JJG827-1993分辨力板.pdf

U t f (G中華人民共和國國家計(jì)量檢定規(guī)程 J J G 8 2 7 - 1 9 9 3分辨力板R e s o l u t i o n T a r g e t1 9 9 3 一0 6 一0 4發(fā)布1 9 9 3 一1 0 一1 5 實(shí)施國 家 技 術(shù) 監(jiān) 督 局發(fā)布.1 J G 8 2 7 - 1 9 9 3分辨力板檢定規(guī)程V e r i f i c a t i o n R e g u l a t io n o f R e s o l u t i o n T a r g e t己9乙令己侖 J J G 8 2 7 - 1 9 9 3 弓全3 本檢定規(guī)程經(jīng) 國家技術(shù)監(jiān)督局于 1 9 9 3年 0 6月 0 4日批準(zhǔn)，并 自 1 9 9 3年 1 0月 1 5日起施行。歸口單位 : 中國計(jì)量科學(xué)研究院起草單位 : 中國計(jì)量科學(xué)研究院本規(guī)程技術(shù)條文 由起草單位負(fù)責(zé)解釋.1 7 G 8 2 7 - 1 9 9 3本規(guī)程主要起草人 : 馬振亞 參加起草人 : 王莉 茹( 中國計(jì)量科學(xué)研究院)( 中國計(jì)量科學(xué)研究院).T .T G 5 2 7 - 1 9 9 3目錄概述 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( T )技術(shù)要求 ( 4)檢 定 項(xiàng)目 和檢 定條 件 ( 7 )檢定方法 : ( 7)檢定結(jié)果的處理和檢定周期 ( T O )二三四五J .f G 8 2 7 - 1 9 9 3分 辨力 板檢 定 規(guī)程本規(guī)程適用于新制造、使用中和修理后的分辨力板的檢定。一概述 分辨力板主要用于測量光學(xué)零部件、望遠(yuǎn)系統(tǒng)、望遠(yuǎn)鏡物鏡、體視顯微鏡與投影物鏡 的分辨能 力。分辨力板按圖案形式，分為 A型一與B型兩種。 A型分辨力板的圖案由線寬遞減的 2 5 個線條組合單元、菱形圖案，以及兩對短線標(biāo)記組成 ( 見圖 ! ) o川 一 冷 H i l l 診 一 一 診今 至今 至今至II II 診今 至川毋今 至幸1一11111I:llj今令-1111lIIl令H ill I 李今 奎籍耀I(xiàn)Jllff今 羹1111111 診N ill 診 h iT 診川 1I11 診川 川 診。曰 今墓今奎令奎今 奎今墓了 3】 2叫卜 圖 1 A型分辨力板圖案 A型分辨力板相鄰兩單元的線條寬度的公比 為1 / 1 拒 ( 近似0 . 9 4 ) 0 一套 A型分辨力板由編號為 A l -A 7七塊分辨力板組成。 A型分辨力板的每一線條組合單元，均由相鄰互成 4 5 。 的4組明暗相間的平行線條組成 。 明線線條寬度與暗 線線條寬度相同。相鄰兩明 ( 或暗) 線條中心間 距， 稱為線條中心距。線條中心距等于線條寬度的2倍。 lJ J G 8 2 7 - 1 9 9 3A型分辨力板明 ( 暗)線條的寬度與長度見表 t o設(shè)所用平行光管的物鏡焦距為廠 m m，線條寬度為b m m， 則圖案相鄰線條的角距 a為一臀 x 2 0 6 2 6 5表分 辨 力 板 號A lA2A3A4A5A6A7單元 號每一組 的明暗線條 總數(shù)線條寬度 / k m I 2 3 4 5 6 7 8 91 01 11 21 31 41 51 61 71 81 92 02 12 22 32 42 5 7 7 7 7 9 9 91 11 11 11 31 31 51 51 51 71 11 31 31 31 51 51 71 71 91 6 01 5 11 4 31 3 51 2 71 2 01 1 31 0 71 0 1 9 5. 1 8 9. 8 8 4. 8 8 0. 87 5 . 5 7 1 . 3 6 7 . 36 3. 5 5 9. 9 5 6. 65 3. 45 0. 44 7. 64 4. 94 2. 44 0. 08 0. 07 5. 57 1 . 36 7 . 36 3 . 55 9 . 95 6 . 65 3 . 45 0 . 44 7 . 64 4 . 94 2. 44 0. 03 7. 83 5. 