ESD防護(hù)辦法.doc

文件名稱：ESD 防護(hù)作業(yè)辦法 版 次：00文件編號(hào)：PR-RD-0004 第 9 頁(yè)，共9頁(yè) ESD防護(hù)作業(yè)辦法 管理體系-三階文件 文件編號(hào)： PR-RD-0004 版 次： 00 制定日期： 2015-7-8 制定部門(mén)： 工 程 部 核準(zhǔn)審核作成文件制/修訂記錄序號(hào)日期修訂章節(jié)及內(nèi)容版次提出人/部門(mén)12015.7.8初版發(fā)行00 劉素蕓1.目的1.1明確ESD敏感電子元件靜電防護(hù)的重要性及各相關(guān)部門(mén)對(duì)產(chǎn)品靜電防護(hù)的職責(zé)權(quán)限.1.2規(guī)范EOS/ESD相關(guān)設(shè)施之操作、維護(hù)、控制及測(cè)試方法與點(diǎn)檢頻率,以保護(hù)靜電敏感元件,從而保證產(chǎn)品出貨品質(zhì),滿足客戶需求.2.適用范圍 適用于ESD敏感電子元件相關(guān)制造,測(cè)試,存儲(chǔ)及相關(guān)設(shè)施操作,控制與維護(hù)之領(lǐng)域。3.定義3.1 靜電釋放(ELECTROSTATIC，DISCHARGE)即靜電電荷在不同電勢(shì)的物品或表面之間轉(zhuǎn)移的過(guò)程3.1 靜電損傷(ELECTROSTATIC，OVERSTRESS)即器件接受靜電釋放時(shí),其特性產(chǎn)生變化,通常性能變差，但未完全失效。4.職責(zé)權(quán)限4.1人力資源4.1.1電工 設(shè)備干/支接地裝置架設(shè)與安裝. 靜電防護(hù)干/支接地裝置架設(shè)與安裝接地裝置干線檢測(cè)與維護(hù).4.2生產(chǎn)部 新人上崗ESD靜電防護(hù)培訓(xùn)與考核. 靜電手環(huán)日常點(diǎn)檢/記錄. 工作區(qū)域之EOS/ESD設(shè)施的日常維護(hù).車(chē)間靜電區(qū)域的設(shè)施檢測(cè)、標(biāo)識(shí)與維護(hù).4.3品保部4.3.1 IQC 進(jìn)料檢驗(yàn)區(qū)靜電防護(hù)需求提出. 對(duì)ESD敏感電子元件進(jìn)料檢驗(yàn). 新人上崗ESD靜電防護(hù)培訓(xùn)與考核. IQC靜電進(jìn)料檢驗(yàn)區(qū)域的設(shè)施檢測(cè)、標(biāo)識(shí)與維護(hù).4.3.2 IPQC開(kāi)線前相關(guān)設(shè)備,烙鐵及特殊制程（靜電防護(hù)）靜電防護(hù)點(diǎn)檢.現(xiàn)場(chǎng)稽核,確保所有靜電防護(hù)設(shè)施之EOS/ESD狀態(tài)均在規(guī)范之中.新人上崗ESD靜電防護(hù)培訓(xùn)與考核.車(chē)間靜電區(qū)域所有設(shè)施檢測(cè)與異常提報(bào).4.3.3 FQC 出貨檢驗(yàn)區(qū)靜電防護(hù)需求提出. 對(duì)ESD敏感電子產(chǎn)品出貨檢驗(yàn). FQC靜電檢驗(yàn)區(qū)域的設(shè)施檢測(cè)、標(biāo)識(shí)與維護(hù).4.4 PMC4.4.1倉(cāng)庫(kù) 靜電防護(hù)需求提出.負(fù)責(zé)靜電敏感零件的儲(chǔ)存與防護(hù).新人上崗ESD靜電防護(hù)培訓(xùn)與考核.倉(cāng)庫(kù)靜電區(qū)域的設(shè)施檢測(cè)、標(biāo)識(shí)與維護(hù). 4.5工程部4.5.1樣品制作 靜電防護(hù)需求提出.負(fù)責(zé)樣品制作時(shí)靜電敏感零件的防護(hù). 新人上崗ESD靜電防護(hù)培訓(xùn)與考核. 4.5.2生技課倉(cāng)庫(kù)、進(jìn)料檢驗(yàn)區(qū)、車(chē)間所有靜電設(shè)施的安裝與維護(hù).車(chē)間所有設(shè)備接地支線安裝與維護(hù).工作臺(tái)及附屬靜電防護(hù)裝置支線安裝與維護(hù).5.