GAS系統(tǒng)材料認(rèn)知和施工規(guī)范

1、南京中電熊貓平版顯示科技有限公司新一代超高分辨率液晶面板項目 (G108) GAS系統(tǒng)施工簡介和規(guī)范G108彩膜/成盒廠房2工作特點(diǎn)一 液晶面板廠生產(chǎn)簡介二 液晶面板廠所需氣體之特性與功能三 液晶面板廠所需化學(xué)物質(zhì)及其特性四 工作內(nèi)容目錄目錄G108彩膜/成盒廠房31 液晶面板廠簡介液晶面板廠是生產(chǎn)液晶面板顯示器的現(xiàn)代化廠房，其主要工作場所為無塵室。無塵室是恒溫恒濕的，溫度為21C。相對濕度為65%。 2 液晶面板廠所需氣體之特性及功能由于制程上的需要，工廠使用了許多種類的氣體。一般我們皆以氣體特性來區(qū)分?？煞譃樘厥鈿怏w及一般氣體兩大類。前者為使用量較小之氣體。如SiH4、NF3等。后者為使用

2、量較大之氣體。如N2、CDA等。因用量較大；一般氣體常以“大宗氣體”稱之。即Bulk Gas。特氣Specialty Gas。2-1 Bulk Gas在半導(dǎo)體制程中，需提供各種高純度的一般氣體使用于氣動設(shè)備動力、化學(xué)品輸送壓力介質(zhì)或用作惰性環(huán)境，或參與反應(yīng)或去除雜質(zhì)度等不同功能。目前由于半導(dǎo)體制程日益精進(jìn)，其所要求氣體純度亦日益提并。以下將簡述半導(dǎo)體廠一般氣體之品質(zhì)要求及所需配合之設(shè)備及功能。 廠房及氣體功能介紹廠房及氣體功能介紹G108彩膜/成盒廠房2-1-1大宗氣體的種類4大宗氣體大宗氣體中文名稱英文名稱干燥壓縮空氣CDA普通氮?dú)釭N2高純氮?dú)釶N2高純氬氣PAR高純氧氣PO2高純氫氣PH

3、2高純氦氣Phe大宗氣體種類大宗氣體種類G108彩膜/成盒廠房 52-2 SpecialtyGas半導(dǎo)體廠所使用的Specialty Gas種類繁多，約有四、五十種，依危險性可分為以下數(shù)類： SpecialtyGas類別氣體名稱易燃性氣體SiH4 、SiH2CL、PH3 等低壓性氣體DCS、CLF3、WF6 等毒性氣體NF3,PH3 等 腐蝕性氣體HCL、CL2、SiH2CL2、BCL3BF3、SiF4、WF6、NH3 等窒息性氣體CO2、CF4、C2F6 等自燃性氣體SiH4、PH3、B2H6 等特氣種類特氣種類G108彩膜/成盒廠房63-33-3化學(xué)特性化學(xué)特性序號化學(xué)式中文名稱化學(xué)特性1

4、H2SO4硫酸強(qiáng)腐蝕性液體2H3PO4 磷酸腐蝕性液體3HNO3 硝酸 強(qiáng)腐蝕性液體4HCL 鹽酸強(qiáng)腐蝕性刺激性液體5BOE 50:1蝕刻液腐蝕性、毒性液體6BOE 100:1蝕刻液腐蝕性、毒性液體7BOE 200:1蝕刻液腐蝕性、毒性液體8DEV 顯影劑 腐蝕性液體9NH4OH氨水 強(qiáng)刺激性液體10H2O2雙氧水刺激性、腐蝕性液體11M1硝酸氫氟酸混合液強(qiáng)腐蝕性液體1249% HF氫氟酸水溶液腐蝕性劇毒液體13 1% HF 氫氟酸水溶液腐蝕性劇毒液體14Thinner晶邊清洗液 易燃液體15EKC270光阻去除液腐蝕性、刺激性液體16A515 顯影液 易燃性、刺激性液體17NMP 正甲基比喀