63 3. 63 1. 73 0. 02 8. 32 6. 72 5. 22 3. 82 2. 42 1 . 22 0 . 04 0. 03 7. 83 5. 63 3. 63 1. 73 0 . 02 8 . 32 6 . 72 5 . 22 3 . 82 2 . 42 1 . 22 0 . 01 8 . 91 7 . 81 6. 81 5. 91 5. 01 4. 11 3. 31 2. 61 1. 91 1 . 21 0. 61 0. 02 0 . 01 8 . 91 7 . 81 6 . 81 5 . 91 5 . 01 4 . 11 3. 31 2. 61 1 . 91 1 . 21 0. 61 0. 0 9. 4 4 8. 9 1 8. 4 1 7. 9 4 7. 4 9 7. 0 7 6. 6 7 6. 3 0 5. 9 5 5. 6 1 5. 3 0 5. 0 01 0 . 0 9 . 4 4 8 . 9 1 8 . 4 1 7 . 9 4 7 . 4 97 . 0 76 . 6 76 . 3 05 . 9 55 . 6 15 . 3 05 . 0 04. 7 24. 4 54. 2 03. 9 73. 7 53. 5 43. 3 43. 1 52. 9 72. 8 12 . 6 52 . 5 07. 5 07. 0 86. 6 86. 3 15. 9 55. 6 25. 3 05 . 0 14 . 7 24 . 4 64 . 2 13 . 9 73 . 7 53 . 5 43 . 3 43 . 1 52. 9 82. 8 12. 6 52. 5 02. 3 62. 2 32. 1 01 . 9 91 . 8 85 . 0 04 . 7 24. 4 54. 2 03 . 9 73 . 7 53 . 5 43. 3 43. 1 52. 9 72. 8 12. 6 52. 5 02. 3 62. 2 32. 1 01 . 9 81 . 8 71 . 7 71 . 6 71 . 5 71 . 4 91 . 4 01 . 3 21 . 2 5線條長度 / m m1 一1 6單元1 . 20. 60. 30. 1 50. 0 7 50. 0 5 6 20. 0 3 7 51 7 一2 5單元0. 80. 40. 20. 10. 0 50. 0 3 7 50 . 0 2 5J .I G 8 2 7 - 1 9 9 3 A型分辨力板上兩對彼此平行且距離相等的短線標(biāo)記，稱為基線。每對基線中心的距離，稱為基線間距 Ba A型分辨力板的基線間距見表 2 0表2分 辨 力 板 號A1A2A3A4A5A6A7基 線 間 距 B / mm1 9 . 29 . 64. 82. 41 . 20. 90. 6間 距 允 差/ t a m士4 8士2 4士 1 2士6士3士 2 . 2士 1 . 5間距互差允差乍m4 82 41 2632. 21. 5B型分辨力板的圖案為明暗相同的楔形線組成的圓狀輻射形圖案。一套 B型分辨力板由3塊組成，其編號為 B 1 , B 2 , B 3 。分別見圖2 ( a ) 與( b ) o圖 2 B型分辨力板圖案( a ) B1 號與 B 2號分辨力板圖案( b B 3號分辨力板圖案B型分辨力板的參數(shù)及尺寸見表 3 0分辨力板的有效范圍見表 4 0分辨力板和保護(hù)玻璃采用無色光學(xué)玻璃 K 9 制造，其外形為圓片形。對毛坯的要求 ( 有效范圍內(nèi))如下 :J J G 5 2 7 - 1 9 9 3N 鎮(zhèn) 5AN 毛 1夕毛 5 不允許有疵病與氣泡。表3分 辨 力 板 號B 1B 2B3巾 / mmDDD / 4甲/ mm0. 3 00. 1 5 0 . 1 5d / m m3 D / 4r !3 67 27 2R / 52 . 52. 5注:( 1 ) D為分辨力板有效孔徑; ( 2 ) n為明 ( 暗)線條數(shù); ( 3 ) R為楔形線的楔角。分 辨 力 板 號一Al ! U!A 3A4一A 5A6一A7有效范圍/ m m ( 直徑 )3 01 5門D一D二技術(shù)要求1 外 觀 分辨力板上應(yīng)標(biāo)明分辨力板號，A型分辨力板內(nèi)還應(yīng)標(biāo)明單元號和基線間距，單元號的字高等于單元線條長度。字母，數(shù)字和基線上的疵病 ，不得影響外觀和使用。2 表 面質(zhì)量2 . 