程序內(nèi)容5.1 設(shè)備接地及靜電防護(hù)需求評(píng)估與提出5.1.1設(shè)備包括各類(lèi)生產(chǎn)及測(cè)試設(shè)備等必須要有專用導(dǎo)線與接地線相連；5.1.2烙鐵或特殊制程（靜電防護(hù)）工治具等必須要有專用導(dǎo)線與接地線相連；5.1.3接觸靜電敏感元器件的工作臺(tái),檢驗(yàn)桌,修理桌等,表面必須覆蓋導(dǎo)電性桌墊(靜電膠皮),且必須有專用導(dǎo)線與接地線相連;5.1.4單獨(dú)架設(shè)靜電防護(hù)接地線,用來(lái)構(gòu)成連接帶有靜電電荷的人或物體與大地之間通路.5.1.5凡對(duì)ESD防護(hù)敏感元件，樣品/半成品/成品或設(shè)備進(jìn)行操作的工作區(qū)域要建成ESD防護(hù)區(qū)域，儲(chǔ)存及運(yùn)輸必須采用防靜電作業(yè)(如：防靜電袋/防靜電手套/防靜電服/防靜電鞋)，且靜電防護(hù)工作區(qū)域需做標(biāo)識(shí)。標(biāo)識(shí)如附件。5.1.6各單位需根據(jù)客戶或產(chǎn)品靜電防護(hù)要求,參照制程需求,以聯(lián)絡(luò)單形式向人力資源部提出架設(shè)靜電防護(hù)裝置.5.2 設(shè)備接地及靜電防護(hù)安裝5.2.1 根據(jù)設(shè)備接地及靜電防護(hù)需求,各類(lèi)接地干/支線由人力資源部電工負(fù)責(zé)安裝完成.5.2.2根據(jù)設(shè)備接地及靜電防護(hù)需求,參照需求聯(lián)絡(luò)單,各單位制程中增加靜電防護(hù)裝置,人力資源部電工負(fù)責(zé)安裝完成.5.2.3 ESD防護(hù)工作臺(tái)(工作區(qū))應(yīng)具備的特點(diǎn)： 由靜電耗散材料(防靜電膠皮)制成的工作臺(tái)面(表面阻抗：正面106109，反面104)且接地狀況良好防靜電膠皮需設(shè)有接地線, 裝接地扣且每?jī)烧咧g最大距離為2M-2.5M，同時(shí)接地扣背面需用絕緣膠布粘貼以作保護(hù)). 靜電安全工作臺(tái)上沒(méi)有不必要的靜電產(chǎn)生器(如：塑料，玻璃，橡皮等)，電子組裝設(shè)備要用合適的三相插頭接地,且不小于2個(gè)ESD接插口，ESD地線要求1.25mm. 裝ESD零件之容器要用ESD防護(hù)材料制作。(如:防靜電盒,靜電棉等) 操作現(xiàn)場(chǎng)必須使用的不具靜電功能的工具、夾具，應(yīng)放在防靜電桌墊上.5.3 設(shè)備接地及靜電防護(hù)檢測(cè)與確認(rèn)5.3.1靜電干線、靜電支線、設(shè)備以及其它靜電設(shè)施（如：防靜電服/防靜電鞋）等，檢測(cè)頻率、檢測(cè)方法與檢測(cè)單位如下表所示，各責(zé)任單位必須嚴(yán)格執(zhí)行，并準(zhǔn)確記錄，記錄表單由各單位保存。5.3.2烙鐵接地電阻及漏電電壓每天均測(cè)試一次，如果當(dāng)天有更換烙鐵，在新烙鐵上線前，由IPQC進(jìn)行烙鐵接地電阻及漏電電壓測(cè)試，并記錄。附:防靜電工作安全操作規(guī)格及要求：測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試內(nèi)容測(cè)試規(guī)格測(cè)試儀器測(cè)試頻率檢測(cè)/責(zé)任單位記錄表單設(shè)備接地電阻對(duì)地電阻4萬(wàn)用表1次/1個(gè)月技術(shù)員設(shè)備接地電阻檢測(cè)記錄表靜電干線接地對(duì)地電阻10接地電阻測(cè)試儀1次/6個(gè)月電工靜電防護(hù)接地電阻/ 阻抗檢測(cè)記錄表靜電支線接地對(duì)地電阻10 萬(wàn)用表1次/1個(gè)月技術(shù)員靜電防護(hù)接地電阻/ 阻抗檢測(cè)記錄表烙鐵接地電阻對(duì)地電阻10萬(wàn)用表1次/1天IPQC/技術(shù)員設(shè)備接地電阻檢測(cè)記錄表烙鐵漏電電壓烙鐵漏電 