5、酮可燃性、刺激性液體18IPA 異丙醇易燃性、強(qiáng)毒性液體19C260潤濕液易燃性、刺激性液體3晶圓廠所需之化學(xué)物質(zhì)及其特性 化學(xué)品種類化學(xué)品種類G108彩膜/成盒廠房74 工作內(nèi)容我們所做的工作就是利用自動焊機(jī)、彎管器等工具。由氣瓶柜（或氣罐）一端架設(shè)管路至FAB內(nèi)機(jī)臺附近并開設(shè)預(yù)留閥即TAKE OFF點(diǎn)（此段工作稱為一次配）。然后再由TAKE OFF點(diǎn)配制管線至機(jī)臺接點(diǎn)即二次配（HOOK UP）。配管材料及閥件簡介配管材料及閥件簡介1. 管件-Pipe&Tube2. 連接配件-Fittings3. 閥件-Ultra Clean Valves4. 調(diào)壓閥-Pressure Regula

6、tor5. 壓力偵測器-Pressure Gauge&Transducer6. 過濾器-Gas Filter7. 選用材料依據(jù)8. 二次閥盤組之形式 工作內(nèi)容及材料認(rèn)知工作內(nèi)容及材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房81 About Pipe&Tube（關(guān)于管材）1-1.依材質(zhì)分類管材可分為：SUS 304 SUS 316 SUS 316L其差異在于SUS316增加鉬（Mo）金屬，改善其機(jī)械性質(zhì)。L則表示材料降低含C量，增加含鎳（Ni）量。1-2.依規(guī)格分類可分為：日規(guī)（JIS）：PIPE SIZE美規(guī)（ASTM）：TUBE SIZE其中須注意：1”之尺寸在PIPE SIZE=25A,

7、其外徑OD為34.4mm,在TUBE SIZE其OD為25.4mm在PIPE SIZE中25A又稱1”,50A又稱2”,80A又稱3”,100A又稱4”TUBE SIZE（一般使用在1”以下之Gas配管）,常用尺寸為1/8”（一分）、2/8”（二分）、3/8”（三分）、4/8”（四分）、5/8”（五分）、6/8”（六分）、1”。1-3依表面處理方法分類：一般分為三種AP（Annealed and pickled）級（素管）：酸洗管BA (Bright-annealed)級：光輝退火管EP (Electrolytic polished)級：電解拋光管注意：影響管子價格之因素最為重要之決定因素在表

8、面處理之方法，其價格之高低順序EPBAAP。 材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房1-4.依厚度來區(qū)分：一般厚度之規(guī)格有SCH5S、SCH10S、SCH20S、SCH40S1-5管材又可分為有縫、無縫兩種2 About Fittings2-1.材質(zhì)同管件。(EP/BA)2-2.常用種類：Nut+Gland+Gasket Elbow、Tee、ReducerCap、Plug Connector 接頭一般可分為VCR (1/8圈)/SWG (1圈) /Welding（焊接）/螺牙街頭/Flange尺寸從1/8”-1”(VCR/SWG)及1/4”300A(Welding/Flange)皆有又分短接頭

9、SCM(micro) or 長接頭SCL(long)&SCF2-4.常用廠牌：KITZ/HAM-LET/IHARA/SWAGELOK/FUJIKIN 材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房103 About Valves3-1材質(zhì)同管材3-2常用種類：手動閥(Manual Valve): 球閥(Ball Vavle1/4”-3/4”) 波紋管閥(Bellows Valve1/4”-大尺寸，用于高壓優(yōu)) 隔膜閥(Diaphragm Valve1/4”1”用于低壓優(yōu)) 3-3常用廠牌： KITI/OHNO/IHARA/MOTOYAMA/NUPRONH3Check Valve must be

10、 AFLAS type 材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房材料認(rèn)知材料認(rèn)知G108彩膜/成盒廠房4 選用材料依據(jù)及質(zhì)量控制基本程序4-1氣體種類、氣體特性:影響材料使用的等級：AP/BA/EP/V+V(VIM+VAR)4-2.業(yè)主需求及預(yù)算注意有無指定廠牌或規(guī)格4-3依機(jī)臺所需用量及本身接點(diǎn)選定料件尺寸影響材料使用的尺寸：1/4”、3/8”、1/2”、15A4-4.依機(jī)臺所需壓力及流量不同選擇材料形式選

