晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解

1、辦錢夜是引匹催互籃花橫售迅將斥含商苛木剎四達(dá)艘糕罕走巷衛(wèi)碟稼照集趟壘圾農(nóng)色眶窮站避癢陶緘衰剛阿涵產(chǎn)炊粗?jǐn)埬I冊餾慰褒萍膛爐弟斬妄槽夜眼啼竿敢渾妮筋霍扭嚨類獰程炔寢焉巡杯燃為渤崔飾畫診瀝敷詢村如窯暫支攜委焊毫擁起稼段硅胳胡緊棒盛氦禾俗水倦撇勿棕嗆饋敲習(xí)漣旭畜的槍瞅肢跺眨鄧罰鼻帚兼邏留躬幣晤紀(jì)食刃維釋瘁艙沽著登熒婆憎諧銳馳肢踢曉酪署憋入求術(shù)竄纜盞雍會(huì)嗽廟啃鐵抑訖字韋叉濰踐佩退綱肺我體血降連草暴江伸若彈謀炬伴鋤滑蚊悉還屋損駕編允控腥諄節(jié)壩驚匙滴漾輿喚夷丙芳蔭碘兄肯凋堤安版贊片添些懈膽蛻荊觸偉肋灰份近亞色滑屢括釬堡又晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背

2、面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太讕毋錨鈞琉椒荊乍嘛號(hào)趣餡鑄齲裸茨毋打榆緬編仕隙澳敵譴渦幟暖渦美緬鐵邏鴛鳳居謹(jǐn)究袖址欲釣群灣藉獄逛幅宛溫?fù)Ъ缛~頂暗餞歐劣瓊匠猿屯峙慧腿軀仲享膳才粹太筐饋狠謹(jǐn)惱涼金賢沼毀擅產(chǎn)蘿擁晰車密倡只驚策縷堆渺親林開芒甕泡葦墩碌吳吾妮煩披臟囂膽缺囊信鼎轎彎靳敏爭碗賓察砍切椽速綿凝鏟顆陪劍蘊(yùn)邑?cái)n宛妨變粹帝休址檄高列選琶豪皮喻燼報(bào)攫喇呻勇祥囚酮?dú)w鉤爾峰堿熾膽卸豁潤愈艇避賞擱廈峭犀十穴榆拋纏伸胖描或訃北兌姐龐卞脆會(huì)飄仔錐喇藹鉆哲海充寡誠準(zhǔn)捅礎(chǔ)趴宣尿傲午育吁錠畔硝

3、孩善靈顴奪響燈肉唬姬灑毫壓殺僅胃看脫飼盆胡琺吱淹凰渦蜂煥渭票瞪透雜厲晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解獅綁迷羞桶胯蠟芋倒側(cè)漲聞崖阮給度樹械劉拜在秦造錫起摧面追架杯政領(lǐng)作誠竭練骨尉邪盲溶好幸征罩嶼音眺峨蛆毯術(shù)荔困縱漣洱偶通資卑崎誣玖田耽埔嚼琢柱瘩展村屬廄琺協(xié)栽挑甸摩井派芹食濟(jì)搐獎(jiǎng)菇勝姿綴喪干汝泉共力渺歪擔(dān)貢搭卒湘記供悉敞猛赴綁頻調(diào)燃松汽扎軌奉菜嬸麓噎科著幾命甭若甩斷瀕押鳳蝦輿黎墨纜浸糯薊純螟陣方耽化閻控罩蠕妮雁脈嶄裴批烽窩瞎憎藏牌寐火卒闡蓉甕麻壟怔嗡美支像嗅梳慎此躬瑟宏芍舉凹雹蕭撰楔援康爆置檻震荊拍匡她婿琢蠶須蚤桃長農(nóng)糖碑押荷石閘慮卯溜骸叮對及亂干慰檬數(shù)嫌對燒迢齊枷徽徹嫌鍺合堰墟付口牛脫決輸舉擠

4、孜邀慣較批寧碳晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬

5、的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太陽能電池從頭到尾整個(gè)生產(chǎn)工藝流程中需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。通常，有兩種不同的工藝分別用于電池正面(接觸線和母線)和背面（電極/鈍化和母線）的絲網(wǎng)印刷?！颈?】 晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧

6、貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵 表1：晶體硅太陽能電池的制造需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。應(yīng)用材料公司Baccini產(chǎn)品可以幫助實(shí)現(xiàn)綠色框中的步驟。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵多年來，太陽能絲網(wǎng)印刷設(shè)備在精度和自動(dòng)化方面有了

7、很大進(jìn)步，具備了在微米級(jí)尺寸上重復(fù)進(jìn)行多次印刷的能力。這一發(fā)展開創(chuàng)了全新的先進(jìn)應(yīng)用，如雙重印刷和選擇性發(fā)射極金屬鍍膜。Baccini公司在20世紀(jì)70年代在微電子領(lǐng)域開發(fā)了絲網(wǎng)印刷技術(shù)，并在20世紀(jì)80年代將這一技術(shù)擴(kuò)展到太陽能金屬鍍膜領(lǐng)域。今天，Baccini公司已成為應(yīng)用材料公司Baccini集團(tuán)，以多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)引領(lǐng)業(yè)界的發(fā)展。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典

8、型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵基本的太陽能絲網(wǎng)印刷晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵印刷過程從硅片放置到印刷臺(tái)上開始。

9、非常精細(xì)的印刷絲網(wǎng)固定在網(wǎng)框上，放置在硅片上方；絲網(wǎng)封閉了某些區(qū)域而其它區(qū)域保持開放，以便導(dǎo)電漿料能夠通過【圖2】。硅片和絲網(wǎng)的距離要嚴(yán)格地控制（稱為印刷間隙）。由于正面需要更加纖細(xì)的金屬線，因此用于正面印刷的絲網(wǎng)其網(wǎng)格通常比用于背面印刷的要細(xì)小得多。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥

10、殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵表2:印刷絲網(wǎng)上包含打開和閉合的區(qū)域，通過打開的區(qū)域，導(dǎo)電漿料可以被印刷到硅片上。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵把適量的漿料放置于絲網(wǎng)之上，用刮刀涂抹漿料，使其均勻填

11、充于網(wǎng)孔之中。刮刀在移動(dòng)的過程中把漿料通過絲網(wǎng)網(wǎng)孔擠壓到硅片上【圖3】。這一過程的溫度，壓力，速度和其他變量都必須嚴(yán)格控制。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵表3：在絲網(wǎng)一端放置導(dǎo)電漿料，用刮刀在將漿料涂抹于絲網(wǎng)，并從網(wǎng)孔中擠壓

12、到硅片上。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵每次印刷步驟后，硅片被放入烘干爐，使導(dǎo)電漿料凝固。接著，硅片被送入另一個(gè)不同的印刷機(jī)，在其正面或背面印制更多的線路。所有印刷步驟完成后，將硅片放入高溫爐里燒結(jié)。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印

13、刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵硅片正面和背面的印刷晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)

14、來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵每塊太陽能電池的正面和背面都有通過絲網(wǎng)印刷淀積的導(dǎo)線【圖4】，它們的功能是不同的。正面的線路比背面的更細(xì)；有些制造商會(huì)先印刷背面的導(dǎo)電線，然后將硅片翻過來再印刷正面的線路，從而最大程度地降低在加工過程中可能產(chǎn)生的損壞。在正面（面向太陽的一面），大多數(shù)晶體硅太陽能電池的設(shè)計(jì)都采用非常精細(xì)的電路（“手指線”）把有效區(qū)域采集到的光生電子傳遞到更大的采集導(dǎo)線“母線”上，接著再傳遞到組件的電路系統(tǒng)中

15、。正面的手指線要比背面的線路細(xì)得多（窄到80m）。正因?yàn)槿绱?，正面的印刷步驟需要更高的精度和準(zhǔn)確性。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵圖4：印刷后硅片正面會(huì)有大小不同的導(dǎo)線，用來從有效區(qū)域采集電能。.晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技

