(jī)器飽和14、16動(dòng)作觀察及分析動(dòng)作觀察及分析平持法（圖一）豎持法1（圖二） 豎持法2（圖三）平持法動(dòng)作分解：插進(jìn)吸片提拉反轉(zhuǎn)放片插進(jìn)吸片提拉放片豎持法1 動(dòng)作分解：豎持法2 動(dòng)作分解：插進(jìn)吸片提拉放片動(dòng)作觀察及分析動(dòng)作觀察及分析平持法因其多余動(dòng)作多，產(chǎn)生過多的崩邊片和碎片所以此種取片方法不合理。豎持法，因其優(yōu)點(diǎn)多是

13、一種科學(xué)合理的取片法。為配合目前生產(chǎn)線上線痕片的產(chǎn)出，需要規(guī)范在線員工的取片方法，豎持法1和豎持法2都是科學(xué)的，但是兩種取片法，取出的線痕方向不一致。如圖（7）（8）紅線表示線痕方向。目前如圖（8）的取片方法的人數(shù)多，所以建議規(guī)定豎持法2為標(biāo)準(zhǔn)的 取片法。圖7圖8動(dòng)作觀察及分析動(dòng)作觀察及分析3月份未統(tǒng)一規(guī)范動(dòng)作時(shí)的碎片率0.35%4月份為0.24%，統(tǒng)一取片方法。5月份為推廣規(guī)范動(dòng)作的碎片率為0.15%6月份為實(shí)行標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)的碎片率為0.12%6. 效果確認(rèn)效果確認(rèn)絲印碎片率由4月份0.60%，到5月份0.40%，到6月份0.32%6. 效果確認(rèn)效果確認(rèn)7.持續(xù)改善及效果評(píng)估持續(xù)改善及效果評(píng)估

14、三月份PE平均碎片率0.35%，六月份為0.12%，降低了0.23%。PE崩邊由三月份的0.14%降低到六月份的0.02%，降低了0.12%。以月產(chǎn)160萬(wàn)，合格率每片A級(jí)片25元，B級(jí)片10元計(jì)算，降低后每月碎片增加成品利潤(rùn)92000元，崩邊增加28800元?？偣苍黾?20800元，一年增加1449600元（降低碎片后的每一片都是純利潤(rùn)）。 七月份持續(xù)改善，目標(biāo)降低至0.10%8.防止再發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)化與認(rèn)知防止再發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)化與認(rèn)知1、根據(jù)分析制定了PECVD插片標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)PECVD卸片標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)PECVD膜厚與折射率測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)PECVD上下料標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)石墨舟清洗流程PE返工流程2、推行標(biāo)準(zhǔn)工時(shí)制：插片速度不得低于10min/批，卸片速度不得低于4min/批。3、做好員工的員工的培訓(xùn)，保證每員工都按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)工作。9. 殘余及潛在問題殘余及潛在問題1、標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)的持續(xù)改善。、標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)的持續(xù)改善。2、因地面而造成大量石墨舟損毀及碎片。