11、用壓力范圍適合及流量適合之閥件。（1/4”3/4”） 4-5視盤面組裝選擇料件接頭形式VCRF or M; SWG ; Welding（焊接）4-6. 操作溫度， 成本材料選擇條件材料選擇條件G108彩膜/成盒廠房材料、配件設(shè)備質(zhì)量控制程序材料、配件設(shè)備質(zhì)量控制程序G108彩膜/成盒廠房5 二次閥盤組之形式：一般而言有如下之常見形式：Specialty Gas（無盤組，由VMB/VMP取代）Bulk GasEP級由Diaphragm Valve（隔膜閥）+Regulator（調(diào)壓閥）+Gauge（壓力表）+Filter（過濾器）組成BA級由Ball Valve（球閥）+Regulator+Ga

12、uge組成注意：配管時有關(guān)閉二次盤組Parts（部分）之構(gòu)造須與業(yè)主討論后才能定案。 盤面組成形式盤面組成形式G108彩膜/成盒廠房VMP(預(yù)留閥盤）VMB閥箱特氣閥盤組成特氣閥盤組成G108彩膜/成盒廠房設(shè)備接口端特氣閥盤組成特氣閥盤組成G108彩膜/成盒廠房高純氣體管路閥盤組成高純氣體管路閥盤組成PGAS閥盤組成形式閥盤組成形式G108彩膜/成盒廠房普通氣體閥盤組成特殊要求盤面對比G108彩膜/成盒廠房施工規(guī)范1 管路架設(shè)2 彎管作業(yè)規(guī)范3 管路的切割銑面4 管件接頭的安裝5 熔接規(guī)范施工規(guī)范施工規(guī)范G108彩膜/成盒廠房1-1 預(yù)制工作環(huán)境作現(xiàn)場需配有一臨時性潔凈棚(Clean Boot

13、h)，且所有配管工作的操作基本上在此區(qū)域內(nèi)完成，以避免一些不當(dāng)?shù)奈廴尽?-2 預(yù)制工作（在簡易潔凈室clean booth）1-2-1假镕1-2-2沖吹氣體（Back seal gas）使用氬氣，露點(diǎn)-80C或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒（0.1um以上）含量為零。1-2-3. 沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路，使用（Back seal jig） 1-2-4.架設(shè)程序?qū)⒐ぷ鞴苈穬啥颂咨瞎芴祝B接沖吹氣體及閥管路架設(shè)管路架設(shè)G108彩膜/成盒廠房1-2-5.裝封完成焊接之后，在管內(nèi)充滿Ar氣，而且用無塵的塑膠紙在末端包裹兩層。如果末端的閥已經(jīng)連接好了，把閥也用塑膠紙裹起來。1-2-6

14、.儲存及搬運(yùn) 材料必須置于特定的儲藏間，在工地現(xiàn)場或在材料間要提供暫時性的簡易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現(xiàn)場要使用時方可打開，并且不要將材料直接放在地上。1-3 現(xiàn)場焊接1-3-1現(xiàn)場焊接的人員必須有受過高潔凈度配管技術(shù)鑒定通過。1-3-2管路維持條件即使焊接結(jié)束，也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi)。1-4 管路的固定管路架設(shè)管路架設(shè)G108彩膜/成盒廠房2 .彎管作業(yè)規(guī)范 配管彎曲作業(yè)應(yīng)注意二原則：將較短尺寸配管上做記號，此部分應(yīng)放在Bender（彎管器）左側(cè)，Set次之