1 分辨力板與保護(hù)玻璃膠合后，在有效范圍內(nèi)不允許有脫膠。2 . 2 B型分辨力板上，在 6 倍放大鏡下觀察，不得有影響使用和外觀的疵病。2 . 3 膠合后的 A型分辨力板上允許有下列疵病。 4J J G 8 2 7 - 1 9 9 32 . 3 . 1 麻點(diǎn)直徑應(yīng)小于二分之一線寬。且最大值對于暗線上的亮點(diǎn)與細(xì)線上的暗點(diǎn)分別不得超過1 0 m和3 0 j m 。 麻點(diǎn)數(shù)量在整塊分辨力板上不得多于 1 0 個， 在每個單元內(nèi)不得多于 2 個。2 . 3 . 2 擦痕寬度小于五分之一線寬， 最大不超過8 r m 。 長度不大于單元線條長度。數(shù)量在整塊分辨力板上不多于 4條，在每一單元內(nèi)不得多于 1 條。2 . 3 . 3 線條局部疵病 ( 如缺口，凸形，凹形)寬度不得大于三分之一線寬，長度不得大于兩倍線寬。數(shù)量在整塊分辨力板上不得多于 1 0處，在每一單元內(nèi)不得多于 2處。3 A型分辨力板基線間距的允差與兩對基線間距相互偏差的允差見表 2 a4 A型分辨力板的線寬允差及需測量的板號與單元號見表 5 05 A型分辨力板的線條中心距允差及需測量的板號與單元號見表 6 .6 A型分辨力板第2 5 單元中的 “ +”字中心是圖案的對稱中心。其與基線的允許對稱偏差及對毛坯中心的允許對中誤差見表 7 07 B型分辨力板上每一條楔形線的楔角偏差，允差為士1 0 0分辨力板 號測 量 單 元 號線寬乍m線寬允差 小mAl 1 5 91 32 51 6 01 2 71 0 1 8 0 4 0士 1 6士 1 2士 1 0 士8 士4A2 1 5 91 38 06 3 . 55 0 . 44 0士8士6士5士4A31594 03 1 . 72 5 . 2士6士5士 4A4152 01 5 . 9士 4士 3A511 0士 2A617 . 5士 2A 715士 1 . 5J J G 8 2 7 - 1 9 9 3表6分 辨 力 板 號測 量 單 元 號線條中 心距乍M線條中心距允差乍mA1 1 5 91 32 53 2 02 5 42 0 21 6 0 8 0士1 6士 1 2士 1 0 士8 士4表7分辨力板 號與基線的允許對稱偏差/ m m與毛坯的允許對中偏差 / mmA10 . 0 4 80. 3A 20. 0 2 40 . 3A30. 0 1 20 . 3A40. 0 0 60 . 3A 50. 0 0 30. 3A60. 0 0 20. 3A70 . 0 01 50. 38 在高低兩種對比度的分辨力板中，明暗線條的光密度差應(yīng)符合表 8 0表8類別光密度差高對比 ( 3 2 : 1 )1 . 5低對比 ( 3 : 1 )0 . 4 5 - 0 . 5 5( 單向 密度)0 . 2 7 一0 . 3 7( 漫射密度)7 J G 8 2 7 - 1 9 9 3三檢定項(xiàng) 目和檢定條件分辨力板的檢定項(xiàng)目和主要檢定工具列于表 9 0檢定環(huán)境溫度 ( 2 0 士3 ) C。分辨力板在檢定室內(nèi)平衡溫度的時間不得少于2h 。檢定儀器在室內(nèi)使其溫度平衡的時間不得少于 2 4 h o四檢定方法1 1 外 觀 用 6 倍放大鏡觀察，應(yīng)符合本規(guī)程第 1 條要求。1 2 表面質(zhì)量1 2 . 1 用 6 倍放大鏡觀察 ，膠合質(zhì)量應(yīng)符合本規(guī)程第 2 . 1 款要求。1 2 . 2 用 6 倍放大鏡觀察。B型分辨力板的表面質(zhì)量應(yīng)符合本規(guī)程第2 . 2 款要求。序號檢 定 項(xiàng) 目主 要 檢 定 工 具檢 定 類 別新制 的使用中修理后t外觀6倍放大鏡+十，表面質(zhì)量( 1 ) 6 倍放大鏡( 2 )顯微鏡+3基線間距( 功 萬能工具顯微鏡( 2 ) 0 . 5 p m激光比長儀+4線條寬度( 1 )萬能工具顯微鏡( 2 ) 0 . 5 p m激光t 匕 長儀+5線條中心距萬能工具顯微鏡+6“ +”字線中心對基線的對稱，及對毛坯中心的對中萬能工具顯微鏡+7楔形線楔 角萬能工具顯微鏡+8光密度差測微光度計(jì)+注:“ +”表示該項(xiàng)應(yīng)檢定;“ 一”表示該項(xiàng)可不檢定。7 .J c 8 2 7 - 1 9 9 31 2 . 