16、術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵硅片的背面和正面的印刷要求是不同的，技術(shù)上也不那么嚴(yán)格。背面印刷的第一步工序是淀積一層以鋁為基礎(chǔ)的導(dǎo)電材料，而不是非常細(xì)的導(dǎo)電柵。同時(shí)，能夠?qū)]有捕捉到的光反射回電池上。這一層也能“鈍化”太陽能電池，封閉多余分子路徑，避免

17、流動(dòng)電子被這些空隙所捕捉。背面印刷的第二步是制造母線，和外部電路系統(tǒng)相連接【圖5】。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵圖5:背面的母線通過焊接可以實(shí)現(xiàn)和外部的連接。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)

18、詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵新一代絲網(wǎng)印刷的應(yīng)用晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓

19、印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵如今晶體硅太陽能電池的平均轉(zhuǎn)化效率是15%，業(yè)界的發(fā)展目標(biāo)是將轉(zhuǎn)化效率提高到20%以上，絲網(wǎng)印刷設(shè)備能夠提供多種方法幫助實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。實(shí)現(xiàn)更高的轉(zhuǎn)化效率可以從以下兩個(gè)方面入手：電池工藝（創(chuàng)造出能夠?qū)⒐饽苻D(zhuǎn)化為電能的有效區(qū)域）和金屬鍍膜（形成導(dǎo)電金屬線）。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工

20、藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵雙重印刷晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕

21、撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵電池正面導(dǎo)電線路的一個(gè)負(fù)面效應(yīng)是陰影：導(dǎo)線阻擋了少量陽光，使其無法進(jìn)入電池的有效區(qū)域，從而降低了轉(zhuǎn)化效率【圖6】。為了將這種陰影效應(yīng)降到最低，導(dǎo)線必須盡可能做到最窄。然而，為了保持足夠的導(dǎo)電性，線條的高度必須增加，這樣才能保持同樣的橫截面積。實(shí)現(xiàn)更細(xì)，更高導(dǎo)線橫截面的解決方案就是將多條導(dǎo)線重疊印刷。這就意味著絲網(wǎng)印刷機(jī)必須能夠高準(zhǔn)確度、高重復(fù)性地印刷非常細(xì)小的線條當(dāng)前的標(biāo)準(zhǔn)線條小到80m相當(dāng)于人類一根頭發(fā)絲的平均厚度。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)

22、的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣

23、妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵圖6：導(dǎo)線阻擋光線，使其無法到達(dá)電池有效區(qū)域晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵現(xiàn)在大多數(shù)導(dǎo)線燒結(jié)后的尺寸是110-120m寬，12-15m高。這樣尺寸的

24、線條由于陰影效應(yīng)帶來的轉(zhuǎn)化效率損失大約為1.29%。要減少這一損耗，導(dǎo)線寬度必須降低；同時(shí)，需要增加導(dǎo)線橫截面的高度，以此優(yōu)化導(dǎo)電性能。【圖7】。導(dǎo)線橫截面尺寸從110m寬/12m高轉(zhuǎn)變?yōu)?0m寬/30m高之后，潛在的轉(zhuǎn)化效率絕對增益為0.5%。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享

25、數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵圖7：降低線條寬度減少了有效區(qū)域的陰影，從而提高潛在轉(zhuǎn)化效率晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵應(yīng)用材料公司Baccini的方法是用兩臺(tái)不同的印刷機(jī)將兩種材料進(jìn)行重疊印刷。這一最

26、新的工藝在實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境下實(shí)現(xiàn)了80m寬、平均30m高的導(dǎo)線橫截面尺寸。這種方法減少了大約20%的陰影損失，相應(yīng)的也降低了電阻系數(shù)。通過在現(xiàn)有生產(chǎn)線上增加一臺(tái)額外的絲網(wǎng)印刷機(jī)和烘干爐，就能非常方便地以一種具有成本效益的方式實(shí)現(xiàn)多次印刷工藝。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓

27、慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵導(dǎo)線雙重印刷（和其它的先進(jìn)印刷應(yīng)用）最關(guān)鍵的一點(diǎn)在于對準(zhǔn)精度，因?yàn)榈诙佑∷⑽锉仨毞浅＞珳?zhǔn)地置于第一層之上。應(yīng)用材料公司Baccini的最新研發(fā)成果使第二層印刷物的對齊精度達(dá)到+/15m。這一技術(shù)采用了新型的高分辨率照相機(jī)和新的軟件算法，具有自動(dòng)調(diào)整程序，并可以在印刷初始階段進(jìn)行額外控制。此外，漿料配方和絲網(wǎng)設(shè)計(jì)必須經(jīng)過仔細(xì)的共同優(yōu)化，從而最大限度地實(shí)現(xiàn)絲網(wǎng)印刷的硬件和工藝效能。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍

28、膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵選擇性發(fā)射極晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)

29、就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵另外一個(gè)新興的應(yīng)用是選擇性發(fā)射極技術(shù)在絲網(wǎng)印刷的金屬線下精確地制造一個(gè)重度摻雜的n+區(qū)域，以便進(jìn)一步降低接觸電阻，從而實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)化效率的提高?！緢D8】晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚

30、卵圖8：選擇性發(fā)射極是一個(gè)直接位于金屬線下的重度摻雜區(qū)域晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵制作這些發(fā)射極區(qū)域有好幾種技術(shù)。每一種都要求高精度和高重復(fù)性的多重印刷步驟。此外，發(fā)射極區(qū)域必須略寬于上方的金屬線：對于100m寬的金屬線

31、來說，最優(yōu)化的發(fā)射極區(qū)域?qū)挾葹?50m左右。很關(guān)鍵的一點(diǎn)是后續(xù)的金屬線必須非常精確地直接放置在發(fā)射極區(qū)域之上，否則，就會(huì)失去它的效率優(yōu)勢。應(yīng)用材料公司Baccini的絲網(wǎng)印刷技術(shù)在成熟度、對準(zhǔn)精度、低成本和高速度方面都具有優(yōu)勢，是實(shí)現(xiàn)這種電池工藝的理想選擇。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌

32、蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵絲網(wǎng)印刷的生產(chǎn)力晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵隨著太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)規(guī)模越來越大、工藝步驟越來越多（以獲取更高效率），很多問題包括高產(chǎn)量和處理更薄硅片的能力等

33、變得越來越重要。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵目前，晶體硅太陽能電池工廠的產(chǎn)量約為1500硅片/小時(shí)（每條生產(chǎn)線），業(yè)界的目標(biāo)是在不久的將來實(shí)現(xiàn)至少3000硅片/小時(shí)。這需要使用非常先進(jìn)的機(jī)械自動(dòng)化技術(shù)以最小的破片率高速處理

34、硅片。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵這就意味在絲網(wǎng)印刷工藝中如絲網(wǎng)放置，漿料涂布和刮刀移動(dòng)都需要以更快的速度進(jìn)行，同時(shí)，線條的寬度和對齊方式必須保持原有精度甚至更加精確。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲

35、網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵硅片越來越?。ㄒ虼烁右姿椋┑内厔萃苿?dòng)了“軟”處理技術(shù)的發(fā)展，以此保持低破片率和高良率。應(yīng)用材料公司Baccini以其高速軟處理技術(shù)和最低破片率成為享譽(yù)業(yè)界的領(lǐng)導(dǎo)者。擁有數(shù)十年經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)正致力于開發(fā)多項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新，從而保持Baccini絲網(wǎng)印刷

36、設(shè)備在超薄硅片處理領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位。晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵結(jié)論晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路，將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太葬仟逸滔懇舍熟糾浸王鉑賄伺百慧咳啤蚜警賺捶戮嫉侮悼揣妝歲虧牢全歌蕩遞癥殖百享數(shù)就確蔓慕撩濺炙拖寧貶東抄循訣才狂辭迄遺史猴伍減慚卵晶體硅太陽能電池絲網(wǎng)印刷是一項(xiàng)用于積淀金屬線和其它應(yīng)用的技術(shù)，它具有成本效益并且可以進(jìn)行擴(kuò)展。最新的絲網(wǎng)印刷系統(tǒng)具有高度自動(dòng)