1V測(cè)電器1次/1月技術(shù)員烙鐵漏電電壓測(cè)試記錄表靜電膠皮接地表面阻抗正面106109反面104表面阻抗測(cè)試儀（兩電極間距：3005mm）1次/1個(gè)月技術(shù)員/使用單位靜電防護(hù)接地電阻/ 阻抗檢測(cè)記錄表靜電扣對(duì)地電阻1M5%萬(wàn)用表1次/1月IPQC/技術(shù)員設(shè)備接地電阻檢測(cè)記錄表靜電環(huán)接地對(duì)地電阻/靜電環(huán)測(cè)試儀1次/2HIPQC/使用單位靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄表靜電膠框阻抗表面阻抗106109表面阻抗測(cè)試儀1次/1個(gè)月使用單位靜電防護(hù)接地電阻/ 阻抗檢測(cè)記錄表靜電服阻抗表面阻抗1.0X1061.0X1011表面阻抗測(cè)試儀1次/3個(gè)月IPQC/使用單位靜電防護(hù)接地電阻/ 阻抗檢測(cè)記錄表靜電鞋阻抗鞋底電阻0.5X1051.0X108人體綜合測(cè)試儀1次/1天使用單位靜電防護(hù)接地電阻/ 阻抗檢測(cè)記錄表附測(cè)試方法：1. 設(shè)備接地電阻：兩表筆一端接設(shè)備外殼另一端接三極插座中的地線連接PIN，讀取萬(wàn)用表上的數(shù)值 2. 靜電干線接地：使用接地電阻測(cè)試儀，將兩探針插入接地體幅射方向20M和40M處，插入深度400mm，進(jìn)行測(cè)試。3. 靜電支線接地：兩表筆一端接靜電支線另一端接地線接連點(diǎn)讀取萬(wàn)用表上的數(shù)值 4. 烙鐵接地電阻：兩表筆一端接烙鐵頭另一端接地線上，讀取值5. 烙鐵漏電電壓測(cè)試：取測(cè)電器，拇指按住測(cè)電器上“直接測(cè)試”金屬，將測(cè)電器上金屬頭置于烙鐵頭上，測(cè)電器上顯示器無(wú)數(shù)值顯示側(cè)OK，若測(cè)電器顯示器上顯示數(shù)值大于1V停止使用.6. 靜電膠皮接地：兩電極平整放于靜電皮表皮表面，再分別將測(cè)試儀兩連接線連接于電極上，打開(kāi)測(cè)試儀開(kāi)關(guān)，讀取測(cè)試儀上的數(shù)值，注意兩電極間距為3005mm. 7. 靜電扣接地：將萬(wàn)用表兩端連接于靜電扣兩端，打開(kāi)萬(wàn)用表開(kāi)關(guān)，讀取顯示值 ，更換新靜電扣須測(cè)試。8. 靜電環(huán)：將靜電環(huán)戴在手上，另一端與測(cè)試儀對(duì)接，手指按下測(cè)試儀上的金屬開(kāi)關(guān)，測(cè)試儀亮綠燈OK，綠紅燈NG，并停止使用 9. 靜電膠框阻抗：兩電極平整放于靜電皮表框表面，再分別將測(cè)試儀兩連接線連接于電極上，打開(kāi)測(cè)試儀開(kāi)關(guān)，讀取測(cè)試儀上的記錄. 10.靜電服阻抗：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試方法：將待測(cè)樣板平放在絕緣板上，然后將其中一個(gè)電極放在待測(cè)樣板的一邊，另一個(gè)電極放在另一邊。使用100V檔進(jìn)行測(cè)試。待讀數(shù)穩(wěn)定或最長(zhǎng)15秒后記錄讀數(shù). 使用同樣步驟在待測(cè)樣板上取多個(gè)不同位置進(jìn)行測(cè)試后記錄讀數(shù)。11.靜電鞋阻抗：兩腳穿好靜電鞋，將雙腳分別踏在人體綜合測(cè)試儀對(duì)應(yīng)金屬踏板上，手指輕輕按在金屬測(cè)試按鈕上，測(cè)試儀LO紅燈亮?xí)r表示低于設(shè)定值NG，PASS燈亮?xí)r表示在設(shè)定測(cè)試范圍內(nèi)OK，HI燈亮?xí)r表示高于設(shè)定值NG。測(cè)試完后記錄測(cè)量結(jié)果。