15、。進(jìn)行彎曲時用Latch（鎖存器）固定Pipe，將手把往配管上面滑動，轉(zhuǎn)動90來完成彎曲。此時配管上面會有以下情形之傷痕。Latch管口部位的傷痕Bending(彎曲）部分的傷痕這兩個傷痕之間，的傷痕要特別注意。因此部分在配管之端面，在Swage lok接縫套圈發(fā)生時會產(chǎn)生100%Leak（泄露）等困擾。在Latch部分圓圈方向之傷痕不會發(fā)生這種困擾。彎管器使用注意事項彎管器使用注意事項G108彩膜/成盒廠房3. 管路的切割銑面3-1 中大口徑配管 1.原則上切割應(yīng)于潔凈亭內(nèi)執(zhí)行。但如果顧客的潔凈室已完成、可在其潔凈室內(nèi)切割。（但如果切割產(chǎn)生切屑、也有不于潔凈室內(nèi)執(zhí)行的場合）2切割前應(yīng)確認(rèn)配管

16、表面無有害痕跡、破壞。3配管切割時須是用不銹鋼專用切割器（STAINLESS STEEL TUBE CUTTER）緩慢進(jìn)行切割、保持切面直角（900.5）。4原則上應(yīng)橫放于水平固定、防止切屑進(jìn)入管內(nèi)。5配管切割后須以AIR GUN用潔凈的氣體清除，切割面應(yīng)位于下流方向。6切割后如管上附有切屑或其他雜質(zhì)，須用無塵布料（LINT-FREE CLOTH）擦凈。管路切割銑面注意事項管路切割銑面注意事項G108彩膜/成盒廠房 7切割后應(yīng)用專用的切面加工器處理切面。8進(jìn)行切面加工時，為了防止切屑進(jìn)入管內(nèi)，應(yīng)置加工面于下流，從上流沖放潔凈的氣體。加工后，使切面朝下，從上方敲打幾次，去除切屑雜質(zhì)。9切面加工終

17、了后，確認(rèn)切面處理是否良好。若檢查合格，用高純度工業(yè)用Ar氣清除配管外表。10如確認(rèn)管內(nèi)外無雜質(zhì)或異?，F(xiàn)象，于兩端加蓋。11如配管不能橫放水平切割、下放管便不可使用。3-2 小口徑配管（1/4”1/2”）端面機(jī)不可一次進(jìn)刀太多或轉(zhuǎn)速太快，以免因過熱而使端口氧化。保證管材與端口成垂直狀態(tài)。倒角修除毛邊，倒角器要垂直于端口，使管材傾斜向下，防止鐵屑進(jìn)入管內(nèi)。注意：管路修改時，應(yīng)盡量避免垂直切割，切割時必須用大流量Ar沖吹。管路切割銑面注意事項管路切割銑面注意事項G108彩膜/成盒廠房4 .管件接頭的安裝5. 熔接規(guī)范 5-1將焊接管材施以切斷、端面、倒角程序，使兩焊接工件之管壁相通。5-2將焊接管

18、材通以使用經(jīng)0.01um過濾的Ar，設(shè)定好流速（壓力）循環(huán)通入管中吹凈，趕出空氣。 5-3調(diào)整鎢棒與焊接管材之間的間距。 5-4調(diào)整數(shù)據(jù)及前后吹氣時間（數(shù)據(jù)設(shè)定請詳見自動焊機(jī)講解部分）一般前后吹氣時間不可低于10秒。5-5啟動焊機(jī)，觀察電流、電壓之穩(wěn)定性。 5-6焊接結(jié)束，調(diào)整內(nèi)部保證氣體流量。5-7檢查焊道有無瑕疵。5-8表面清潔熔接規(guī)范熔接規(guī)范G108彩膜/成盒廠房測試規(guī)范1 外觀檢查2 管路壓力測試及氣密性測試3 氣體管路流程檢查4 He測漏檢查5 微粒子分析6 微氧分析7 水份分析注：測試具體要求視各廠家要求而定管路測試管路測試G108彩膜/成盒廠房Pre HOOK-UP時的注意事項1 機(jī)臺需求與圖紙是否一致（氣體種類、尺寸、流量以及連接方式）2 開孔位置確認(rèn)并現(xiàn)場做好MARKING3 填寫會勘單預(yù)會勘注意事項預(yù)會勘注意事項G108彩膜/成盒廠房HOOK-UP時的注意事項1 機(jī)臺定位是否完成2 機(jī)臺需求與圖