3 用顯微鏡觀察，A型分辨力板應(yīng)符合本規(guī)程第 2 . 3款要求。 所用顯微鏡 ，其物鏡放大率需按表 1 0 選用。目鏡放大率為 l o x o 在顯微鏡觀察 下 ，分辨不 出疵 病 ( 麻點(diǎn) 、擦 痕 、缺 口等 ) ，視為合格 。表1 0分 辨 力 板 號A l八 2一一“ 3 A 4 一 A 5 4 0A 6A74 04 0物 鏡 放 大 率 一“一一1 3 A型分辨力板的基線間距 采用測量準(zhǔn)確度為1 ra m的 萬能工具顯微鏡，對A 1 - - A 5號 分辨力板進(jìn)行測量 采用測量準(zhǔn)確度為0 . 5 ri m的 激光比 長儀， 對 A 6 - A 7號 分辨力板進(jìn)行測量。 測量時，將分辨力板放在儀器工作臺 上，并調(diào)焦清晰，使圖案兩基線端頭連線與工作臺運(yùn)動方向平行。然后使 目 鏡 中的分劃線對準(zhǔn)左邊一條基線的中心，得讀數(shù) a l ，再使 分 劃 線對 準(zhǔn) 右 邊 一條 基 線的 中 心， 得 讀 數(shù)。 2 ， 兩讀 數(shù) 之 差。 =一 。 I 一 。 2 1 ， 即 為 該對基線的問距一次測量值。 每對基線的間距測量三次，取平均值，即為該對基線的間距實(shí)測值。兩對基線的基線間距實(shí)測值之差，即為基線間距的互差。 每對基線的間距實(shí)測值與兩對基線之間的問距互差均應(yīng)符合本規(guī)程第 3 條要求。1 4 A型分辨力板的線寬 采用測量準(zhǔn)確度為1 p m的萬能工具 顯微鏡對八 1 - A 5 號板進(jìn)行 測量。 采用測童準(zhǔn)確度為。 . 5 t m的 激光比長儀對A 6 - A 7 號板進(jìn)行測量。 測量時，將分辨力板放在儀器工作臺上，并調(diào)焦清晰，然后使 目 鏡中的分劃線依次對準(zhǔn)待測一組相鄰兩明 ( 或暗)線條的兩側(cè)， 得讀數(shù) a ， 和a 2 ， 兩讀數(shù)之差的三分之一 ， 。 一 號 一 la l虧 里 且 ， 即 為 該 組 相 鄰 兩 線 條 寬 度 的 一 次 測 量 值 。 對 該 組 相 令 。 兩 線 條測量三次，取平均值，即為該組相鄰兩線條的線寬實(shí)測值 ( 見圖 3 ) 0 測量時，按本規(guī)程第 4條規(guī)定，選定待測分辨力板的板號與測量單元號。在待測單元中，任選三組相鄰兩線條明 ( 或暗)線進(jìn)行測量。三組線條的線寬實(shí)測值的平均值，即為該單元的線寬實(shí)測值。 測得的各單元線寬實(shí)側(cè)值均應(yīng)符合本規(guī)程第 4 條的規(guī)定。巧A型分辨力板的線條中心距 根據(jù)本規(guī)程第 5條的規(guī)定 ， 僅對 A l 號板其中的1 , 5 , 9 , 1 3 , 2 5 諸單元進(jìn)行線條中心距的檢定。 采用測量準(zhǔn)確度為1 u m的力 一 工顯對上述單元進(jìn)行測量 測量時，將分辨力板放在儀器工作臺上，并調(diào)焦清晰，然后使目鏡中的分劃線，依次對準(zhǔn)待測單元中任一對相鄰明 ( 或暗)線條的中心， 得讀數(shù) a : 和 a 2 ，兩讀數(shù)之差 81 J G 8 2 7 - 1 9 9 3。 一 。 ， 一 。 2 一 ， 即 為 該 對 線條 的 中 心 距 一次 測 量 值 對該 對 線條 測 量三 次， 取 平均 值，即為該對線條中心距的實(shí)測值。任選三對線條進(jìn)行測量，三對線條中心距實(shí)測值的平均值 ，即為該 單元 的線條 中心距 的實(shí)測值 。 圖 3 線寬測量原理 測得的各單元的線條中心距的實(shí)測值均應(yīng)符合本規(guī)程第 5 條要求。1 6 A型分辨力板 “ 十”字中心對基線的對稱偏差，對毛坯中心的對中偏差 采用測量準(zhǔn)確度為 L ! a m的萬工顯對A 1 一 A 7 號板進(jìn)行測量。 測量時，將分辨力板放在儀器工作臺上，調(diào)焦清晰，使 目鏡中的分劃線依次與毛坯邊緣相 切，與基線中心及 “ +”字中心相重合。獲得讀數(shù)值 二 I , a - 2 . ，二 ，x 7 ， 二 : ， 與， 、 諸量 ( 見圖4 ) 。然后按式 ( 工 )與式 ( 2 )計(jì)算:(1)(2)v( ( 二 ， 一二 ) 一( 二一二 1 1 2