5.4 人體ESD防護(hù) 5.4.1接觸到靜電敏感元件的所有人員必須將防靜電手環(huán)套在手腕上，用扣件將腕帶扣緊，使其金屬部件直接和皮膚接觸并且必須將防靜電手環(huán)之接地夾接至ESD地線來(lái)防護(hù).5.4.2每天開(kāi)線前需對(duì)靜電環(huán)進(jìn)行點(diǎn)檢，并將結(jié)果記錄于靜電環(huán)點(diǎn)檢記錄表中，配帶人員點(diǎn)檢都記錄于此表中，點(diǎn)檢完后由IPQC進(jìn)行確認(rèn)并簽名.5.4.3防靜電手環(huán)需依據(jù)其點(diǎn)檢作業(yè)指導(dǎo)書(shū)規(guī)定進(jìn)行點(diǎn)檢，若測(cè)試結(jié)果為不良，需要更換測(cè)試合格的靜電環(huán)方可上線作業(yè)，不良靜電環(huán)送生技人員處理，產(chǎn)線人員領(lǐng)用新的靜電環(huán)須記錄在靜電環(huán)不良更換記錄表內(nèi).5.4.4員工每次上班前、中休、或中途離崗、每次佩帶手環(huán)之前，都需要到靜電釋放區(qū)釋放人體靜電后，方可進(jìn)入靜電工作區(qū)域作業(yè)。5.4.5防靜電工作區(qū)域，在工作中途，需要增加員工，在員工進(jìn)入防靜電區(qū)域前，需要先到靜電釋放區(qū)釋放人體靜電，同時(shí)由IPQC檢測(cè)其靜電手環(huán)阻值。5.5 ESD防護(hù)裝置維護(hù)及異常處理5.5.1 ESD防護(hù)裝置維護(hù)：5.5.1.1相關(guān)部門(mén)負(fù)責(zé)對(duì)各工站的ESD防護(hù)裝置進(jìn)行確認(rèn)，確保其功能之可靠性. 各單位參見(jiàn)5.3條規(guī)定對(duì)各ESD防護(hù)裝置進(jìn)行檢測(cè)確認(rèn),并記錄量測(cè)值或確認(rèn)結(jié)果. 品保人員定期對(duì)各工站進(jìn)行確認(rèn)，以確保沒(méi)有不必要的靜電產(chǎn)生器(如塑料、玻璃、橡皮等). 各操作區(qū)域時(shí)刻確保清潔及無(wú)雜物,針對(duì)裝ESD零件之容器，使用單位需隨機(jī)確認(rèn)其外觀有無(wú)嚴(yán)重破損、臟污及灰塵等5.5.2.異常處理：5.5.2.1各單位在自檢維護(hù)過(guò)程上發(fā)現(xiàn)ESD區(qū)域不符合ESD要求之缺失立即知會(huì)相關(guān)責(zé)任單位改善.5.5.2.2品保人員稽核發(fā)現(xiàn)任何ESD狀況不良應(yīng)立即知會(huì)相單位并發(fā)出品質(zhì)異常聯(lián)絡(luò)單，跟催改善結(jié)果，針對(duì)不良多發(fā)生的工站重點(diǎn)管控.5.5.2.3在加工前及加工過(guò)程中所有發(fā)現(xiàn)ESD防護(hù)之缺失均需停線處理(加固/修繕或作更換),待問(wèn)題解善后方可開(kāi)線作業(yè).5.6 ESD等級(jí)區(qū)域規(guī)劃5.6.1 ESD防護(hù)等級(jí)按區(qū)域產(chǎn)品類(lèi)型，分一級(jí)防護(hù)區(qū)域和二級(jí)防護(hù)區(qū)域。一級(jí)防護(hù)區(qū)域指A棟4樓，無(wú)塵車(chē)間的ESD防護(hù)，進(jìn)入此區(qū)域需更換防靜電服和防靜電鞋。二級(jí)護(hù)護(hù)區(qū)域指車(chē)間、倉(cāng)庫(kù)、品保部等貼有ESD防靜電膠帶的區(qū)域，進(jìn)入此區(qū)域不需更換防靜電服和防靜電鞋，其它防護(hù)等級(jí)相同。5.6.2 所有一級(jí)、二級(jí)防靜電區(qū)域的斑馬線上，需張貼警示標(biāo)簽A，提醒你即將進(jìn)入或已進(jìn)入防靜電工作區(qū)域，警示標(biāo)簽的間隔不能超過(guò)5米。5.6.3所有一級(jí)、二級(jí)防靜電區(qū)域的地面上，需張貼防靜電工作區(qū)的警示檢簽B，間隔不能超過(guò)10米。5.6.4所有一級(jí)、二級(jí)防靜電區(qū)域，所需的貨架、膠框、機(jī)器設(shè)備等，需要在顯眼處張貼防靜電警示標(biāo)簽C。5.6.5防靜電區(qū)域的標(biāo)示等設(shè)施由